Электронный инжектор

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 196203 Союз Соевтоких Социалиотичеоких РеопубликЗависимое от авт. свидетельства-Кл. 21 д, 3 Заявлено 20.Х 1.1965 ( 1038370/26 рисоединением заявки е -М ПриоритетОпубликовано 30,Х,1968, Бюллетень34Дата опубликования описания 6,111.1969 Комитет по деламизобретений и открытипрн Совете ИиииотровСССР 621.384.6(088.8) Авторыизобретения К. П, Рыбас, А, К, Дежнев и Б, Н, Телепа Заявите ЖЕКТО ЭЛЕКТРОН 2 Обычные применяемые электронные инжекторы, собранные вдоль единой прямой образующей, имеют электронную пушку, анод и систему фокусирующих электродов. Эти системы являются критичными в условиях ионной бомбардировки, В целях предохранения катода от ионной бомбардировки, получения более мощных электронных пучков, а также использования электронных источников при работе с парами металла предложен новый электронный инжектор, Кроме того, он позволяет получать электронные пучки со значительно большим первеансом, чем обычные электронные пушки типа Пирса.На фиг. 1 представлена принципиальная схема описываемого инжектора; на фиг. 2 - его конструкция.Схема инжектора представляет собой сочетание кольцевой электронной пушки и центробежно-электростатической фокусирую щей системы (ЦЭС), Кольцевая электронная пушка состоит из кольцевого катода 1, катодного электрода 2, анода 3; ЦЭС - из внутреннего 4 и наружного 5 электродов. Поверхности последних представляют собой тела вращения, образованные вращением дуг окружностей вокруг оси симметрии, которая является осью выходящего пучка. При этом диаметр внутреннего электрода зависит от необходимости получения трубочного или сплошного пучка. В данном случае внутренний электрод имеет на выходе диаметр равный нулю и позволяет получить сплошной пучок. Днаметр внутреннего электрода на,выходе из ЦЭС может быть отличным от нуля, если нужно получить трубочный пучок,Кольцевая электроиная пушка создает кольцевой электронный пучок с углом расходимости сс, направленный под углом к оси симметрии у (90. Центральная часть пучка (при а=0 и весь пучок) входит в промежуток между электродами 4 и 5 с последующим его выходом из ЦЭС. Одновременно с этим электроды ЦЭС выполняют роль ионной ловушки и предохраняют катод от попадания паров металла. С целью упрощения конструкции пушки и системы питания внутренний электрод 4 составляет единое целое с анодом 3 и находится под потенциалом анода. На внешний электрод 5 подается регулируемый потенциал, более высокий по сравнению с анодом. Изменением этого потенциала регулируется фокусировка пучка, а также, величина тока пучка. При определенном потенциале на внешнем электроде пучок полностью запирается. Для сохранения неизменной фокусировки пучка при изменении тока пучка на выходе из инжектора установлены магнитный экран б и магнитная линза 7.Инжектор имеет катод 8, катодпый электрод 9, аиод 10, электроды ЦЭС П и 12, магнитный экран 13.Кольцевой као 8 крепится на изоляторе 14, Второй конец катода электрически соединяется с катодным электродом 9, состоящим из двук Фмметричных кольцевых половин. Обе половины катодного электрода механически и электрически составляют единое целое с катодом 8. Единый катодный блок крепится на трех изоляторах 15, с другой стороны на изоляторах крепится внешний электрод ЦЭС 12, а сами изоляторы 15 закреплены на съемной кольцевой половине анода 10, концентричной с внутренним электродом 11. Последний и вторая половина аполида 10 составляют единое целое с корпусом 1 б. В него впаяны три электронвода 17 для подачи напряжений на катод 8 и электроды 9 и 12. На корпусе 1 б имеются патрубок 18 для откачки и магнитный экран 13,Предмет изобретения1, Электронный инжектор, состоящий из катода, катодного электрода и анода, электростатической системы фокусировки, магнитной линзы, отличающийся тем, что, с целью увеличения первеанса электронного пучка, предохранения катода от ионной бомбарди ровки, катод выполнен в виде кольца, испускающего поток электронов в радиальном направлении к центру кольца, а электростатическая система фокусировки состоит из двух аксиально-сим/метричных электродов, образо ванных вращением дуг окружности вокруг осисимметрии.2. Инжектор по п. 1, отличающийся тем,что внутренний электрод может быть сплош ным телом вращения или же иметь отверстие,расположенное в плоскости, перпендикулярной образующей источника.3. Инжектор по пп. 1 и 2, отличающийся 20 тем, что, с целью упрощения его электрического питания, внутренний электрод электростатической фокусирующей системы и анод подключены к общему источнику потенциала.196203Фиг, 2Составитель Б, Попов Редактор Н. Джарагетти Техред Л, Я, Левина Корректор Н, И, Харламова Заказ 232 у 3 Тираж 530 Подписное ЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр. Серова, д, 4Типография, пр. Сапунова, 2