Стекло

Союз Советскик Социалистическик РеспубликОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ о 1,765219(22) Заявлено 250778 (21) 2648607/29-33с присоединением заявки МВ(51)М. Кл.3 С 03 С 3/10 С 03 С 3/12 Государственный комитет СССР ио делам изобретений и открытий(72) Авторы изобретения Ф(71) Заявитель Московский институт электронной техники(54) СТЕКЛО Изобретение относится к составамстекол, применяющихся в композициях с соединениями благородных металлов, для производства толстопленочных резнсторов, использующихся в гибридных интегральных схемах для радио- и электронной техники.Известно стекло 13 для толсто- пленочных резисторов, включающее, вес.Ф:РЬО 55 - 75510 в 5 - 20ВаОз 5 20НпО 2 - 102 лО 2 - 10 15 1 гОе 0 - 0,5На основе этого стекла возможно получение прецизионных толстопленочных резисторов с проводящей фазой иэ соединений рутения. 20Однако, низкоомные резисторы этого типа имеют относительно высокий положительный температурный коэффициент сопротивления (ТКС), достигающий величин +150010 а 1/оС. Такие резисторы нестабильны при воздействии влаги, термоциклов и т.п., что связано с недостаточнык количеством стека офазы в резистивной пленке. Высокий ТКС и недостаточная стабиль" ность низкоомных резисторов обусловлены высоким объемном сопротивлением стекла (Й " 0,510 ом см) и относительно незначительным уменьшением величины сопротивления стекла в интервале положительных температур 25-250 С соответственно 0,510 ом см и 0,2 10 ом см, т.е. уменьшение ве 1личины сопротивления . в 25 раз.Наиболее близким по составу к предлагаемому является стекло Г 2 включающее, вес.В:РЬО68 - 755 О 2,5- 5,5ВеОз 6 82 пО 2,5- 6,5СцО 1 - 3. Что г - 3РеО 2 - 3НлО 2 - 3,Укаэанное стекло обладает высокими значениями коэффициента линейного термического расширениял =(96,8-100)д Х 10 град т, удельного объемного сопротивления, =10 ом см, что неяпозволяет использовать его для изготовления прецизионных толстопленочных резисторов.765219 1СоО 1-10Стекло варят в корундовых тигляхпри 1250 С в течение 30 мин в силитовой печи. Полученные стекла имеютудельное объемное сопротивление при20 С р при 250 фС, равное 910" -110 омфсм и 2 а 10 "310 омфсмсоответственно.Конкретные составы стекол и свойства стекол и ниэкоомных резисторовна их основе, содержащих 40 рутения,приведены в таблице. Компоненты стекла 1 2 3 4 Известное Состав стекла, вес,ФРЬО50,в,о,МоОСцОА 1 в Оз .СоО 65,12 14,97 9,96 4,98 1,0 2,97 1,0 58,5 13,5 9,0 45 1,0 4,5 9,0 58,5 13,5 9,0 4,5 9,0 4,5 1,0 58,5 13,5 9,0 4,5 5,0 4,5 5,0 Ч,О 5 РЬО51 ЪМп 02СцОЕоОРеО Свойства стеклаА, 10гр 4 ду Ом см (20 С)рфОм см (250 ОС) 70 72 510 110 210 Е 10 ф ав 75310310 98 10 10 639107 ф 10 Свойства резистора ,РВ, Ом/ТКС, 10 град Коэф.термостойкостиф, %Коэф. влагостойкости , Ф 4 2500,1 1,0 0,1 0,3 0,3 0,1 2,5 0,5 Измерение по ГОСТ 16962-71,расширения, оно дополнительно содержит А 10 зи СоО при следующем соотношении компонентов, вес.%:РЬО 55 - 75510 10 - 25ВаОз5 20МоО 1 - 10СцО 1 - 10АО, 1 - 10СоО 1 - 10Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент США, Р 3.868.334,,кл. 252-520, 1975.2. Авторское свидетельство СССРР 614039, кл. С 03 С 3/12, 1977В,Товмасян Формула изобретения 50 а Редактор М.КелемешКорректор Г.Решетник . Техред О. Легеза Заказ 6894/10 Тираж 528 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Иосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5. Цель изобретения - уменьшениеудельного объемного сопротивления икоэффициента линейного термическогорасширения стекла.Указанная цель достигается тем,что стекло дополнительно содержитА 1 Ои СоО при следующем соотношениикомпонентов, вес.%:РЬО 55 - 755 О 10 - 2590 5 - 20МпО 1 - 10СцО 1 - 10а. Предлагаемые составы стекол обеспечивают получение низкоомных резисторов с улучшенными характеристиками. Такие резисторы удовлетворяют требованиям прецизионной техники и найдут широкое применение в производстве толстопленочных гибридных ИС, потенцнометров, СВЧ технике и т.п. Стекло, включающее РЬО, 50,ВОЗ, МоО, СцО, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью уменьшенияудельного объемного сопротивления икоэффициента линейного термическогоСоставитель 2 70 4 б 3 3 5 2 5