Способ очистки моносилана
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 812324
Авторы: Белов, Дубровская, Иванов, Клещевникова, Лебедев, Левина, Рукавишников, Скулкова, Федосеев
Текст
ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскнкСо 4 иалистическйхреспублик и 812324ао делам взебретеннй и открытий(54) СП ОЧИСТКИ М ИЛАНА осиланамвсей например, от бообработкой егомиаком.Газообразныймиаком тверцыйВН,+ 2 йН ВПарами водигицролизуются спроцуктов гидролделяют Ьт сплав рсоцержащих водяным пар или амЦель изобретени очистки монос- увеличение стеа,Изобретение относится к очистке си . ланов и может быть использовано для получения кремния высокой чистоты, в частности, в полупроводниковой технике для получения полупроводниковых систем, например, транзисторов, фотоэлектронных схем и цругих систем с электромагнитным и световым управлением.Кремний высокой чистоты получают из гидридов кремния, в частности моносилана ( 51 Н). Чистоту моносилана определяют по уцепьиому сопротивлению кремния.Известен способ очистки мон циборан образует с амкомплекс по уравнениюЪ фЪ.борсоцержащие примеси образованием твердыхиза, которые затем ота 11. Недостатком этого способа являетсянеполная очистка моносилэна - уцельноесопротивление кристаллического кремния равно 2000 Ом;см, а также цлительное время контакта моносилана с парамиводы и аммиаком (порядка 48 ч), чтоусложняет процесс очистки,Наиболее близким к предлагаемомуявляется способ очистки моносиланапутем пропускания последнего через сор-бент на основе цвуокиси кремния (81 .в вице геля с размером частиц 23 мм 21,Недостатком указанного способа является невысокая степень очистки моносилена от борсоцержащик соединений,так как кристаллический кремний, полученный из очищенного этим способом салана, имеет уцельное сопротивление поряцка 500-2000 Ом.см и время жизни,200 1000 мкс.,О 2. Способ по п. щийся тем, что кремния используют 50-150 А. отличаю раствор двуокисй с размером части т е Источники иринятые во внимая ормации,при экспертиз Заказ 613 П ул. Проекти ПП Патентф, г; У ил ПоставлЬнная цель достигается тем, что согласно способу очистки моносидана путем пропускания последнего через сорбент на основе авуокиси кремния, в качестве послецнего используют 20- 40%-ный водный коллоицный раствор авуокиси кремния, содержащий 0,4-1,0% аммиака, и процесс ведут, при скорости пропускания моносилана 15-20 мл/мин. Коллоидный раствор двуокиси кремнияо используют с размером частиц 50-150 А.В процессе очистки борсодержашие примеси, находящиеся в моносилане,взаимодействуют с водой и аммиаком, а продукты их взаимодействия сорбируются на сильно развитой активной поверкности отрицательно зараженных коллоиднык частиц.При такой очистке оановременно с сорбцией протекают реакции гицродиза и аммонолиза, поэтому время контакта цля очистки моносилана составляет всего 2-4 мин. Формула изо 1. Способ очистк пропускания послецн на основе двуокиси чающийся т личения степени очи бента используют 2 коллоидный раствор содержащий 0,4-1,ведут при скорости лана 15-20 мл/мин ВНИ Фи моносидана путемего через сорбенткремния, о т л нем, что, с целью увестки, в качестве сор 0-40%-ный водныйдвуокиси кремния,0% аммиака, и процесспропускания моносиП р и м е р . В колонку из кварца загружают 500 г водного коддоидного раствора цвуокиси кремния с размером коплоианык частиц 80-150 А при со- держании 5 О - 40%, ЫН - 10%.Снизу по трубке в колонку поаают газообразный силан со скоростью 15 мл/мин. Для создания более эффективного контакта моносилана с кремнезолем в нижней части колонки имеется распреаелительное устройство. Время контакта моносилана с,кремнезолем составляет 4 мин. На выхоце из колонки моносилан конценсируют на специальном конденсаторе, аалее очищают.от воаного аэрозоля на фильтре и подвергают обычной низкотемпературной ректификации. Выход кремния с удельным сопротивлением 10000 Ом.см и временем жизни 1000 мкс составляет 30% от общего содержания кремния.Данные испытаний при различных ско- ростяк поаачи моносилана и характеристиках сорбента свецены в таблицу. 1. Патент ФРГ М 1171884,кл, Х 2 1 33/04, 1958.2, Патент ФРГ й 1073460,кл. 1233/04, 1960 (прототип)Тираж 706 Подписное
СмотретьЗаявка
2788449, 20.06.1979
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4236, ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ М-5168
ЛЕБЕДЕВ ЕВГЕНИЙ НИКОЛАЕВИЧ, БЕЛОВ ЕВГЕНИЙ ПЕТРОВИЧ, КЛЕЩЕВНИКОВА СОЛОМОНИДА ИВАНОВНА, РУКАВИШНИКОВ ВАЛЕРИЙ АЛЕКСЕЕВИЧ, ДУБРОВСКАЯ ГАЛИНА АДОЛЬФОВНА, ФЕДОСЕЕВ АЛЕКСЕЙ НИКОЛАЕВИЧ, ЛЕВИНА ЕЛЕНА ФЕДОРОВНА, СКУЛКОВА ДИНА ПАВЛОВНА, ИВАНОВ ГЕННАДИЙ СЕРГЕЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: B01D 53/14
Метки: моносилана
Опубликовано: 15.03.1981
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-812324-sposob-ochistki-monosilana.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ очистки моносилана</a>
Способ очистки отработанных растворов от нефтепродуктов
Номер патента: 1535846
Опубликовано: 15.01.1990
Авторы: Агарков, Алексеев, Беднова, Забурдяев, Найденко
Метки: нефтепродуктов, отработанных, растворов
...в процессе ультрацильтрации.П р и м е р. Обработке подвергают 25 отработанный раствор ванны химического обезжиривания, который включает: ЯаОН 9,70 + 0,43 г/л, ИаСОз 37,84 + + 1,85 г/л; БаРО 15,04 + 0,75 г/л нефтепродукты 160,1 + 92,3 мг/л;взвешенные вещества 2264,8+171,45 мг/л, Раствор после предварительной механической обработки подвергают пневмофлотации, Расход воздуха поддерживают 10-15 см /смч, Флотирование35 осуществляют в течение 10 мин. Осветленный раствор содержит 60 120 мг/л нефтепродуктов и 100 80 мг/л взвешенных веществ. Далее раствор подвергают обработке на ульт-, .40 рафильтрационной установке, укомплектованной фильтрирующими элементами с Фторлоновыми полупроницаемыми мембранами. Рабочее давление в аппарате 0,2-0,3...
