Способ контроля параметров объекта

ахинческатбблнсте а ц Союз Советских Социалистических Республик(51)М. Кл. а 01 В 1/30 с присоединением заявки МГосударственный номитет СССР по делам изобретений и отнрытий(53) УДК 531. .717.8 (088.8) Дата опубликования описания 100280(72) Авторы изобретения В.Л, Казак и И.М. Нагибина Ленинградский институт точной механикии оптики(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ОБЪЕКТй Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптичес; ким способам контроля микроструктурных параметров объектов .Известны способы усредиенного определения шероховатости поверхности, основанные на применении голографического принципа регистрации и восстановления волнового Фронта рассеянйогс объектом излучения (11.Ввиду необходимости совмещениЯ иэображений для получения интерференционной картины иеобхсдимо выполнение механических операций по перемещению оптических элементов в устройствах, реализующих подобные способы. Это ведет к снижению точ ности и надежности объективной оценки шероховатости поверхности,Наиболее близким по технической сущности к предложенному способу является способ контроля параметров объекта, заключающийся в том, что получают голограммы контролируемого объекта и образуют из них муаровые картины (21,Известный способ не предназначен для определения шероховатости поверхности объекта,Целью изобретения является определение шероховатости поверхностиобъекта.Укаэанная цель достигается тем,что измеряют контраст муаровых полоси по монограммам судят об измеряе-.мом параметре.При пслученйи голограмм контролируемой поверхнссти величина зеркальной компоненты отраженного све- .та может определяться пс ФормулеЯ й Д1: т .в,.рВтэ , (цгде Ъ - Френелевский коэффициентотражения;- угол падения света- длина в олны;о - среднеквадратический па-,20 раметр шероховатости поверхности.Контраст интерференционных полосв плоскости голограммы при сложенииосрногс пучка с зеркальной компо 25 нентой первого объектного пучкабудет равенФ2 ФУ)(l саююК=о(2)11,41Лрбпускание по интенсивности голограммы равноТ:ту, (11) где 3 - коэффициент контрастности фотоматериала.При последовательном экспонирова- нии двух голограмм на одной фотопластинке ее пропускание по интенсивности будетТ= (.1 +Х ) (12) Следовательно. Формула изобретения(б)Способ контроля параметров объекта,аем заключающийся в том, что получают40 голограммы контролируемого объектаи образуют из них муаровые картины,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью определения шероховатостиповерхности объекта, измеряют конт;раст муаровых полос и по номограммам судят об измеряемоц параметре,Источники информации,принятые во внимание при экспертизее. Заявка Франции Р 2247699,кл. С 01 В 11/30, 1975.2. Оптика и спектроскопия,Т. 32, Вып. 2, 1972, с. 400 40310) (прототип) . Составитель В, КлимоваТехред М,Кузьма Корректор М, Вигула гРедактор А. Семенова Заказ 92 б 7/33 Тираж 801 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по деламизобретений и открытий 113035, Москва Ж, Раушская наб., д. 4/5,;, .ч-е. ,71.14 Ягде р Ж - степень времернойф кое и,фф.срентности излучения лазераеЦ 1 - угол между направлениямиполяризации опорной изеркальной компонентыобъектных пучков.Условия эксперимента можно подобрать таким образом чтобы выполнялись условия р = 1 и соэ и = 1.Подставив в выражение (2) формулу (1) получим:у+ (,к - ,(з)"243 ргде уфер" отноСительщюй 5 /спектральный коэффициент зеркального отражения, а 1 ф 1 о,В Формуле (3) величины й, 1 и Х постоянные для данного эксперимен . та. Следовательно,контраст интерФервнционных полос будет Зависеть от параметра шероховатостиАнализ, муаровых полос показыва ет следунщее. , 2Опорйая волна при регистрации, голограммы характеризуется выражением:0 =ц екр - в(пА ., (4)/ згио о) оа зеркальная компонента первого объектного пучка - выражениемО =о екр . э)ЬЛ (5)Распределение интенсив ности св ета в интерференционной картине наЮголограмме равно1 =о а 2 ца соЭ риА -эиА )о Л( о )Переписав выражение (б) получ1 (+КсоЭ Л Ь"иДо 51 иКгде К - контраст интерференционных полос.Зеркальная компонента второгообъектного пучкаО =а ехр- чий6 ыхгде 2=А ф 26.2 1Распределение интенсивности свта на голограмме равно при второмэкспонированийХ12-1 фК соя (виА -ВщО 2 З. Т: г+Кссс ЬиА,-Б 4 сА+Г 2 а(13)Ф К ссс (вА - сс с Ш Формула (1 3) определяетпропуск ание по интенсивности в темных 1 Мьи светлых 1 юполосах муара по поверхности. голограммы, Как следует из ее анализа, пропускание при постоянных значениях 5, 6 и ) будет определяться величинами К и К 2 . Отсюда следует, что контраст муаровых полосво тющс вибудет зависеть от параметра шероховатости 8, поскольку К и К определяются выражением (3) .указанный способ позволяет определять шероховатость поверхности объекта усредненно и одновременно по всей поверхности с высокой точностью.