Объектодержатель для электронного микроскопа
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 491172
Автор: Жданов
Текст
ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик.Ч, Кл, Н 01137/2 с присоединением заявки -Гасударственный комите Совета Министров СССР 32) ПриоритетОпубликовано 0 нзабретени(088.8) о де н откры Дата опт блико(54) ОБЪЕКТОДЕРЖАТЕЛЬ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПАг,ношения: - (диафрагм 5 иобъекта до этих5 Испарение тиили одновременнили непосредстСкорость откачкувеличить при0 тел я. ггде г,7; 1, идиафрагм.тана можето с наблюдвенно переди остаточныхохлажденииг, - радиусы асстояние о производиться гнием объекта наблюдением газов можно объектодержаИзобретение относится к узлам электронго микроскопа и может быть использовано электронной микроскопии и электронографии,Известны устройства для уменьшения загрязнения электронно-микроскопических объектов в процессе исследования, в которых используются хладагенты. Однако остаточные газы загрязняют поверхности объекта, создают окисные пленки и т. д., так как на охлаждаемых диафрагмах конденсируются не все газы,Цель изобретения - уменьшение полного давления остаточных газов в канале объектодержателя. Поставленная цель достигается благодаря тому, что диафрагма, расположенная ближе к источнику электронов, изготовлена из материала с геттерными свойствами, например титана, а между ней и объектом помещена дополнительная диафрагма меньшего диаметра.На чертеже показан предложенный объектодержатель,Объект 1 помещают в корпус 2 объектодержателя. Диафрагма 3, которая может быть закрыта прозрачной для электронов пленкой, ограничивает доступ остаточных газов к объекту снизу. Втулка 4, в которой расположена промежуточная диафрагма 5, прижимает объект к корпусу держателя под давлением со стороны винта 6. Внутри винта выполнен канал для пропускачия электронного луча. В гнезде канала размещена титановая диафрагма 7. Боковая прорезь в винте спо собствует откачке газов из зазора междувтулкой 4 и корпусом 2.Устройство работает следующим образом.Электронный луч падает сверху на диафрагму 7 и частично проходит через нее. ОсновО ная часть электронов поглощается диафрагмой, которая нагревается, что при достаточной интенсивности луча вызывает испарение титана. Атомы титана оседают на стенках канала объектодержателя, захватывая молекулы остаточных газов и тем самым понижая давление.Из геометрических соображений следует,что для предотвращения оседания атомов титана на объект необходимо выполнение соот491172 оставнтель Б. Калин орректор и. Симкина кред А. Камышников Редактор ловская Из Тираж 833 И Госуд Совета Министро по открытий Мос наб., д. 4/5д Чо 95арствениого комитетаделам изобретений и ква, Ж, Раушская 5/77ЦНИ ПодписноеСССР ип. Харьк. фил. пред. Патент Предмет изобретения Объектодержатель для электронного микроскопа, содержащий корпус и диафрагмы, ограничивающие пространство вблизи объекта, отличающийся тем, что, с целью уменьшения полного давления остаточных газов в канале объектодержателя, диафрагма, расположенная ближе к источнику электронов, изготовлена из материала с геттерными свойствами, например из титана, а между ней и 5 объектом помещена дополнительная диафрагма меньшего диаметра.
СмотретьЗаявка
1907980, 18.04.1973
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6681
ЖДАНОВ ГЛЕБ СЕРГЕЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01J 37/26
Метки: микроскопа, объектодержатель, электронного
Опубликовано: 05.11.1975
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-491172-obektoderzhatel-dlya-ehlektronnogo-mikroskopa.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Объектодержатель для электронного микроскопа</a>
Предыдущий патент: Защитный чехол
Следующий патент: Импульсное осветительное устройство
Случайный патент: Судовой забортный трап