418921
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 418921
Текст
О П И С А Н И Е 418921ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советски)с Социалистических Республик,11. Кл Гасударственный комитет Совета Министров СССР па дедам изобретений и открытийиоритет УДК 621.382.002 (088.8 3,74, Бюллетень9 Опубликован Дата опубликования описания 20.08.74 Авторыизобретения. А. Юрлова и сатки аявитель ГЕНИДОВ СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ ИЗ ХМЕДИ Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов и может быть использовано для получения многоэлементных переключателей на основе халь:когенидов меди,Синтезированные сплавлением в вакууме полупроводниковые халькогениды меди представляют собой слитки или куски длиной в несколько сантиметров. Из них получают изделия заданной конфигурации механической, 1 а затем химической обработкой для стравливания нарушенного поверхностного слоя. Недостаток этого способа - большие потери материала.Многоэлементные структуры получают в ре зультате проведения трудоемкого технологического процесса, включающего такие операции, как фотолитография.Цель изобретения - упрощения способа и повышение качества получаемых приборов. 2Сущность изобретения заключается в проведении реактивной диффузии меди из медной заготовки заданной конфигурации через плоскую мембрану из халькогенида меди и последующем взаимодействии меди с парооб разным халькогеном, пропускаемым над мембраной.Для получения изделий заданной конфигурации из халькогенидов меди в графитовую кассету помешают медную заготовку, конфи гурация которой соответствует заданной, а сверху накладывают мембрану (пластинку халькогенида мели того же химического состава мели, что и взаимодействующие компоненты).Кассета может закрываться крышкой, имеющей сквозной рисуноксовпадающий с конфигурацией медных заготовок. Собранная кассета помещается в реакционную камеру с двумя температурными зонами,Зона, в которой находится кассета, нагревается до температуры образования хнмичсского соединения теллурида меди по перитектпческой реакции, а другая зона, 1 в которую вводят навеску теллура, нагревается до температуры его плавления. При,пропускании паров теллура над нагретой кассетой происходит реактивная диффузия меди из медной заготовки через пластину теллурида меди и последующее взаимодействие с парообразным тсллуром.В случае использования крышки, имеющей сквозной рисунок, и проведения реакции в течение времени, мсльшего, чем необходимо для полной диффузии меди через пластину теллурида меди, по крайней мере на одну треть, получают многоэлементную структуру заданной конфигурации на общем основании.При проведении процесса в течение времени, достаточного для днффундирования всей418921 Предмет изобретения Составитель Г, Корнилова Техред Е, Борисова Корректор Л. Чуркина Редактор Т. Орловская Заказ 1771/18 Изд.551 Тираж 760 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 взятой меди, сцепление между образовавшимся фигурным изделием из халыкогенида меди и фильтрующей мембраной резко ослабевает, и они легко разъединяются. 1. Способ, получения изделий из халькогенидов меди, например теллурида меди, заданной конфигурации,путем химического взаимодействия входящих в состав компонентов, отл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения качества изделия и упрощения способа, над пластиной меди с конфигурацией изделия размещают мембрану из халыкогенида меди ло. лучаемого химического состава, над ней пропускают парообразный халыкоген и одновременно нагревают систему для осуществления диффузии меди через мембрану.2. Способ по п. 1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, 5 что, с целью обеспечения отделения изделияот мембраны, систему напревают в течение времени, достаточного для полной диффузии меди через мембрану. 10 3. Способ по п. 1, отличающийся тем,что, с целью получения многоэлементной монолитной структуры, систему напревают в течение времени, меньшего времени, необходимого для полной диффузии меди через мем брану, по крайней мере, на одну треть.Приоритет по п, 3 исчислять с 03.01,1972 г.
СмотретьЗаявка
1725073, 15.12.1971
МПК / Метки
МПК: H01L 21/22
Метки: 418921
Опубликовано: 05.03.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-418921-418921.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">418921</a>