Источник ионов

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИК 1)5 Н 01 Р 3/О ЕНИЯ Оп ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР НИЕ ИЗОБР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(56) Авторское свидетельство СССР %291602 от 29.06,69, МКИ Н 01 1 3/04.Физика и применение плазменных ускорителей, Минск, 1974, стр. 34-35, (54)(57) ИСТОЧНИК ИОНОВ, содержащий соосные цилиндрические анод и катод, снабженный выпускной щелью, края котоИзобретение относится к ионно-плазменной технике, конкретно - к устройствам. для получения аксиально сиММетричных ионных пучков, и может быть использовано для ионного и ионна-химического травления, получения тонких пленок различных материалов путем ионного распыления, очистки поверхностей и в других целях,Известны источники длясоздания радиальных потоков ионов, в которых процесс ионизации и ускорения происходит в скрещенных электрическом и магнитном полях.Основным достоинством этих источников является возможность получения достаточно больших плотностей тока ускоренных ионов. Наиболее близким к предложенному является источник ионов, содержащий соосные цилиндрические анод и катод, снабженный выпускной щелью, края которой расположены в плоскостях, перпендикулярных оси анода. и катода и пересекающих поверхность анода, систему для создания магнитного поля с преимущественным направлением, параллельным указанной оси,рой расположены в плоскостях, перпендикулярных оси анодаи катода и пересекающих поверхность анода, систему для создания магнитного поля с преимущественным направлением, параллельным указанной оси, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью увеличения суммарного ионного тока, в нем длина анода больше расстояния между анодом и катодом, а катод снабжен выпускными щелями, смещенными друг относительно друга вдоль оси, причем края этих щелей также расположены в плоскостях, перпендикулярных оси и пересекающих поверхность анода.. Одним из основных недостатков известного устройства является сложность увели-. чения суммарного ионйого тока на выходе из него, Возможности увеличения тока за счет увеличения ширины щели ограничены, а применение нескольких источников усложняет конструкцию всего устройства,Целью изобретения является повышение суммарного ионного тока, Поставленная цель достигается за счет того, чтов неМ длина анода больше расстояния между анодом и катодом, а катод снабжен дополнительными щелями,"смещенными друг относительно друга вдоль оси, причем края .этих щелей также расположены в плоскостях, перпендикулярных оси и пересекающих поверхность анода.Сущность изобретения пояснена на черт., где изображена принципиальная схема предлагаемого ионного источника,Источник имеет корпус 1 в виде цилиндра, закрйтого с обеих сторон торцевыми частями. В цилиндрической поверхности корпуса, являющейся одновременно уско719371 оставител ехред М,М дактор Е. Гиринская Корректор И, Муск ген Заказ 4632 ТиражПодписное . ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям и 113035,Москва,Ж, Раушская наб 4/5. КНТ СС Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина ряющим электродом и катодом 2, имеются кольцевые щели 3, служащие для выхода ионов, Корпус ионйого источника и внутренний стержень 4, соединяющий торцы, выполнены иэ магнитомягкого материала, 5 Внутри цилиндрического корпуса соосно с ним расположен цилиндрический анод 5, В торцах корпуса источника имеются отвер-стия 6 для напуска рабочего газа. Междувнутренней цилиндрической поверхностью 10 анода и стержнем находится соленоид 7, служащий для создания осевого магнитного .поля в щелях. Источник питания 8 положительным полюсом подключен к аноду, а отрицательный полюсом - к корпусу, 15 Источник работает следующим образом, после подачи рабочего газа; например, фреона и приложения напряжения между катодом и анодом в кольцевым щелях корпуса между анодом и катодом в скрещенных электрическом и магнитном полях происхо-: дит эффективная ионизация рабочего газа и ускорение образовавшихся ионов по радиусу от источника. Проведенные испытания источника показали, что он позволяет получить заметно больший ток, чем аналогичная однощелевая конструкция,