Устройство для ориентации подложек при изготовлении микросхем

С"ю Севе сюф Соааонстических Респблин(22) Заявлено 06.01.75 (21) 2095885/21 51) М. Кл.а Н 05 К Зу 00Н 011. 21/(О рисоединением заявкиарственнын комите 23) Приоритет Совета Министров ССС по делам изобретений(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ПОДЛОЖЕК ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ МИКРОСХЕМИзобретение относит в частности к технолог для ориентации подло микросхем). Известны устройства жск при изготовлении координатный стол, вь и нижней плит, переме ых направляющих би мпческими пластинами Однако известные у моздки и не обеспечи и надежности ориентацдиоэлектронике, у оборудованию и изготовлении сякр ическо кек (п для ориен; дии подло- микросхем, содержащие полненный из верхней щающихся на пружинморфными пьезокера тройства сложны, гроают высокой точностиии подложек. редлагаемое устложек при изгоЦель изобретения - повышение точности н надежности ориентации подложек,Это достигается тем, что в предлагаемом у:тройстве для ориентации подложек при изготовлении микросхем в плите координатного стола выполнены продольные и поперечные пазы, образующие рабочую плиту для размецения подложки, внутреннюю и наружную рамки и упругие элементы, соединяющие их между собой, причем пьезоэлектрические элементы размещены между внутренней и наружной рамками, а также между рабочей плитой и внутренней рамкой.На чертеже изображено пройство для ориентации подтовлении микросхем. Устройство содержит координатный стол,выполненный в виде плиты, взаимодействующей с пьезоэлектрическими элементами 1 - 4, размещенными в,продольных и поперечных пазах координатного стола и образующих рабочую плиту 5 для размещения подложки, внутреннюю 6 и наружную 7 рамки, упоров 8 и 9 и упругих элементов 10 - 21.При подаче электрического напряжения на 10 пьезоэлектрический элемент 1 происходит егорастяжение (сжатие), и так как он соединен с упором 8 и наружной рамкой 7, то последняя смещается по координате Х за счет деформации упругих элементов 18 - 21, и одно временно смещается плита 5 ивнутренняя рамка 6 в том же направлении. При подаче электрического напряжения на пьезоэлектрический элемент 2 происходит смещение рамки б ,по координате У за счет деформации упругих О элементов 10 - 13, и одновременно смещаетсяплита 5 в том же направлении, а рамка 7 выполняет функции упора для рамки 6, При подаче электрического напряжения на пьезоэлектрические элементы 3 и 4 создается вра щающийся момент, и плита 5 за счет деформации упругих элементов 14 - 17 совершает разворот, а внутренняя рамка 6 выполняет функции упора для плиты 5. При одновременной подаче электрического напряжения на 31 все пьезоэлектрические элементы плита 5541305 оставитель Н. Блинкова Корректор Н, Ау ктор Е, Карауло трона хред ж 1029Министров СССРтий., д. 4/5 Изд,1903 ТирПИ Государственного комитета Совета по делам изобретений и откр 113035, Москва, Ж, Раушская на дписное Заказ 2893/16 ография, пр. Сапунов смещается по двум координатам Х и У и развертывается под углом.В качестве упругих элементов могут применяться пьезоэлектрическая керамика и магнитострикционные материалы.Таким образом, предлагаемое устройство обеспечивает все виды перемещения, необходимые при ориентации подложек, а плита 5, рамки 6 и 7, упоры 8 и 9 и все направляющие легко образуются в единой металлической заготовке путем фрезерования сквозных щелей,Формула изобретенияУстройство для ориентации подложек при изготовлении микросхем, содержащее координатный стол, выполненный в виде плиты, взаимодействующей с пьезоэлектрическими элементами, отличающееся тем, что, с цельюповышения точности и надежности ориентации подложек, в,плите координатного стола5 выполнены продольные и поперечные пазы,образующие рабочую плиту для размещенияподложки, внутреннюю и наружную, рамки иупругие элементы, соединяющие их между собой, причем пьезоэлектрические элементы раз 10 мещены между внутренней и наружной рамками, а также между рабочей плитой и внутренней рамкой,Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:15 1, Авт. св. СССР Ха 379065, кл. Н 05 К 3/00,1970 (прототип).