Испаритель
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН Ия К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУр 46630 О ьоюз ьааетских Социалистических Республик.52. (088.8) по делам изабретеии и открытий. Ю. Бальчюнас,. И. Гайдялис, Э. А, Монтримас, А. С, Таурайти А, Б. Янкаускаседовательский институт электрографии,риментальный завод средств автоматизации исударственный университет им. В. Капсукаса) Заявители Научно-исслКаунасский эксп Вильнюсский го 8 ПТБ 043 ЗчОЖ(54) И С ПАР И ТЕЛ Ь нен х колиже сте можростью аряемоможно заданедмет изобретени Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для получения тонких пленок.Известен испаритель для вакуумных установок, содержащий металлический контейнер с перфорированной крышкой, нагреватель и отражательный экран, смонтированный параллельно крышке. В таком испарителе испарение происходит с постоянной площадью испарения. Это достигается тем, что испаритель снабжен теплопроводом, смонтированным внури контейнера, и перфорированной диафрагмой, установленной параллельно крышке и выполненной с возможностью перемещения, а отражательный экран укреплен на теплопроводе. Форма перфорации диафрагмы выполнена идентичной форме перфорации крышки. На чертеже представлен испаритель.Испаритель состоит из контейнера 1 с перфорированной крышкой 2, нагревателей 3 и 4, отражательного экрана 5, теплопровода 6, установленного внутри контейнера 1, и перфорированной диафрагмы 7, перфорация которой идентична перфорации крышки 2,Отверстия крышки 2 перекрываются диафрагмой 7, выполненной с возможностью перемещения относительно крышки 2. Для предотвращения попадания капель испаряемого вешества на напыляемую поверхность экран 5 смонтирован на теплопроводе 6 и выпо виде навеса.Подбором диаметра отверстий или и чества в крышке 2 испарителя, а так пенью открытия отверстий диафрагмой но в широких пределах управлять ско напыления. При этом температуру исп го вещества в резервуаре испарителя менять в широких пределах, оставляя ную скорость напыления слоя,15 1. Испаритель для вакуумных установок, содержащий металлический контейнер с перфорированной крышкой, нагреватель и отражательный экран, смонтированный параллельно крышке, отличающийся тем, что, сцелью 20 получения пленок заданного состава путемобеспечения регулирования площади испарения, он снабжен теплопроводом, смонтированным внутри контейнера, и перфорированной диафрагмой, установленной параллельно 25 крышке и выполненной с возможностью перемещения, а отражательный экран укреплен на теплопроводе.2. Испаритель по п. 1, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что форма перфорации диафрагмы выпол иена идентичной форме перфорации крышки,466300 Составитель Л, Анисимоваедактор О. Филиппова Техред Т, Миронова Корректор Л Котов аказ 1874/2ЕРНИИ одписное Типография, пр. Сапунова,Изд.7 Государственн по делам Москва, Ж6 Тираж 966ого комитета Совета Министров ССизобретений и открытий35, Раушская наб., д, 4/5
СмотретьЗаявка
1875463, 22.01.1973
НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОГРАФИИ, КАУНАССКИЙ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЙ ЗАВОД СРЕДСТВ АВТОМАТИЗАЦИИ, ВИЛЬНЮССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. В. КАПСУКАСА
БАЛЬЧЮНАС ИОЗАПАС ЮРГИО, ГАЙДЯЛИС ВАЛЕНТИНАС ИОНО, МОНТРИМАС ЭДМУНДАС АДОЛЬФО, ТАУРАЙТИС АЛОИЗАС СЕРГЕЯУС, ЯНКАУСКАС АЛЬГИС БРОНЯУС
МПК / Метки
МПК: C23C 13/12
Метки: испаритель
Опубликовано: 05.04.1975
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-466300-isparitel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Испаритель</a>
Предыдущий патент: Суспензия для электрофоретического нанесения покрытий
Следующий патент: Способ получения покрытий на тугоплавких металлах
Случайный патент: Устройство для контроля скорости обезуглероживания металла