ZIP архив

Текст

1 ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВМДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликПриоритет Государственнми комитет Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий(088.8) юллетеньпубл иков ано 05.111.19 ата опубликования описания 25 Х 11.197 вторыобретен Ю. М. Воронин, И. П. Деменченок и Р. Ю, Хайтлина аявите ТРОЙСТВО ДЛЯ ФОКУСИРОВКИ ИЗОБРАЖЕН Изобретение относится к электронно-оптическим устройствам для контроля фокусировки изображения в электронном микроскопе.Известны устройства, содержащие термопластический материал, фокусирующую лин зу и экран, служащие для воспроизведения пучком света изображения, зафиксированного на термопластике.Целью изобретения является разработка устройства для одновременного наблюдения 10 изображения и его двухмерного спектра пространственных частот непосредственно в процессе исследования.Цель достигнута благодаря тому, что в плоскости изображения электромагнитной 1 линзы установлен экран, часть которого выполнена из катодолюминесцентного материала, а другая часть - из термопластического материала. Предложенное устройство позво,ляет наблюдать электронное изображение на г катодолюминесцентном экране, а его спектр пространственных частот - на световом экране спектроанализатора.На чертеже показано предложенное устройство. гИз электронной линзы 1 электронные лучи попадают на катодолюмипесцентный экран 2 и регистрирующую пластину 3. Световые лучи проходят через линзу 4, регистрирующуо пластину 3 и отражаются зеркалом 5 на эк ран 6. Электронная линза создает на катодолюминесцецтном экране и регистрирующей пластине изображение исследуемого объекта. Наблюдая па экране 2 изображение, можно выбрать нужный участок для исследования и провести предварительную фокусировку изображения путем изменения тока в объективной линзе.Электронное изображение, спроектированное на регистрирующую пластину 3, вызывает локальное изменение ее светорассеивающей способности в соответствии с распределением плотности электронов. Для получения спектра пространственных частот изображения пучок когерептных световых лучей направляется ца регистрирующую пластину, проходит через нее и фокусируется линзой 4 на экране 6. Вследствие рассеяния света на оптических неоднородностях регистрирующей пластины, возникших под дейс:вием электронного облучения, на экране 6 образуется дифракционная картина, представля 1 огцая собой спектр пространственных частот изображения.При изменении тока в объективной линзе из-за совместного действия дефокусировкц и аберраций объектива изменяется спектр пространственных частст электронно-микроскопического изображения, В зависимости от того, какие пространственные частоты объекта необходимо регистрировать ца изображении с418920 Предмет изобретения Ргл 7 аРюр лудиСоставитель Г, ЖуковаРедактор Т. Орловская Техред 3, Тараненко Корректор Н, Аук Заказ 1768/7 Изд,576 Тираж 760 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб д, 4/5Типография, пр. Сапунова, д, 2 паибольшом контрастом, устанавливается соответствующая величина дефокусировки, при которой обеспечивается оптимальная передача нужного спектра пространственных частот объекта,Устройство для фокусировки изображенияв электронном микроскопе, содержащее электромагнитную линзу, катодолюминесцентный экран и анализатор спектра пространственных частот, отличающееся тем, что, с целью одновременного наблюдения изображения и его двухмерного спектра пространственных частот непосредственно в процессе проведения исследования, в плоскости изображения электромагнитной линзы установлен экран, часть которого выполнена из катодолюминесцентно го материала, а другая часть - из термопластического материала.

Смотреть

Заявка

1679616, 12.07.1971

МПК / Метки

МПК: H01J 37/26

Метки: 418920

Опубликовано: 05.03.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-418920-418920.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">418920</a>

Похожие патенты