Раствор для травления резистивных сплавов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
"ф т ОП ИИЗОБРЕТЕН ИЯ и 11777887 Союз Советских Сониолистических Республик(45) Дата опубликования описания 07.11.80(51) М, Кл.зН 05 К 3/2 С 09 К 13/О Госудорствеинык квинте СССР по лелем изобретений(54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ РЕЗИСТИВНЫХ СПЛАВО Этилен Фторис20 - 27 Наиболее ности являе зистивных с кислоту, сол ду 11 лизким по технической сущя раствор для травления релавов, содержащий азотную и плавиковой кислоты и воявляет приводложек. ышение ения вы- по- едо- схем 28 - 33 15 - 20 2 - 7 Азотная кислотаМетакриловая кислотЛимонная кислота Изобретение относится к изготовлентонкопленочных микросхем. Недостатком известного раствора ся неравномерность травления, что дит к повреждению ситалловых поЦелью изобретения является пов равномерности травления,Поставленная цель достигается тем, что раствор для травления резистивных сплавов, содержащий азотную кислоту, соли плавиковой кислоты и воду, дополнительно содержит метакриловую кислоту, лимонную кислоту и этиленгликоль, а в качестве соли плавиковой кислоты - фтористый аммоний, при следующем соотношении компонентов (вес. %): гликольтый аммонийьпценный раствор) остальное.ы. Для получения схемного риодят химическое травление тони резистивного сплава марки содержащей 37% хрома, 10% ниьное кремний, В качестве заслоя используют ф ото резист Примерсунка провкой пленкс 37 10 фкеля, осталщитногоФП-РН. Составы травил зультаты травления св у у таблицу.Температура травления комнатная, После травления подложки тщательно отмывают, Процесс травления протекает равномерно, происходит полное вытравливание слоя тонкой пленки без повреждения ситалловой подложки во всех трех случаях. Использование данного изобретобеспечивает мольное равномерноетравливание резистивного сплава безвреждения ситалловой подложки, а слвательно, получение тонкопленочныхвысокого качества,Время травления,сек, Номеробразца Состав травильного раствораАзотная кислота (НУО,)Метакриловая кислота (СаН,СООН)Лимонная кислота (С,Н,О,)Этиленгликоль (СН,ОН - СН,ОН) 28 15 25 - 30 20 фтористый аммоний (МН,Р) насыщенный раствор Остальное Азотная кислота (НИО,)Метакриловая кислота (С,Н,СООН)Лимонная кислота (С 6 НвО)Этиленгликоль (СНзОН - СНОН) 10 - 15 20 27 фтористый аммоний (МН,Р) насыщенный раствор Остальное 31 Азотная кислота (НХО,)Метакриловая кислота (С,Н,СООН)Лимонная кислота (С,НаО,)Этилеигликоль (СНОН - СН,ОН) 15 - 20 фтористый аммоний (ХН,Р) насыщенный раствор 23 Лимонная кислотаЭтиленгликольФтористый аммоний(насыщенный раствор) 2 - 720 - 27 Формула изобретения остальное. Составитель Т. Баранова Техред И. Заболотнова Редактор Б. федотов Корректор В. Дод Заказ 2537/19 Изд.573 Тираж 889 ПодписноеНПО Поиск Государственного комитета СССР ло делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб д, 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 Раствор для травления резистивных сплавов, содержащий азотную кислоту, соли плавиковой кислоты и воду, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения равномерности травления, он дополнительно содержит метакриловую кислоту, лимонную кислоту и этиленгликоль, а в качестве соли плавиковой кислоты - фтористый аммоний, при следующем соотношении компонентов (вес, % ):Азотная кислота 28 - 33 Метакриловая кислота 15 - 20 Источники информации,принятые во внимание при экспертизе10 1. Гимпельсон В. Д., Радионов Ю. А.Тонкопленочные микросхемы для приборостроения и вычислительной техники, изд-во Машиностроение, М., 1976, с. 153 (прототип).
СмотретьЗаявка
2651483, 25.07.1978
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4377
СУЧКОВА ЛЮДМИЛА АЛЕКСАНДРОВНА, РУДЕНКО ТАТЬЯНА ВАЛЕНТИНОВНА, КЛИМЕНКО НАТАЛИЯ АРКАДЬЕВНА, ЧЕРКАШИНА НИНА ЕГОРОВНА
МПК / Метки
МПК: H05K 3/26
Метки: раствор, резистивных, сплавов, травления
Опубликовано: 07.11.1980
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-777887-rastvor-dlya-travleniya-rezistivnykh-splavov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Раствор для травления резистивных сплавов</a>
Способ получения раствора сульфата аммония из отработанной серной кислоты
Номер патента: 408906
Опубликовано: 01.01.1973
МПК: C01B 17/90, C01C 1/24
Метки: аммония, кислоты, отработанной, раствора, серной, сульфата
...соогцошениц 0,5 - 5 вес, ч, оснований ца 1 вес. ч. органических примесей в растворе. Смесь разделяют отстаиванием. Очцщс нный раствор сульфата аммония перерабатывают известным способом, а растворитель регсцсрцру ют дистилляцией, Отогцаццыс основания используют повторно.Пример 1. 100 г 71%-цой 112 ЯО 4, содержащей 10,2% органических примесей (в пересчете ца углероде), нейтрализуют водным рас твором аммиака до избытка аммиака 2 г/л и содержания сульфата аммония 520 г/л. К полученному раствору добавляют 25 г ппридина. После перемешивация и разделения получают 220 г раствора сульфата аммония с408906 Составитель Маркова Тсхрсд 3. Тараненко Редактор Г. Тимофеева Корректор А. Степанова Заказ 8595 Изд.1127 Тираж 523 Подписное ЦНИИПИ...
