Раствор для избирательного химического травления многослойных металлических структур

Союз Соеетскии Социалистических РеспубликОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ(51) М. Кл,е С 09 К 13/06// //С 23 Р 1/02 с присоединением заявки23) Приоритет -осуда рствеиныи комитетСовета Иииистроа СССРоо делам иэооретенийи открытий(4 б) Дата опубликования описания 08.09.7(72) Авторы изобретения лев, В.В, Лутовинова и В,А. Матиссен 7г(71) Заявитель 54) РАСТВОР ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ СТРУКТУР 35-450,3-1,50,01-0, 1 Соляная кислота Метафенилецдиа н солянокисл ыиДинатриеваямотроповой кислотыВодаДля приготовленколичество воды доличества азотной ичего в состав вводорганические добав соль хр-0,1 Остальное,ия раствора в расчетноебавляют необходимые косоляной кислоты, послеят при перемешиваниики,шение раврисункаь-ковар. Изобретение относится к области химической обработки поверхности металлов, в частности х составам для травления на основе неорганических кислот.Широко известны растворы для химического травления многослойных структур, содержащие смесь минеральных кислот и различные органические добавки (1, 21.Наиболее близким к предложенному изобретению является раствор для избирательно О го травления многослойных металлических структур, содержащий азотную и соляную кислоты, органические добавки (трилон Б, фенилмочевина, уксусная кислота) и воду.Однако при вытравливании таким раство- ц ром элементов рисунка в металлической структуре ковар-медь-ковар фактор травления не превышает 1,0, неровность края составляет 0,02-0,03 мм, что не обеспечивает получения годных изделий, например. не- оО обходимых размеров выводных рамок интег- ральных схем.Целью изобретения является ловыномерн ости вытравливания элементов при обработке триметалла ковар-мед Поставленная цель достигается тем, что в качестве органических добавох предлагаемый раствор содержит метафенилендиамин солянокислый и динатриевую соль,хромотроповой кислоты при следующем соотношении компонентов, весЛ:Азотная кислота П р и м е р. Выводные рамки интегральных схем со структурой ковар-медь-ковар размером 28 х 24 х 0,25 мм травят одновременно с двух сторон в растворах, состав которых и полученные результаты, приведены ниже.560898 Компоненты 40 Азотная кислота Соляная кислота 0,5 1,5 0,3 Метафенилендиамин солянокислый 0,05 О,О 5 0,052 еО 2 е 5 0002 0003 Ое 002 Оэ 003 Ою 002 01003 400 400 400 внутренних выводов внешних выводов 400 400 400 Клин травления; мкм 20-25 20-25 26-25 Предложенный раствор по сравнению с известными обеспечивает высокое качество травления изделий из многослойных металлических структур ковар-медь-ковар и позволяет практически исключить брак произЗО родства по геометрическим размерам выводных рамок интегральных схем. Кроме того, этот раствор обладает высокой полирующей способностью (чистота обработки соответсгаует 9 классу 1, исключает шламообразоааЬ 5 ванне.Изобретение может быть использовано при производстве деталей электронной тех- ники Раствор для избирательного химического травления многослойных металлических струк.45 тур, содержащий азотную и соляную кислоты, органические добавки и воду о т л и ч а юСоставитель А, РычаговРедактор Е, Братчикова Техред Н, Андрейчук Корректор Е, Папи Заказ 1659/138 Тираж 834 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 Ширина контактных площадок, мкм: Ф о о м у л а изобретения Соотношение компонЬнтов, % аес,щ и й с я тем, что, с целью повышенияравномерности вытравливания элементов рисунка при обработке триметалла ковар-медьковар, в качестве органических добавок онсодержит метафенилендиамнн солянокислыйи динатриевую соль хромотроповой кислотыпри следующем соотношении компонентов,вес.%;Азотная кислота 35-4 5Соляная кислота 0,3-1,5Метафенилендиамин солянокислый 0,01-0, 1Динатриевая соль хромотроповой кислоты 0,01-0,1ВодаОстальное.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе;1,ПатентСША, 3702273, кл, 15618, 1972,2. Коваленко В,С. Справочник "Металлографические реактивы". М., "Металлургия"1973, с. 59-60.