Способ изготовления полупроводниковых тензорезисторов

Номер патента: 504076

Авторы: Аммер, Елисеев, Карелин, Постников

ZIP архив

Текст

Союз Советскии Социалнстицескии Республикосудврствоииый комитетСовета Министров СССРпо далви и вбретоиийи открытий УДК531.781,2 (088.8 ммер, В, А, Елисеев, В. С и Б, В. Карелин тнико 72) Авторы изобретен ронежски политехнический инстит(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ Изобретение отностекнике, а именно кназначено для измереличин. мерительной етрии, и пеканическик и олупр ючающийс требуемо зотрансчему выособом можно пол виде прямолинейн нельзя наклеиват радиусом кривиэ ния является полу аданной криволиней дн этим сптолько вкоторые чать кристаллы стержней,кнв поверкнос Белс малым иэобрете ны.чениеной ф тензорезисторов змы. Известен способ изготовления водниковых тензорезисторов, зак в том, что выращивают кристалл длины посредством химическкк г портнык реакций и присоединяют воды из металла,Достигается она тем, что при изготовлении,тензорезистора используют пуансон ,и матрицу определенного профиля, между которыми помешают,ккристалл, нагревают ик в инертной среде до температуры,при которой упругие деформации кристалла переходят в пластические, и охлаждают кристалл, зажатый между матрицей и пуансоном, соскоростью, обеспечивающей релаксацию внутренник напряжений в кристалле,После выращивания кристалла требуемой,длины посредством газотранспортных реак 5 ций его помешают между пуансоном и матрицей, выполненными из термостойкого ма,териала, например графита.Профиль пуансона должен соответствовать криволинейному профилю той поверхО ности, на которой .предполагается наклейка тенэореэистора, в профиль матрицы дол.- жен представлять собой эквидистантную поверхность, отстоящую от поверхности пуансона на велипину, рван,ю толц 1 ине криб ствлла. Затем кристалл вместе с матрицейи пуансоном нагревают в инертной среде дотемпературы,пои которой упругие деформа,ции кристалла, деформированного пуансоном,переходят в пластические, При этоМ подО,действием усилий, приложенных к пуансону,,например, под действием веса пуансона, образуется криволинейная форма тензореэистора. Изготовленный кристалл охлаждаютвместе с матриней и пуансоном со скороб стью, обеспечивающей релаксацию внутрен504076 Составитель. Н, ТимошенкоТехред М, Ликович Корректор 3. Фанта Редактор В. ДибобесЗаказ 62 Подписное Тираж 864 ЦНИИПИ Государственного комитета совета Министров СССР по делам изобретений и открытий113035,Москва, Ж, Раушская набд, 4/5Филиал ППП Патент", г, Ужгород, ул, Гагарина, 101 ннх напряжений в кристалле, например при остывании вместе с печью.После выполнения этих операций к полупроводниковому кристаллу присоединяют выводы из металла. формула изобретения Способ изготовления полупроводниковых; тензорезисторов, заключающийся в том, что выращивают кристалл требуемой длины посредством химических газотранспортных реакций и присоединяют к нему выводы изметалла, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью получения заданной криволинейной формы тензорезисторов, используютйуансон и матрицу определенного профиля,между которыми помещают кристалл, нагревают их в инертной среде до температуры,при которойупругие деформации кристаллапереходят в пластические, и охлаждают кристалл, зажатый между матрицей и пуансоном, со скоростью, обеспечивающей релаксацию внутренних напряжений в кристалле.

Смотреть

Заявка

2064416, 26.09.1974

ВОРОНЕЖСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ

АММЕР СТАНИСЛАВ АЛЕКСЕЕВИЧ, ЕЛИСЕЕВ ВЛАДИМИР АЛЕКСАНДРОВИЧ, ПОСТНИКОВ ВАЛЕНТИН СЕМЕНОВИЧ, КАРЕЛИН БОРИС ВАДИМОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01B 7/16

Метки: полупроводниковых, тензорезисторов

Опубликовано: 25.02.1976

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-504076-sposob-izgotovleniya-poluprovodnikovykh-tenzorezistorov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления полупроводниковых тензорезисторов</a>

Похожие патенты