Способ обнаружения натекания воздуха в высоковакуумную систему

Номер патента: 567985

Авторы: Евлампиев, Левина, Мясников, Цивенко

ZIP архив

Текст

Оп ИСАНИЕИЗОЬРЕТЕ Н ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Своз СоветскихСоциалистическихРеспублик(51) М. Кл,Я 01 М 3/40 с присоединением заявки-Государственный комнтет Совета Мкннотров СССР оо делам кэооретеннй и открытой(54) СПОСОБ ОБНАРУЖЕНИЯ НАТЕКАНИЯ ВОЗДУХА В ВЫСОКОВАКУУМНУЮ СИСТЕМУИзобретение относится к испытательной технике в частности к способам контролягерметичности.Известен способ обнаружения натекания воздуха в вакуумную систему при помощи б манометров, измеряющих повышение давлению в системе после откачки 1. Однако поскольку повышение давления в системе обусловлено не только натеканием, но и газовыделением со стенок, необходимо О значительное время для достижения стационарного уровня газовыделения.Известен также способ обнаружения натекания воздуха в высоковакуумную систему при помо 1 ци масс.спектрометрического б течеискателя 21.-Реализация данного способе сложна, а сами приборы громоздки и дороги.Наиболее близким по технической сущности к предлатаемому является способ обна ружения натекания воздуха в высоковакуумную систему, заключающийся в том, что в систему помешают пленочный чувствитель ный элемент из легко окисляюшегося металла и по изменению его сопротивления за 25 счет окисления при натекании воздуха в систему. судят о ее герметичности 31.- Способ позволяет производить только од нократное обнаружение натекания воздуха в специальные технологические системы,- 0 ель изобретения - повышение производительности эа счет многократного использования чувствительного элемента,Эта цель достигается тем, что в качеств ве материала чувствительного элемента используют химически и термически.устойчивые окислы металлов с эпектронной прово-: димостью, изменяющейся при хемосорбаиикислорода.Сушность способа состоит в том, что в высоковакуумнуто систему помешают пленоч, ный чувствительный элемент, например, иэ 2 ЪО,СдО или ТО,.При натекании воздуха в систему элемент изменяет свое сопротивление за счет хемосорбпин кислорода на поверхности пленки. По изменению .сопротивления элемента судят о герметичности системы.- Чувствительный элемент готовится термическим вакуумным напылением металла567985 Составитель А. ШалыгинаРедактор В. Другова 7 ехрер, А, Богдан Корректор Е, Папп Заказ 2792/32 Тираек 1101 Подписное 10 ИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4/5(соответственности, Сд или Т ) на кварцевую подложку, снабженную двумя платиновыми контактами, с последующим окисле. нием металла на воздухе при температуре ок 6 о 5 ООС,После обнаружения натекания регенерация элемента осуществляется нагревом эле мента до 300-350 оС, Чувствительный элемент не изменяет свои свойства при храКении его на воздухе в течение длительного времени.Способ позволяет осуществлять много кратное использование чувствительного элемента для контроля высоковакуумных систеу в широком диапазоне натеканий 10- 10 лмкм рт.ст,сека формула изобретения Способ обнаружения натекания воздуха в высоковакуумную систему, заключакяци 3 Ь.ся в том, что в систему помешают пленоч- ный чувствительный элемент из токопроводяшего материала и по изменению его сопротивления при натекании воздуха в систему судят о ее герметичности, о.т л и - .ч а ю щ н Й с я тем, что, с целью повышения производительности за счет многократного использования чувствительного элемента, в качестве материала чувстви тельного элемента, используют химическиа термически устойчивые окислы метал, лов с электронной проводимостью, изме 1 .няющейся при хемосорбции кислорода. 3Источники информации, принятые во внифмание при экспертизе:1,-Ланис В. А, Левина Л. Е, Техникавакуумнык испытаний. М. П., -Госэнергоиздат, 1963, с. 139-144,ф 2,-Там же, стр. 151,3, Авторское свидетельство % 462224,л, С Ч 3/16, 1973,

Смотреть

Заявка

2320812, 06.02.1976

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-7629

ЕВЛАМПИЕВ АНАТОЛИЙ ИЛЬИЧ, ЛЕВИНА ЛЮБОВЬ ЕФРЕМОВНА, МЯСНИКОВ ИГОРЬ АЛЕКСЕЕВИЧ, ЦИВЕНКО ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01M 3/40

Метки: воздуха, высоковакуумную, натекания, обнаружения, систему

Опубликовано: 05.08.1977

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-567985-sposob-obnaruzheniya-natekaniya-vozdukha-v-vysokovakuumnuyu-sistemu.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ обнаружения натекания воздуха в высоковакуумную систему</a>

Похожие патенты