Инверсионная мишень

Номер патента: 1463051

Опубликовано: 23.12.1990

Авторы: Варенцов, Матышев

МПК: H01J 27/00

Метки: ионных, источник, пучков

...резервуар 6 с жидким .металлом подается напряжение порядка 3"1 О кВ отцосительно заземленного сверхзвукового сопла 1 и корпуса иоцизатора 4, Острие 7 является анодом, а отверстие 10 в торце корпуса ионизатора выполняет роль экстрактора ионов.Работает источник ионов следующим образом.При истечении нейтрального газа- носителя (водород, гелий, неон, азот, аргон, криптон, ксеноц, воздух) из камеры 2 цапуска через сверх звуковое сопло 1 в вакуум образуется сверхзвуковая струя газа, Сверхзвуковая струя гаэа-носителя обтекает корпус иоциэатора 4 и смыкается за его торцом, образуя в области зкстрактора разрежение. Таким образом реализуются условия, позволяющие поддерживать разность потенциалов между экстрактором и острием 7. Ионы рабочего...

Номер патента: 717622

Опубликовано: 25.02.1980

Авторы: Буевич, Цетович

МПК: G01N 5/00

Метки: аппарат, газа, зернистом, инжектируемых, лабораторный, массы, слое, струей, частиц

...необходимых для проявления и об- . "тем самым массу слоя, которая была инжек;работки кинопленки. 1 ф тирована струей за измеренный промежуток времени Айалогичные измерения могутЦелью настоЯщего изобРетениЯ ЯвллетсЯ быть проделаны и для неограниченной струи." " повышение-точности и сокращения вРемени Таким образом, точность получаемых резульизмерений. -: : :.: в :- " = " "татов"определяется-точностьюизмерения шидамйая" цель-достигается тем, что Ре- ны струи и точностью изготовления отверсо , 20 Р- гистрирующее устроиство выполнено в ви- .,"ия в корзине. Снижение вйсоты слоя в анде сетчатой корзины, разделенной веРти-парите засчет выноса части материала струкальной перегородкой на две камеРы в.од- ей мало. При размерах...

Номер патента: 1067973

Опубликовано: 15.01.1985

Авторы: Батечко, Дьячков, Зиненко, Петруша

МПК: H01J 21/00

Метки: быстрых, водорода, зарядового, ионных, компонента, неиспользуемого, преобразования, пучка, пучков, состояния, удаления, устройствах, частиц

...быстрых частиц водорода водородные частицы термалиэуются и десорбируют в объеме в виде молекулярного газа, что приводит к понижению эффективности удаления быстрых частиц водорода из вакуумного объема устройства.Целью изобретения является повы- .; шение эффективности удаления .з1Цель достигается тем, что при удалении неиспользуемогокомпонента пучка быстрых частиц водорода в устройствах для преобразования щелочно-зарядового состояния ионных пучков способом, включающим орошение рабочей поверхности токоприемника неиспользуемого компонента жидким щелочным металлом, производят орошение жидким щелочным металлом рабочей поверхности токоприемника, покрытой слоем материала, образующего химические соединения или раствор со щелочными...

Номер патента: 1123392

Опубликовано: 23.03.1986

Авторы: Аруев, Байдаков, Мамырин

МПК: G01T 1/29

Метки: детектор, ионных, пучков

...тритий способны накапливаться на поверхностях по мере работы с ними, причем их удаление связано с большими трудностями. Таким образом, при работе прибора даже с минимальными количествами трития со временем происходит увеличение фона,Цель изобретения - обеспечение возможности измерений ионных токов при наличии в приборе-активной газовой компоненты.Цель достигается тем, что в детекторе ионных пучков для масс-спектрометра, включающем размещенные в вакуумной камере ионно-электронный преобразователь, анализатор энергий электронов, сцинтиллятор и регистрирующее устройство, сцинтиллятор выполнен в вице монолитного экрана из СаГ (Еи) с вакуумно-плотным защитным2слоем фоторезиста, а в качестве защитнбго слоя сцинтиллятора использован фоторезист...

Номер патента: 1685172

Опубликовано: 23.03.1993

Авторы: Зуев, Севастьянов

МПК: G01T 1/29

Метки: ионных, плотности, потока, пучков, распределения

...ее поверхности на устанооке "ЧОБсептИс". Размер ионного пучка превышдег размер пластинки. Глубина внедрения ионов в 9 составляет - 600 А. Ток ионов 100 мкА, время имплантации 10з с, Определение концентрации внедренных ионов в кремний осуществляют на лазерной масс-спектрометрической устанооке, Луч лазера (АИГ;ЙО) фокусируетсл с помощью лазерного микроскопа от установки П 4 А(ГДР) нд поверхность образца, помещенного в вакуумную камеру с оптическим иллюминатором. Вакуумная камера соединяется с омегдтронным масс-спектрометром ИПД 0-2 А, Всл система откачиваетсл до даоленил 10 торр. Мдксимдльцдл энергия лазерного импульса о режиме свободной генерации 1 Дж. Под действием лазерного импульса происходит плдолецие и испарение микропробы...