417702

Союз Советских Сощиалистичесеа Республикавпспмое от авт. сви ель тв 01 21,3 Заявлено 26.Ч 11,1972 (М 181459518-10) присоединением заявки ПриоритетОпубликовано 28.1.1974.Дата опубликования оп Гасудвратаеннвн 1 квинтетСаввтв Инннстрав СССРаа делам изааретеннйк аткрытнй К 531,788.7. А, Ничипорович Заявител Н В ЕРС НО-МАГН ЕТРО НЫЙ МАНОМЕТР тся к области вакуумк магнитным электроза- инверсно-магнетронного Изобретение отно метрии, в частности рядным манометрам типа.Известны инверсно-иагнетронные маномет ры, электродная система которых содержит цилиндрический катод, закрытый с торцов крышками, и стержневой анод, размещенный по оси катода. Однако в таких манометрах невозможна очистка анода ионной бомбарди ровкой непосредственно,на вакуумной установке.При работе магнитных электроразрядных манометров в вакуумных установках, содержащих пары масел, электроды манометров по крываются пленками масел, продуктами их крекинга и полимеризации. Рабочие участки катода в процессе работы манометра очищаются под действием ионной бомбардировки, в то время как анод не очищается. 20В результате наблюдается затрудненное зажигание разряда в манометре и изменение его чувствительности. Для восстановления характеристик манометра приходится снимать его с установки и проводить механическую или 25 химическую очистку анода, поэтому конструкция манометра должна быть разборной.Непосредственно на вакуумной установке очистка анода была бы возможна ионной бомбардировкой при переполюсовке электродов 30 манометра, Однако в инверсно-магнетронном манометре при отрицательном потенциале анода относительно катода разряд не зажигается, так как электроны, попавшие в разрядный промежуток манометра, не удерживаются в пем, а сразу уходят вдоль магнитного поля, направленного по оси электродной системы, ни то 1 хцовые крышки катода,Цель изобретения - обеспечение возможности очистки анода от диэлектрической пленки ионной бомбардировкой.Это достигается тем, что манометр снабжен двумя или большим количеством шайб, размещенных на аноде в цилиндрической полости катода с зазором относительно друг друга,В такой конструкции при отрицательном потенциале анода отпоспельно катода электроны, перемещаясь вдоль магнитного поля, попадают в тормозящее электрическое поле анодных шайб и удерживаются в разрядном промежутке манометра. Благодаря этому соз. даются условия для зажигания и поддержания разряда, а, следовательно, для очистки анода в области, расположенной между шайбами, ионной бомбардировкой. На фиг. 1 показана электродная система манометра; на фиг. 2 - график зависимости разрядного тока от давления.117702 олев оставитель О ехред 3. Та орректор В. Брыксина Рыбалова нк едак 60истров С Изд.1314Государственногопо делам изоМосква, К,каз 1568/11ЦНИИП одписн Тираж вета М ткрыти б., д. 4 омитета етений и аущская Типография, пр. Сапунова,Электродная система манометра содержит катод 1 и анод 2. Катод представляет сооой цилиндр, закрытый с торцов крышками, анод - стержень, проходящий по оси катода через отверстия в торцовых крышках, На аноде в цилиндрической полости катода размещены две шайбы 3 на равном расстоянии от торцовых крышек катода. Магнитное поле Н направлено вдоль оси электродов,Диаметр шайо и расстояние между ними выбирают из следующих соображений, Без шайб градуировочная характеристика манометра в нормальном режиме работы имеет вид, соответствующий кривой Л (фиг. 2), а разряд после переполюсовки электродов не зажигается. При наличии шайб градуировочпая характеристика в нормальном режиме принимает вид, соответствующий кривой Б, и разряд после переполюсовки зажигается при давлении Рь а зависимость его разрядного тока от давления иллюстрируется кривой В.С увеличением диаметра шайб наклон градуировочной характеристики увеличивается (кривая Б), а разряд после переполюсовки зажигается при более низких давлениях. Та ким образом, с увеличением диаметра шайб ухудшаются градуировочные характеристики, но возможна очистка анода при меньших давлениях. С уменьшением расстояния между шайбами разряд прн переполюсовке электродов зажигается при более низких давлениях, однако очистке подвергаются меньшие участки анода, На градупровочную характеристику манометра в нормальном, режиме расстояние между шайбами влияет мало, Возможно размещение на аноде и большего коли.ества шайб.5 В режиме измерения на анод подают полокительное относительно катода напряжение С/и, равное нескользким киловольтам. Для очистки анода ионный бомбардировкой периодически (периодичность определяется при 10 конкретных условиях эксплуатации) при давлениях, больших Р, (например, во время откачки вакуумной системы) на анод подают отрицательное относительно катода напряжение в несколько киловольт. Для упрощения 15 схемы питания целесообразно чтобы абсолютная величина этого напряжения была равна раоочему напряжению Ун. Очистку анода в этом режиме проводят в течение нескольких минут, затем манометр выключают в режим 20 измерения. П р едм ет изобретенияИнверснонмагнетронный манометр, электродная система которого содержит цилинд рический катод, закрытый с торцов крышками, и стержневой анод, размещенный по оси катода, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности очистки анода от диэлектрической пленки ионной бомбардиров кой, он снабжен двумя или большим количеством шайб, размещенных на аноде в цилиндрической полости катода с зазором относительно друг друга.