Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 785790
Авторы: Бондаренко, Лыньков, Паркун, Суходольский
Текст
сксмознля Союз Советскнк Социалистических РеспубликГосударственный комитет СССР но делам изобретений н открытиЮ(71) Заявитель Минский радиотехнический институт(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИЯ ПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНОКИзобретение относится к электро измерительной технике и может быть использовано при создании устройств для измерения сопротивления проводящих пленок в процессе производства интегральных микросхем.Известно устройство для измерения сопротивления проводящих пленок содержащее подложкодержатель с диэлектрической подложкой и нанесенными на нее токоведущими электродами, соединенными с измерительной схемой 13.Недостатком данного устройства является низкая адгезия токоведущих электродов к диэлектрической подложке, приводящая к отказу устройства при осаждении на нем пленки испаряемого материала из-за отслаивания токоведущих электродов.26Наиболее близким к изобретению по технической сущности является устройство для измерения сопротивления проводящих пленок, содержащее подложкодержатель с диэлектрической подложкой 25 и закрепленными на ней через адгезионный подслой металла токоведущими и измерительными электродами, выходы которых соединены со входами блока измерения 12. 30 Недостатком этого устройства является невысокая точность измеренияиз-за изменения толщины осажденнойпленки.Целью изобретения является повышение точности измерений,Для достижения этой цели устрОйство для измерения сопротивления проводящих пленок, содержащее подложкодержатель с диэлектрической подлож-кой и закрепленными на ней через адгезионный подслой металла токоведущими и измерительными электродами,выходы которых соединены с входамиблока измерения, снабжено заслонками и дополнительным слоем диэлектрика, укрейленным на поверхности токоведущих электродов, а заслонки закреплены над поверхностью дополнительного слоя диэлектрика и токоведущими и измерительными электродами,На чертеже представлена конструктивная схема предлагаемого устройства.Оно содержит подложкодержатель 1 с диэлектрической подложкой 2, ад 4 езионный:подслой 3, металла, токо- ведущие 4 и измерительные 5 электроды, блок 6 измерения, дополнительный слой 7 диэлектрика, например из двуооставитель А, Изюмов ехред Т.Маточка Кор тор В. Синиц ор Ж к Подписн а СССР крытий наб., д. 4/ 835/49 Тираж 1019 ВНИИПИ Государственного комитепо делам изобретений и о 113035, Москва, Ж, Раушская ака роектная, 4 илиал ППП "Патент" город, .у ДЮМА . еЯ,ф 78579е еббр,ф .Ф р киси кревни, и фмЭ:лееров 8 В(металлические).т ФарУстройэщво работает следующим образом. Йа поверхность диэлектрической подложки 2 дополнительного слоя 7 диэлектрика и металлических заслонок 8 осаждается тонкая пленка металла, например вольфрама, ниобия или нихрома. Токоведущие электроды 4, защищенные дополнительным слоем диэлектрика через измерительные электродц 5, защищенные от потока испаряемого материала заслонками 8, соединены с бЛоком 6 измерения, например с цифровым омметром, в результате чего осуществляется измерение сопротивления и контроль. толщины осаждаемых металлических пленок.Исключение из измеряемого сопротивления областей перегибов осаждаемой проводящей пленки позволяет повысить точность измерения их сопротивления в процессе осаждения. Формула изобретенияУстройство для измерения сопротивления проводящих пленок, содержащее подложкодержатель с диэлектрической подложкой и закрепленными наней через адгезионный подслой металла токоведущими и измерительнымиэлектродами, выходы которых соединены с входами блока измерения, о тл и ч а ю щ е,е с я тем, что, сцелью повышения точности измерения,оно снабжено заслонками с дополнительным слоем диэлектрика, укрепленным на поверхности токоведущих электродов, а заслонки закреплены над поверхностью дополнительного слоя диэлектрика и токоведущими и измерительными электродами.Источники информации ,принятые во внимание при экспертизе1. Данилин Б. С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем.М., "Энергия", 1972 с. 117-178.2, Авторское свидетельство СССРР 386350, кл. 6 01 й 27/00, 10.07,70
СмотретьЗаявка
2699197, 15.12.1978
МИНСКИЙ РАДИОТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ
ЛЫНЬКОВ ЛЕОНИД МИХАЙЛОВИЧ, ПАРКУН ВЛАДИМИР МИХАЙЛОВИЧ, БОНДАРЕНКО ВАЛЕРИЙ ВИКТОРОВИЧ, СУХОДОЛЬСКИЙ АЛЕКСАНДР МАРКОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01R 27/02
Метки: пленок, проводящих, сопротивления
Опубликовано: 07.12.1980
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-785790-ustrojjstvo-dlya-izmereniya-soprotivleniya-provodyashhikh-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок</a>
Предыдущий патент: Устройство для измерения параметров отношения сопротивлений многоэлементного резисторного оптрона
Следующий патент: Дискретный измеритель амплитудно-частотных характеристик
Случайный патент: Способ разделения газовых смесей