Способ склеивания оптоэлектронной пары

ц тОП ИСАНИЕ Союз Советских Социалистических Республик151081 ИЗОБРЕТЕНИЯ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ополнительное к авт. свил(22) Заявлено 210872 (21) 1553653/25с присоединением заявки М -(51) М. Кл. С,01 З 1/0 арстееииый комитесссрелам изобретениии открытий(23 орит Опубликова Дата опубли 5.888.8) о 050279, Бюллетень исания 1002.7 аи 72) Авторы изобретени.В. Варламов и В.Г, Кирпилен 71) Заявитель КЛЕИВАНИЯ ОПТОЭЛЕКТРОННОЙ ПАРЫ П ура емп зм Зо полу" ро- ком то он ранул долженим требованиям.дельное сопроли большео имМатериал шаровых удовлетворять следу 1. Электрическое тивление (Я ) равно мерсионной среды.Изобретение относится к технологии изготовления оптических полупроводниковых приборов - оптоэлектронных пар. Известныспособы склеивания оптоэлектронных пар с помощью иммерсионной среды.При осуществлении известных спосо бов невозможно получить равномерный и точно фиксированный зазор между фотоприемником и светоизлучател. Цель предложенного способа - чение равномерного и точно фикси ванного зазора между фотоприемни и светоизлучателем.Согласно изобретению в иммерсионную среду вводят сферические гранулы из диэлектрика, имеющие диаметр, равный требуемому зазору между фо приемником и светоизлучателем в к центрации не менее 5-10/5 О шт/см2 где 8 - площадь соприкосновения фотоприемника и светоизлучателя, д требуемое расстояние между фотоприемником и светоизлучателем. 2Температ ра ягчения должна быть выше т ературы плавления иммерсиоИной среды.3. Он не должен химически взаимо. действовать с материалами фотоприемника и светоизлучателя и иммерсионной средой, Этими свойствами обладают, например, гранулы из кварца,Гранулы могут вводиться в иммерсионную среду либо непосредственно перед ее применением, либо заранее.Так как в качестве иммерсионной среды возможно применение двух видов материалов; либо полимерных органических, либо легкоплавких халькогенидных стекол, то и вводить гранулы следует с учетом свойств среды, Например, в случае применения в качест ве иммерсионной среды полимерной смолы в качестве гранул применяют шарик иэ силикатного или халькогенидного стекла. В полимерную иммерсионную среду перед употреблением добавляют указанное количество гранул, смесь тщательно перемешивают до образования взвеси, Поместив каплю такой иммерсии между фотоприемником и свето- излучателем, осторожно притирают их друг к другу до упора. Так как в зазор между этими элементами попадет530871 Формула изобретения Составитель А. ШеломоваТехред Э,Чужик Корректор М. Демч ик Редактор Е, месропова Заказ 150/48 Тираж 765 ПодписноеЦИИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва ЖРаушская наб д. 4/5 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 при данной концентрации 5-10 шт, гранул, они распределяются в одной плос" кости, препятствуя их сближению, устанавливая, таким образом, нужное расстояние между ними.В случае применения в качестве иммерсионйой среды легкоплавких халько . генидных стекОл гранулы, изготовленные из более тугоплавкого халькогенидного стекла, кварца и т.д., добавляются в расплав халькогенидного стекла, смесь перемешивается, охлаждает ся и применяется в качестве иммерсионной средыНаличие в иммерсионной среде между ФП и СИ 5-10 гранул диаметром 15-100 мкм не влияет на оптические характе- д ристики оптоэлектронной пары, т.к. суммарная площадь гранул значительно меньше площади, по которой осуществляется светопередача, особенно, если, как показывает опыт, наиболее распространение получают пары с эазором 20-25 мкм и площадью .аетопередачи 1 мм . Сферические гранулыиз любых материалов размером от 1 до100 мкм изготовляются методом плазменного распыления,Способ склеивания оптоэлектронной пары с помощью иммерсионной среды, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью получения равномерного и точно фиксированного зазора между фотоприемником и светоизлучателем, в иммерсионную среду вводят сферические гранулы из диэлектрика, имеющие диаметр, равный требуемому зазору между фотоприемником и светоиэлучателем в концентрации не менае 5.10/5 дашт/смгде б - площадь соприкосновения фтоприемника и светоизлучателя, о - требуемое расстояние между фотоприемником и светоиэлучателем.