Способ получения фосфатов аммония из фосфорной кислоты
Номер патента: 92149
Опубликовано: 01.01.1951
Автор: Гофман
МПК: C01B 25/28
Метки: аммония, кислоты, фосфатов, фосфорной
...л. Заказ 12-".9. Гор, Алатырь, типография М 2 Министерства культуры Чувапской АССР. ч:УказзнЯо фос 01)уо ксооту Обрабатываю Обычным оетОДОхсодой для выделе 1 ия кремнефторида, а фосфорнокислый раствор нейтрализуют газбобрззнрм,аммиаком или водным раствором последнего. Процесс нйтрщзйцпи ведут при температуре около 100 и в условиях не "изменяющегося р Н до образования мопоаммонийфосфата,содержанес" ввиде примеси не более 15 оо диаммонийфосфатя дляосаждения из раствора соединений железа и ал;оминия,1 рактическн указанные услоВия Ведения процесса нетрализании,ОстГаотс 5 непрерыВным и ОдноВременным введеием Б реакционный объем соотвстственно подготовленной кислоты и газообразногоаммиака или водного раствора последнего и непрерывным...
Способ очистки раствора сульфата аммония
Номер патента: 833504
Опубликовано: 30.05.1981
Авторы: Андреев, Бадриан, Городецкая, Громогласов, Добряк, Костанян, Лебедев, Лурье, Преображенский, Флаксман, Чадаев
МПК: C01C 1/24
Метки: аммония, раствора, сульфата
...(ИН ) 804известными способами.Монокарбоновые кислоты с растворенными в них органическими примесями направляют в испаритель для отгонки основного количества МКК с целью их возврата в цикл. Отгонку производят при Р - ; 70 мм рт. ст. и температуре 180 фС.В испарителе вместе с МКК отгоняются также вода и легколетучие органические примеси. Смесь паров этих веществ проходит через парциальный конденсатор, где конденсируются пары МКК, которые после охлаждения в теплообменнике возвращаются вцикл для повторного использования. Пары воды и легколетучих органических примесей после конденсации в конденсаторе направляют на сжиганиеП р н м е р 1.489 г водного оаствора сульфата аммония с содержанием органических примесей 0,34 вес. Ъ (определенных...
Способ очистки растворов солей аммония от примесей
Номер патента: 891572
Опубликовано: 23.12.1981
Авторы: Блохин, Курчатов, Нисанбеков, Семенов, Таушканов, Шегай
МПК: B01J 39/00, C01G 41/00, C02F 1/42
Метки: аммония, примесей, растворов, солей
...рисутствии аммиака , исходный раствор з катионит, модифи ксидом железа 111.р 1. Раствор вольф концентрацией по И ученный растворени Примта аммонияно примерутью 1 см/ми30 х 1,5 см,зующим катиацетатнымиЭ вес.Ж тев.водят в зчто и в ка оиро ра о та. Поставле тем, что со чающемуся. в раствора в рез катиони пускают чер ванный гидр П р и м та аммония 230 г/л, па3 891 примере 1) . Порции очищенного раствора анализируют на примеси.Содержание кальция в исходных препаратах определяют пламеннофотометрическим методом, а контроль эа очисткой растворов от кальция осуществляют радиометрически по изотопу кальцийПри- Способ очистмер, ки соли1 (НН 4, )РО 4 Содержание примесей в соли, вес,4 Количество очи" щенной от каль"ция соли Са Со 51 Ге объем...
Способ приготовления водного раствора нитрата аммония заданных температуры и концентрации
Номер патента: 1231048
Опубликовано: 15.05.1986
МПК: C05C 5/00
Метки: аммония, водного, заданных, концентрации, нитрата, приготовления, раствора, температуры
...Г.Решетник Редактор М.Петрова Заказ 2522/29 Тираж 419 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д.4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная, 4 . Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано в практике научных и лабораторных йсследований, а также в производстве минеральных удобрений.Цель изобретения - упрощение процесса и уменьшение энергозатрат.Способ осуществляют следующим образом.Исходную воду нагревают до температуры 1 Значение й определяется из уравнения, полученного при обработкерезультатов экспериментальных исследований по растворению нитрата аммония в воде,Указанная формула справедлива...
Предыдущий патент: Способ изготовления двухсторонних печатных плат методом сеткографии
Следующий патент: Способ получения сорбента для очистки воды от радиоактивных загрязнений
Случайный патент: Фотоприемник на видимую область света