Способ энзиматического превращенияглюкозы bo фруктозу
Номер патента: 797582
Опубликовано: 15.01.1981
МПК: C07G 7/02
Метки: превращенияглюкозы, фруктозу, энзиматического
...с использованием заглушек в виде уплотненнойнасадки.Энэим Вас. соао 01 апь получают следующим образом.1. Приготовление концентрата и егоиммобилиэация.Культивируют клетки Вас. соацц 1 апь штамма МВ 8 В 5656, затем клетки выделяют из ферментационного бульона путем центрифугирования с самоочищающейся камерой при рН, близком к 6,3, Концентрат содержит приблизительно 10 Ъ сухого вещества и около 40 Ъ интактных клеток.К 1 кг концентрата добавляют 38 мл коммерческого 50 Ъ-ного глутаральдегида при интенсивном перемешивании для тщательного смешения глутаральдегида с клеточным концентратом. После этого реакционную массу оставляют в покое при температуре окружающей среды,Спустя 1 ч реакционная смесь загустевает в однородную массу консистенции...
Способ определения среднего радиуса частиц дисперсной фазы в коллоидных растворах -а и -р
Номер патента: 1702253
Опубликовано: 30.12.1991
Автор: Ольшвангер
МПК: G01N 15/04
Метки: дисперсной, коллоидных, радиуса, растворах, среднего, фазы, частиц
...Авогадро;по и и - число частиц в единице объема слУч35 ров можно добавить указанный органичена некотором заданном уровне и на уровне, 3" рский растворитель до достижениянаходящемся от первого на расстоянии (поконцентрации, входящей в область линейве ртл кал л);ной зависимости.г - радиус частиц;о 1 и б 2 - плотность дисперсной фазы и Способ осуществляют следующим об 40 разом,дисперсионной среды,П р и м е р 1, Раствор а-Аз в бензоле сПо формуле (1) можно рассчитать средконцентрацией 0,1 мас, заливают в кварний радиус частиц дисперсной фазь 1 (дляцевую оптическую кювету с расстояниеммонодисперсных коллоидных растворов -между рабочими поверхностями 10 мм. Из 45 меряют оптическую плотность раствора садиус дисперс ной фазы),Поскольку...
398029
Номер патента: 398029
Опубликовано: 01.01.1973
МПК: C07C 45/32, C07C 47/21
Метки: 398029
...- 8 сек, преимущественно 1 - 3 сек, Продукты, выходящие из аппарата, очень быстро охлаждают во избежание вторичных реакций. Соединения альдегидов можно выделить любым известным методом, например фракционированной перегонкой, илп в виде етого бисульфитного,соединения.П р и м е р 1. В трубчатый реактор (внутрейнпи диаметр 1 см) загрукают 1 О см катализатора, пропитывая окись алюминия (удельная поверхность ниже 5 м/г) раствором оксалата ванадила с такой концентрацией, чтобы, после сушки и прокаливания процентное содерканне нанесенной окиси ванадия достигло 5% . Затем через слой, катализатора, нагретый до 400 С, пропускают пз расчета 3,6 л/час смесь воздуха, о-хлорметилтолуола и водяного пара 1 объемные отношения, измеренные при нормальной...
Способ получения фтористого кальция
Номер патента: 664554
Опубликовано: 25.05.1979
Автор: Бернард
МПК: C01F 11/22
Метки: кальция, фтористого
...затем добавляют 342 ьк28,8-ной водной гексафторкремниевой 65 кислоты в течение 20 мин при 20 С.После выдержки в течение 20 мин, вовремя которой рН повышают с 3 до 4,5добавкой 35 г молотого 98-ного известняка, проводят Фильтрацию (продолжительность Фильтрации составляет40 мин при поверхности фильтра200 см) .При этом фильтрат содержит 0,002иойов Фторида и 1,5 Я 10 Осадок нафильтре промывают водой и после сушки при 1000 С получают твердый продукт,содержащий 85 СаГ 8 СаСО,ЗЪ Я 10,остальное - примеси, содержациеся вмолотом известняке и в кислоте.В этом примере обцее количествокарбоната кальция на обеих стадияхсоставляет 95 Ъ от стехиометрическинеобходимого. При этом на первой ста-дии карбонат кальция берут в количестве 85,1, а на...
Предыдущий патент: Состав для очистки газа
Следующий патент: Устройство для распределения жид-кости b тепломассообменном аппара-te
Случайный патент: Прибор для определения коэффициента трения покоя материала