Номер патента: 437148

Автор: Коноваленко

ZIP архив

Текст

111 437148 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликГосударственный комитет Совета Министров СССР оо делам изооретений и открытий(54) КОНДЕНСОРНАЯ ЛИНЗА Изобретение относится к электронной оптике и может быть использовано в электронных микроскопах и подобшях электронно-оптических устройствах.Извсстные конденсорные линзы, содержащие ка гушку электропровода, магнитопровод и полюсный наконечник, в щели которогоформируется фокусирующее магнитное поле, имеют однощелевой полюсный наконечник, который не обеспечивает получение наименьшего сечения в диаметре, не позволяет получить плотность тока в этом сечении более 0,2 а/см. Цель предлагаемого изобретения - создание конденсорной линзы, позволяющей повысить плотность электронного пучка.Это достигается тем, что полюсный наконечник линзы выполнен двухщелевым с диапазоном отношений расстояния от кроссовера до средней плоскости первой щели к расстоянию между щелями, равным 0,67 - 0,58 и произведением увеличений первой и второй щели, равным значениям в интервале 1/70 - 1/120.На чертеже изображено предлагаемое изобретение.Конденсорная линза состоит из магнитопровода 1, катушки 2, нижнего и верхнего башмаков полюсного наконечника 3 и 4, анти- магнитного кольца 5, средней части наконечника 6, антимагнитного кольца 7. Кроме того, на чертеже приняты следующие обозначения: кроссовер г, пушки, средниеплоскости С,1 Ц и СП,Ц полей, расстояние Еюот кроссовера до средней плоскости первой5 щели, расстояние 1, между щелями,Конденсорная линза выполнена следующимобразом.В магнитопроводе 1 размещена катушка 2,а в центральном отверстии линзы в соответст 10 вии с оптической осью Л расположен двухщелевой полюсный наконечник, у которого диапазон отношений расстояния от кроссоверадо средней плоскости первой щели (Ло) красстоянию между щелями (Е) равен 0,67 -152 о0,58 - =0,67 - 58 и произведение увеличений (увеличение первой щели Р, на увеличе 120 ние второй щели) выполнено в диапазоне --70 1/ 1 1-- У У 2= --- р что обеспечивает ра 120 70 120диус наименьшего сечения пучка на объекте 25 (г) от 0,5 мк до 0,3 мк и наибольшую плотаность тока в этом сечении до 3смф Предлагаемая конденсорная линза рабоЗО тает следующим образом.Подписив СССР Тираж 760митета Совета Министений и открытийушская наб., д. 4/5 Изд.115 Государственного по делам изо Москва, Ж, Заказ 3443/18ЦНИИП ипография, пр, Сапунова Созданный электромагнитной катушкой 2 магнитный поток магнитопроводом 1 направляется в верхний полюсный башмак полюсного наконечника 3, который направляет его в первую щель А.Таким образом, в первой щели создается магнитное поле нужной формы и величины, которое обеспечивает первую фокусировку электронного пучка с г(гз. То есть, за счет конструктивных соотношений двухщелевого2 ополюсного наконечника - =0,68 - 0,57 и 1 1Р Рз= --- изображение первой щели70 120будет уменьшенным (г=4,2 мк(35 мк=г,).Сформированный электронный пучок первой щелью с условием,г(г, направляется во вторую щель, которая вторично фокусирует его с условием дальнейшего сжатия (уменьшения диаметра (радиуса) пучка, т. е, обес 4печивает г 2(г (гз=0,3 мк(4,2 мк=Л).То есть, за счет конструктивных соотношенийо 1 1- =0,68 - 0,57 и Ь Кз= --- конденсорная570 120линза, снабженная двухщелевым полюснымнаконечником, указанного конструктивногоотличия обеспечивает наименьший радиус(гз) пучка с плотностью тока в этом сеченииане менее 3смз Конденсорная линза, состоящая из магнитопровода, магнитной катушки и полюсного наконечника, отличающаяся тем, что, с целью повышения плотности электронного 20 пучка, полюсный наконечник выполнен двухщелевым,

Смотреть

Заявка

1677470, 05.07.1971

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-2613

КОНОВАЛЕНКО ВИКТОР АЛЕКСАНДРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01J 37/26

Метки: конденсорная, линза

Опубликовано: 25.07.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-437148-kondensornaya-linza.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Конденсорная линза</a>

Похожие патенты