Интерференционный способ контроля формы вогнутых асферических оптических поверхностей

,.Г,з,Фф . г;ф - тту . 4. т , "1. ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ р)544864 Сава Советских Социалистических Республик(51) М. Кл6 01 В 11246 01 В 9/02 рисоединением заявки че Государственныи комитет овета Министров СССР ло делам изобретений(54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЪЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ВОГНУТЪХ АСФЕРИЧЕСКИХ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙИзобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использован при контроле формы поверхностей, в частности при контроле вогнутых асферических оптических поверхностей, например параболических заркальных поверхностей.Известен интерференционный способ контроля вогнутых асферических оптических поверхностей, например параболических зеркальных поверхностей, состоящий в том, что преобразуют сферический волновой фронт, направляемый на контролируемую поверхность с помощью оптического компенсатора. Отразившись от контролируемой поверхности и вновь пройдя через компеисатор в противоположном направлении, пучок света направляют в интерферометр, где он взаимодействует с пучком света, отраженным от эталонного сферического зеркала. В случае соответствия контролируемой поверхности заданной форме интерференционная картина в зависимости от исходной настройки интерферометра будет иметь вид правильных концентрических колец либо прямых, полос. По искривлению колец (полос) определяется действительная форма поверхности 1.Недостатком такого способа является необходимость использования для каждого вида асферических поверхностей соответствующих оптических компенсаторов, погрешность изготовления которых должна быть значительно меньше, чем определяемые ошиоки формы контролируемой поверхности.Наиболее близким по своей технической 5 сущности к предлагаемому способу являетсяинтерференпионшяй способ контроля вогнутых асферичсских оптических новерхиостеи, при котором центры кривизны контролируемой поверх совмещают с центром крио визны эталонного сферического зеркала и воздействуют иа них расходягцимся пучком лучей от точечного источника света в совмещенном оптическом центре. После взаимодействия отраженных от эталонной и контролируемой по верхности пучков лучей но интерференционнойкартине, например в виде колец, производят контроль 2, Однако такой способ пригоден для контроля асферических поверхностей с небольшими отступлениями от сферы.2) При контроле, например, параболических поверхностей с большими отклонениями от сферы частота пнтерференционных колец на некотором расстоянии от центра исследуемого поля станет настолько высокой, что они не будут 25 разрешаться интерферометром, т. е. значительная область поверхности останется непроконтролированной.Целью изобретения является обеспечениевозможности контроля поверхностен с больЗз шими отклонениями от сферы.544864 Составитель Л. Лобзова Корректор Н, Аук Техред Е, Петрова Редактор Т. Пилипенко Заказ 309 Изд.148 Тираж 729 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., и. 4/5Типография, пр. Сапепова, 2 Это достигается тем, что эталонное сферическое зеркало перемещают вдоль его оптической оси, последовательно совмещая кольцевые зоны отображения источника света на контролируемой поверхности с его отображением на сферическом зеркале, и судят о правильности формы контролируемой поверхности по характеру интерференцпонных картин в совмещенных кольцевых зонах.Способ может быть осуществлен при работе, например, на неравноплечном интерферометре типа ИТ, в который введен механизм перемещения эталонного сферического зеркала вдоль оптической оси на величину предельной аберрации контролируемой поверхности.Предлагаемый способ состоит в следующем.Совмещают изображение источника света находящегося в центре кривизны эталонного сферического зеркала, с центром кривизны осевой зоны контролируемой асферической (параболической) поверхности и фотографируют пнтерфсренционную картину в виде иптерферепционных колец. Вблизи центра поверхности будут наблюдаться достаточно широкис пнтсрфсрснционные кольца, по которым определяется погрешность формы поверхности вблизи ее центра. Перемещают сферическое зеркало гдоль оптической оси по направлению к источнику света и измеряют величину этого перемещения. Затем определяют по интерферограмме положение совмещенного центра скомпенсированной зоны, сравнивают его с расчетным значением и определяют для нее соответству 1 ощий характерный параметр. По искривлению интерференционных колец в скомпенсированной зоне определяют мсстныс ошибки контролируемой поверхности. Дальнейшее дискретное перемещение сферического зеркала в том же направлении дает возможность последовательно проконтролировать асферпческую поверхность в соседних кольцевых зонах и судить, таким образом, о правильности ее формы в целом,Формула изобретения10 Интерференционный способ контроля формывогнутых асферических оптических поверхностей, при котором центры кривизны контролируемой поверхности совмещают с центром кривизны эталонного сферического зеркала 15 и воздействуют на нпх расходящимся пучкомлучей от точечного источника света в совмещенном оптическом центре, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью обеспечения возможности контроля поверхностей с большими отклоне пнями от сферы, эталонное зеркало перемещают вдоль его оптической оси, последовательно совмещая кольцевые зоны отображения источника света на контролируемой поверхности с его отображением на сферическом зеркале, и 25 судят о правильности формы контролируемойповерхности по характеру интерфсренционпых картин в совмсщаемых кольцевых зона.,. Источники информации, принятые во впи мание при экспертизе:1. Пуяев Д. Т. Компенсатор для контролякачества параболических зеркал большого диаметра. ОМП, 1973,4.2, Духопел И, И. и Федин Л. Г. Интерферен ционныс методы и приборы для контроляправильности формы сферических поверхностей. ОМП, 1973,8 (прототип),