Раствор для травления меди имедных сплавов

Номер патента: 1279956

Опубликовано: 30.12.1986

Авторы: Амирова, Гарифзянов, Каргин, Смоленцев, Устюгов, Чичиров

МПК: C01B 21/20

Метки: азотного, азотной, ангидрида, выделения, кислоте, раствора

...до температуры от минус 15 до минус 10 С, При этом из раствора выпадает кристаллическая пятиокись азота, которую отделяют от маточного раствора на воронке Бюхнера с просасывани3 1279956 4ем сухого воздуха.Все операции выпол- влаги боксе при + 15 С. Результатыняют в изолированном от атмосферной опытов представлены в табл. 1,Таблица 1 КоличестРезультаты экстракции Опыт ВОбъемноеотношение во полученного Обтем ниж Содержание ИО в ниж нем слое,Объем жидкаярастворИ 0 вН 1 Ю него слоя, мл верхнего при охлажденииверхнегослоя г слоя,мл1 0,5:1 Нет разделения 123 8,5 19 100 2.:1 5,0 200 3:1 310 Нет раз- деления 87 3,5 Как видно из табл.1, при использовании малого количества экстрагента И 04 наблюдается его растворение в азотной кислоте без...

Номер патента: 533624

Опубликовано: 30.10.1976

Авторы: Агапова, Гутов, Разуваева

МПК: C09K 13/06

Метки: анодной, золота, раствор, сплавов, электрохимической

...сплава, не выявзовых составляющих. ных раст раницы зе яя его фа лотно нс:тн ООПро еос травления рекоме 1 температуре 5 - 70 С, сна 0,3 - 0,4 а/для и - 300 сек. ет:я про нолнои плот- рололжнтсльлить женныи электролит от тем, что с целью выяв ционной неоднороднос ри травлении, так и пр олнительно содержити лимонную,или укс ностиНоетн Состав раствора, режимы проведения процесса н экспериментальные дашые представлены в таблице. Совета Министров СССло делам изобретенийи открытий Предло известного ВОй И ЛИ 1 СВ зерен как п нии, он доп ную кислотию являетохимической ) золота и вину и серличаегся от ления фазоти и границ и полирова- ортофосфорусную кислоорная кислота Опособсгвует об омплекса золота с тиомочевнной медь снижает удельное сопротив...

Номер патента: 990872

Опубликовано: 23.01.1983

Авторы: Гордина, Орлова, Якунина

МПК: C23F 1/02

Метки: размерного, раствор, травления

...диентов можно выразить в мп, что должно соответствогать следующему соотношению, мл.:Перекись водорода(40-ный раствор) 10-15Раствор предлагаемого состава обеспечивает равномерное травление 1 химического сплава никель-марганец- Фосфор, позволяет получать элементы микросхем, линейные размеры которых отличаЮтся от номинальных не более, чем на 3-4, что соответствует требованиям, предъявляемым к процессу трав. ления в технологии изготовления микросхем.Примеры конкретного применения раствора. Для проверки предлагаемого состава раствора для размерного травления сплава никель-марганец-фосфор, нанесенного на диэлектрические. подложки, были приготовлены растворы со следующими концентрациями компонентов, мп:Состав раствора 1.Кислота...

Номер патента: 1071666

Опубликовано: 07.02.1984

Авторы: Варепо, Дриц, Мастрюкова, Наумов, Рохлин, Семина, Сороколетова

МПК: C23F 1/00

Метки: высокой, магниевых, печати, раствор, сплавов, травления, форм

...натрий 70Нитрат аммония 40Процесс ведут при 22 С и скоростивращения роторов 7,6 с . Скоростьтравления составляет ,1 мкм/с. Угол 60наклона грани печатающего элементалежит в пределах 20-25 П р и м е р 2. Состав раствора,г/л: . Азотная кислота 60 Дву замещенный фосФорнокислый калий 40 Нитрат аммония 25 Травление копии осуществляют при 22 фС и скорости вращения роторов 5,83 с" . В этих условиях скорость травления составляет 0,83 мкм/с, а угол наклона грани печатающего элемента 25-35 фП р,и м е р 3. Состав раствора, г/л:Азотная кислота 90 Двузамещенный фосфорнокислый натрий 50 Нитрат аммония, 30 Процесс ведут при 22 С и скорости вращения роторов 7,6 с . При этом скорость травления составляет 1,2 мкм/с при величине профильного угла...

Номер патента: 1194907

Опубликовано: 30.11.1985

Авторы: Валек, Кискачи, Кочергин, Петропавловский

МПК: C23F 1/26

Метки: глубокого, раствор, сплавов, титановых, травления

...10 15 20 25 ЗО 35 В табл. 1 приведены данные по снятию металла при глубоком травлении неокисленного сплава ВТС в зависимости от состава раствора. Съем леталла зависит от концентрации всех компонентов, присутствующих в растворе. Введение в раствор хлорис-. того натрия, являющегося поверхностно-активным веществом снижает скорость травления. Чем меньше его в травильном растворе, тем ниже скорость травления (табл. 1, состав 5, 10, 15 ф табл. 3, состав 1, 2) и меньше снимается металла. Добавление в раствор уксусно-кислого натрия нейтрализует избыточную кислоту, увеличивает рН среды и связывает Н ионы в малодиссоциирующую уксусную кислоту, которая не обладает травящей способностью.В табл. 3 и 4 показаны значения скоростей травления и...