Способ контроля герметичности оболочек

Союз Советских Социалистицеских Республик(23) Приорите асударственный комитетСовета Министров СССРоо делам изобретенийи открытий пь ЛЪ 36 53) УДК 620.165.29(088.8) ата опубликования описания 11.10.77 72) Авторы изобретения И. Иванов, И. Г. Блинов, Э, Б, Сигалов, Афанас 71) Заявитель 54) СПОСО РОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ОБОЛОЧЕ 2 публпкопапо 30.09.77. 15 юл,Изобретение относится к технике испытаний и может быть использовано для контроля герметичности оболочек, применяемых в полупроводниковой промышленности.Известны способы контроля герметичности с выявлением места течи, заключающиеся в том, что контролируемую оболочку заполняют индикаторным всгцсством в жидко 5 илп газообразном состоянии, а с внепшей стороны па оболочку воздействуют веществом путем на несения на поверхность индикаторного состава, ленты и т. д., вступаошим во взаимодействие с веществом, заполняющим контролируемую оболочку, с ооразованпем в месте течи характерного соединения, обпаруживас мого визуально по цвету.Известен способ контроля герметичности ооолочек, заключающийся в том, что ооолочку заполняют газовой смесью, содержащей сероводород, а с внешней стороны на поверх ность оболочки наносят ленту, пропитанную уксуснокислым свинцом, по изменению цвета которой обнаруживают мсста течей. Наиболее близким по технической сущности к описываемому изобретению являетсяспособ контроля герметичности, по которомуоболочку заполняют газообразным хлористымводородом, взаимодействующим с аммиаком,окружающим оболочку с внешней стороны, с 3 образованием в местах течей характерного белого дыма, обпаружпваемого визуально.Эти способы не позволяют с необходимой точностью определять место течи, загрязняют оболочки, используемые в полупроводниковой технике, и не позволяют обнаружить внутренние источники газовыделения.Целью пзобретс:шя является выбор простых средств, ооеспечпвающпх высокочувствительный контроль оболочек полупроводниковой техники оез загрязнения их.Для этого оболочку заполняют смесью, содержащей моносилан, взаимодействующий с кислородом воздуха с образованием порошкоооразного осадка окислов кремния, и продувают нейтральным газом перед началом п по окончании контроля. 1 хроме того, для сокращения времени контроля оболочку нагревают до температуры, исключающей разложение моносплана прп данном давлении; для предотвращения самовоспламенения вводят смесь, содержание моносплана в которой составляет 1 - 5 , а для ликвидации малых течей давление смеси прп контроле циклически изменяют.Обило ку предварительно продувают аргоном. Затем заполняют смесью водорода с 4% мопос,.лана до избыточного давления 0,2 атм. После выдержки в течение 1,5 часов оболочку вновь продувают аргоном п вскры574653 Составитель А. ШалыгинаТсред Л Гладкова Корректор И. Позннковская Редактор Л. Чепайкина Заказ 2130/10 Изд. Мо 799 Тираж 1109 НГ 10 Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-З 5, Раушская наб., д. 4/5Подписное Типографии, пр, Сапунова, 2 вают, При осмотре в местах течей обнаруживают слои аморфного порошка двуокиси кремния,Интерференционная способность окислов кремния позволяет визуально обнаруживать их появление на металлической поверхности, начиная с толщины слоя 100 А, а па прозрачном кварце - с 500 А,С помощью данного способа обнаруживались течи, которые ранее не удавалось обнаружить галоидным течеискателем.Способ позволяет также выявить газовыделения газов - окислителей, например из пористого участка нагреваемого подложкодержатсля, тигля и других элементов вакуумных и газовых систем, недоступных для обследования известными методами. Формула изобретенияСпособ контроля герметичности оболочек полупроводниковой техники, по которому оболочку заполняют индикаторной газовой смесью, взаимодействующей с газовой средой окружающей оболочку, с образованием вместах течей характерного соединения, обнаруживаемого визуально, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью повышения чувствительности5 контроля, оболочку заполняют смесью, содержащей моносилан, взаимодействующий скислородом воздуха с образованием порошкообразного осадка окислов кремния, и продувают нейтральным газом перед началом и по10 окончании контроля.2, Способ по п. 1, отличающийся тем,что, с целью сокращения времени контроля,оболочку нагревают до температуры, исключающей разложение моносилана при данном15 давлении,3. Способ по пп, 1 и 2, отл ич а 1 ощийсятем, что, с целью предотвращения самовоспламенения, вводят смесь, содержание моносилана в которой составляет 1 - 5%.20 4. Способ по пп, 1, 2, 3, отличающийсятем, что, с целью ликвидации малых течей,давление смеси при контроле циклически изменяют.