Устройство для отбора кристаллов

Союз Советских Социалистических РеспубликОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ р 11809433(51)М. Кл.з с присоединением заявки Й 9 -Н 0121/ОО Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОТБОРА КРИСТАЛЛОВ Изобретение относится к полупроводниковым приборам и может быть использовано при сортировке и отбраковке кристаллов.Известно устройство для отбора кристаллов (вакуумный пинцет), содержащее заборник кристаллов в виде трубки и бункер, соединенный с вакуумной системой 1,.Однако, устройство обладает низкой производительностью.Цель изобретения - повышение производительности.Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для отбора кристаллов, содержащем заборник кристаллов и соединенный с вакуумной системой бункер, заборник кристаллов выполнен в виде стакана с отверстием в донной части, снабженного прозрачной перегородкой в виде пластинки, разделяющей стакан на верхнюю и нижнюю полости, при этом нижняя полость стакана соединена с вакуумной системой через бункер.Предлагаемое устройство изображено на чертеже, общий вид.В устройстве на входе трубки 1 заборника присоединен стакан 2 с отверстием 3 в днище, перегороженный прозрачной пластинкой 4, черезкоторую наблюдают с помощью микроскопа с объективом 5 кристаллы б,находящиеся на решетчатом предметномстолике 7, причем отверстие в днищестакана направлено на кристалл. Трубка эаборника выходом соединена сбункером 8, который через клапан 9соединен трубопроводом с вакуумнойсистемой.Устройство работает следующимобразом.Допустим, оператору необходиморассортировать кристаллы б на две 15 классификационные группы - на годные и бракованные, причем годныеукладываются в бункер. Устройствокрепится к объективу микроскопа,с помощью которого оператор наблю дает кристалл и принимает решение,к какой группе необходимо его отнести, Если кристалл годный, подключают посредством кпапана 9 вакуумк заборнику и воздух доставляет 25 кристалл в стакан 2, а затем в труб"ку 1 и бункер 8, После отключениявакуума передвигают столик, и проверяют качество следующего кристалла, Если кристалл бракованный, ва кумм не подключают и кристалл оста809433 10 Формула изобретения Составитель Л. Гришкова Мермелштайн Техред С.Мигунова Корректор С, Щомо Заказ, 444/7 Тираж 795 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 3035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Филиал ППП фПатент, г. Ужгород, ул. Проектна ется на предметном столике. Такимобразом, сортируют кристаллы на двегруппы без дополнительной доставкиих с поля зрения микроскопа к входуэаборника. Прозрачная пластинка 4,позволяющая наблюдать кристалл, защищает объектив микроскопа от случайных повреждений движущимисякристаллами. Твердость материалаэтой пластинки выше твердости кристаллов, подвергаемых сортировке. Например, если деталями являются кремневые кристаллы, прозрачную пластинку выпрлняют иэ сапфира. Отверстие3, через которое кристаллы поступаютв стакан, локализирует.действиевакуума на кристалл, что исключаетпопадание в эаборник соседних кристалловДиаметр этого отверстиявыбирают несколько большим наибольшего размера кристалла, Освещениекристалла проводят обычным способомлибо через объектив микроскопа,либо косыми лучами, либо снизу (когда детали и предметный столик прозрачные). Если необходимо рассортировать и. провести укладку кристаллов при большем числе классификационных групп,.то к стакану подключают необходимое количество трубок эаборников, бункеров и клапанов. Наблюдая через миКроскоп кристалл и принимая решение, оператор включает клапан соответствующей трубки заборника, в результате чего кристалл поступает в нужный бункер.Использование предлагаемого устройства повышает производительность труда более чем в,1,5 раза. Устройство для отбора кристаллов,содержащее заборник кристаллов исоединенный с вакуумной системой15 бункер, о т л и ч а ю щ е е с ятем, что, с целью повышения производительности, заборник кристалловвыполнен в виде стакана с отверстиемв донной части, снабженного проз 20 рачной перегородкой, в виде пластинки, разделяющей стакан на верхнююи нижнюю полости, при этом нижняяполость стакана соединенас вакуумной системой через бункер.25 Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССРР 294199, кл, Н 01 ), 21/00,03,03,б 9