Патенты с меткой «геометических»

Интерференционный способ измерения геометических параметров образца и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 1775602

Опубликовано: 15.11.1992

Автор: Гуров

МПК: G01B 21/00

Метки: геометических, интерференционный, образца, параметров

...расширением номенклатуры геометрических параметров образца.Предлагаемый интерференционный способ измерения геометрических параметров образца, использующий измерения при последовательном изменении положения образца путем его вращения и поступательного перемещения в эталонном интерферометре, заключается в том, что помещают образец в эталонный интерферометр, получают две интерференционные картины при отражении света от отражателей эталонного интерферометра и каждого из двух противоположных участков поверхности образца, осуществляют фотоэлектрическое преобразование одновременно двух интерференционных картин. восстанавливают распределения фазы в интерференционных картинах, по которым определяют величины зазоров по всей площади каждой...