Термостатиреванный тензорезистор

Номер патента: 574602

Авторы: Богатов, Борщев, Манышев, Спалек, Харитонов

ZIP архив

Текст

Союз Саеетския Социалистических Реслублик(51) М. Кл. 6 01 В 7/18 аявки М присоедпнснпев Государственный комите 1 Совета Министров СССР(088,8) Бюллетень М 3 0.09,77 ублико о делам изобретений крытий Дата опубликования описания 29,09.77 Авторыпзобретсни(54) ТЕРМОСТАТИРОВАННЫЙ ТЕНЗОРЕЗИСТ 1Изооретение относится к области измерительной техники и может быть использованодля измерения давления, упругих сил вибраций, в частности в авиационной и судостроительной промьешленности.5Известны датчики механических параметров, у которых уменьшение температурной погрешности осуществляется технологическойили схемной компенсацией 11,Наиболее близким по техническому,решению к изобретению является термостатированный тензорезистор, содеркащий тензоэлемент,диэлектрический слой, обхватывающий тензоэлемент, термоэлемент, размещенный на ди-,электрическом слое, второй диэлектрический 15слой, размещенный на термоэлементе, и нагревательные элементы, обхватывающие тензоэлемент и термоэлемент 12.Тензоэлемент, термоэлемент и нагревательные элементы выполнены в виде проволочной 20решетки, а диэлектрические слои представляют собой клеевые прослойки, Однако наличиевоздушной прослойки, неравномерность распределения тепловой энергии от термоэлемента к тензоэлеьменту увеличивают температурную погрешность этого тензорезистора.Цель изобретения - повышение точностиизмерения,Для этого в предлагаемом тензорезисторегензоэлемент, диэлектрические слои, термоэле мент и нагревательные элементы выполнены в виде тонких пленок.На чертеже схематически изображен предлагаемый термостатированный тензорезистор.Он содержит тензоэлемент 1, диэлектрический слой 2, обхватывающий тензоэлемент, термоэлемент 3, размещенный на диэлектрическом слое 2, второй диэлектрический слой 4, размещенный на термоэлементе, и нагревательные элементы 5 и 6, обхватывающие тснзоэлемент и термоэлементы. Изоляция нагревательных элементов осуществляется диэлектрическими слоями 7 и 8. В цепь нагревательных элементов включен регулирующий элемент 9, а в цепь тензоэлемента - измерительный прибор 10.Термостатированный тензорезпстор работает следующим образом.Тонкопленочный тснзоэлемент 1 воспринимает воздействие изменяющегося механического параметра. Величина сигнала является функцией температуры,Для исключения температурной погрешности измерения применена стаоилизация температурного режима тензоэлемента. При отключении температуры тензоэлсмента изменяется сопротивление термоэлемеита, находящегося в аналогичных с тензоэлементом температ рных условиях, приводя соответственно к изменению,режима раооты нагревательных элсмеиКорректор Е. Хмелева Редактор О. Юркова Заказ 2133/3 Изд.772 Тираж 907 НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, )К.35, Раушская наб д, 4/5Подписное Типография, пр, Сапунова, 2 тов о и 6, т. е. к восстановлению прежнего значения температуры.Тонкопленочное исполнение нагревательных элементов, тензоэлемента, термоэлемента и изоляционных слоев ввиду их малой массы позволяет получить быстродействующую систему стабилизации температуры тензоэлемента, а следовательно, и повышение точности измере 1 ния в условиях быстроменяющихся температур за счет исключения температурной погрешности,Термостатированный тензорезистор, содержащий тензоэлемент, диэлектрический слой,обхватывающий тензоэлемент, гермоэлемент, размещенный на диэлектрическом слое, второй диэлектрический слой, размещенный на термоэлементе, и нагревательные элементы, обхва 5 тывающие тензоэлемент и термоэлемент, отл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения, тензоэлемент, диэлектрические слои, термоэлемент и нагревателыные элементы выполнены в виде тонких пленок.10 Источники иноформации, принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР434284,кл, 6 01 В 1/18, 1972.15 2. Патент ФРГ832689, кл. 42 К 45/03,1950.

Смотреть

Заявка

2361986, 14.05.1976

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6668

БОГАТОВ ПАВЕЛ НИКОЛАЕВИЧ, БОРЩЕВ ВЯЧЕСЛАВ НИКОЛАЕВИЧ, ХАРИТОНОВ ВИТАЛИЙ ПАВЛОВИЧ, СПАЛЕК ЮРИЙ МИХАЙЛОВИЧ, МАНЫШЕВ ЭДУАРД БОРИСОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01B 7/16

Метки: тензорезистор, термостатиреванный

Опубликовано: 30.09.1977

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-574602-termostatirevannyjj-tenzorezistor.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Термостатиреванный тензорезистор</a>

Похожие патенты