Способ изготовления литого микропровода в сплошной стеклянной изоляции

О П И С.А;: Н-".И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ и 11 63065 Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 06.06.77 (21) 2493636124 51) М. Кл.- Н 01 В 13(16 единением заявки М Государственный комите 3) Приоритет3) Опубликовано 30.10.78. Бюллетень 1 лГе 4 СССР по делам изобретений и открытий. П. Клин, Б 1) Заявите 54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЛИТОГО МИКРОПРОВОДА В СПЛОШНОЙ СТЕКЛЯННОЙ ИЗОЛЯЦИИия, а татекла. Изобретение относится к элсктротехпикс, в частности к способам изготовления литых микропроводов в сплошной стеклянной изоляции.Известны способы, в которых для упрочнения связи между изоляцией и жилой металлизируют внутреннюю поверхность стеклянной трубки 11 или вводят в промежуток между стеклом и металлом силикаты 2.Известен и способ защиты расплава от воздействия влаги, заключающийся в нагреве шихты в вакууме 31.Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является способ изготовления литого микропровода в сплошной стеклянной изоляции, при котором для защиты стекла и расплавленного металла от взаимодействия с атмосферой, стеклянную трубку с заготовкой металла вакуумируют с последующим заполнснием инертным газом 41.Однако реализация известных процессов и любых их сочетаний пс обеспечивает возможность изготовления литых мпкропроводов из алюминия и его сплавов, так как благодаря высокой химической активности алюминия, сго расплав реагирует с металлом покрыт кжс с силпкатами и компонентами с Цель изооретения - защита металлического расплава от взаимодействия с компонентамп стекла при изготовлении микро- проводов пз алюминия и его сплавов.Для этого заготовку металла и внутреннюю повсрхность стеклянной трубки покрывают порошком нптрпда бора, затем стеклянную трубку с помещспноп в ней заготовкой металла прокалпвают в вакууме прп 10 450 - 500 С в тсчснпс 15 - 20 мин, после чегозаполняют ес инертным газом.Нанесение на мсжфазную границу стекло - расплав инертного по отношению к алюминию и стеклу термически стойкого 15 сосдинсния (нптрпда бора) препятствуетвзаимодействшо расплава алюминия с компо снтамп стекла, прокаливание в вакууме обеспечивает удалсппс адсорбированной порошком пптрида бора влаги, а заполнение 20 трубки инертным газом обеспечивает защиту от воздействия атмосферы.Способ реализуется следующим способом, На внутреннюю повсрхцость стекляннойтрубки пз промышленно-выпускасмогостек ла марки С 90-1 с наружным диаметром5,4 мм и внутренним 3,8 мм наносят мслкодпспсрсный порошок пптрпда бора с размерамп частиц мецсс 3 мкм путем протягпванпя ватного тампона с нптрпдом бора, за крспленпого на конце металлическогоЗаказ 1811/11 Изд. ЪЪ 687 Тираж 922 Подписное НПО Государственного когиитста СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 стержня. На поверхность алюминиевого прутка диаметром 3,8 мм (марка алюминия А 999) нитрид бора наносят также с помощью ватного тампона. После нанесения нитрида бора стеклянную трубку заваривают с одного конца, в нее помещают пруток. Трубку присоединяют к вакуумной откачной системе и откачивают до давления около 5 10 а мм рт. ст, С помощью подающего устройства трубку с прутком перемещают в зону индикатора и при непрерывной откачке алюминиевый пруток прогревают до 450 - 500 С в течение 15 - 20 мин для прокаливания нитрида бора. Затем систему вакуумной откачки перекрывают и в трубку напускают очищенный аргон. Далее с помощью индуктора расплавляют алюминий и вытягивают микропроволоку в стеклооболочке по известному способу.При скорости подачи стекла около 1 О мм/мин и скорости вращения приемного барабана около 200 м/мин получается микропроволока из алюминиевой жилы диаметром 30 мкм с толщиной стеклоизоляции 3 - 4 мкм.Опробование новых микропроводов в стеклоизоляции из алюминия в производстве больших интегральных схем (БИС) со сложной внутренней коммутацией показало значительную эффективность за счет сокращения выхода приборов из строя по замыканию. А некоторые типы новых приборов вообще не могут быть созданы оез применения указанных микропроводов. Формула изобретения5 Способ изготовления литого микропровода в сплошной стеклянной изоляции, включа 1 ощий вакуумирование внутренней полости стеклянной трубки с заготовкой металла с последующим заполнением ее инерт 10 ным газом и вытяжку капилляра, заполненного жидким металлом, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью обеспечения защиты металлического расплава от взаимодействияс компонентами стекла при изготовлении15 микропроводов из алюминия и его сплавов,заготовку металла и внутреннюю поверхность стеклянной трубки покрывают порошком нитрида бора, затем стеклянную трубку с помещенной в нее заготовкой металла20 прокаливают в вакууме при 450 - 500 в течение 15 - 20 мин, после чего заполняют ееинертным газом,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе25 1. Авторское свидетельство СССР139356, кл. 21 с 54/01, 25.10.60.2. Авторское свидетельство СССР277901, кл, Н 01 В 13/16, 02,06,66.3, Авторское свидетельство СССР8023794, кл. 21 с 7/01, 10.09,64.4. Патент Японии11060, кл. 60 В 14,29.06.64.