Способ изготовления холодильных катодов

ZIP архив

Текст

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДВТВДЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(51) М, Кл.еН 013 9 Н 01 1 22) Заяв присоединением заявки 3) Приоритет Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий, А. А. Бабурин, В. А. Беляев,М. А. Савичева, Л. Н. Покосовскийи Д. Н. Харитонов 1) Заявител 4) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ХОЛ Х КАТОДО Изобретение относится к области элект роники и может быть использовано при изготовлении холодных катодов для газоразрядных приборов, например для катодов ОКГ,Известен способ изготовления холодных катодов из сплавов, содержащих элемент с повышенным сродством к кислороду, путем избирательного окисления сплавов в атмосфере кислорода, Однако катоды, изготовленные этим способом, обладают малой устойчивостью пленок к катодному распылению. Цель изобретени ости окисных плен нию и, таким обр- повышение устойчик катодному распыом, его долговечноется тем, что катодатуры начала фазовыхнале катода и выдерпературе от 3 до 16ают температуру наивают при данной тем. На поверхности мааемых по предлагаемоЭта цель достига нагревают до темпер превращений в матер живают при этой тем часов. Поотом подним 50-200 С и выдерж пературе 5-120 мин териалов, обрабатыв 72) ЛвторыВ, С. Ананизобретения Г. И. Есаре му способу, образуется устоичивая к ионной бомбардировке двухслойная окиснаяпленка, внешний слой которой состоит изокиси элемента с высоким сродством к в кислороду, а подслой представлен смесьюокислов компонентов и шпинелей соответствующего типа,Используя предлагаемый способ окисления, можно получать катоды с устойчивой О к тлеющему разряду пленкой из любогоматериала, содержащего металл с высокимсродством к кислороду. Так, например, катоды из сплава алюминия с 6% магнияобрабатывают до частоты 8-14 класса и 5 окисляют в кислороде при давлении1-100 мм рг.ст. при температуре 250 оС втечение 3 часов. Затем производят подьемтемпературы до 400 С, при которой выдерживают 15 мин, В результате такогоокисления на поверхности катодовобразуются устойчивые к ионной бомбардировке двухслойные окисные пленки, внешнийслой которых состоит из кристаллическойокиси магния, с размерами кристаллов окиси (100-300 А), соизмеримыми с его509165 Составитель Г, ЖуковаРедактор Г. Яковлева Техред Н. Андрейчук Корректор С. Болдижар Заказ 698/115 Тираж 1002 ПодписноеЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП фПатентф, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 толщиной, а подслой представлен аморрной пленкой, по составу близкой кММЯ.Долговечность катодов из сплава алюминия с 6% магния, обработанных вышеописанным способом, составляет величину почти на порядок большую, чем для катодов из того же сплава, окисленных другими способами,формула изобретенияСпособ изготовления холодных катодов из сплавов, содержащих элемент с повышен 4ным сродством к кислороду, путем избирательного окисления нагревом в атмосфере кислорода, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения устойчивости окисных пленок к катодному распылению, катоды нагревают до температуры начала фазовых превращений, выдерживают при этой температуре от 3 до 16 часов, затем подонимают температуру на 50-200 С и выдерживают от 5 до 120 минут.

Смотреть

Заявка

2043968, 11.07.1974

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8769

АНАНЬИН В. С, БАБУРИН А. А, БЕЛЯЕВ В. А, ЕСАРЕВ Г. И, САВИЧЕВА М. А, ПОКОСОВСКИЙ Л. Н, ХАРИТОНОВ Д. Н

МПК / Метки

МПК: H01J 1/30, H01J 9/02

Метки: катодов, холодильных

Опубликовано: 25.02.1977

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-509165-sposob-izgotovleniya-kholodilnykh-katodov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления холодильных катодов</a>

Похожие патенты