410348

па 1О П И С А Н И-ЕИЗОБРЕТЕНИЯ 410348 Союз Советских Социалистицеских РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельства-11 1/36 аявлено 18 1,19721740745/26-25 присоединением заявки асударственныи комитетСовета Министров СССРоо делам изобретенийи открытий риоритетпубликовано 05,1,1974. Б ДК 621,384.6088.8 етень1 ата опубликования описания 6 Х.19 Автор зобретенпя. Мака Заявител АНАЛИЗАТОР ЭНЕРГИИ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТ нализа а элек отличается тем,а установлена в его поля внутри Известны анализаторы энергии заряженных частиц, в которых частицы проходят вначале область тормозящего поля и затем входят в диспергирующий элемент с энергиями, уменьшенными на одну и ту же величину. В подобных устройствах собственно анализатор по энергии (диспергирующий элемент), основанный, например, на принципе отклонения заряженных частиц в электростатическом или магнитном поперечном поле, работает при значительно меньшей энергии заряженных частиц по сравнению с начальной. Это приводит к повышению дисперсии анализатора по энергии, что позволяет значительно повысить общее разрешение или светосилу анализатора без увеличения его габаритов. Кроме того, появляется возможность сделать постоянной (не зависящей от энергии анализируемых частиц) абсолютную разрешающую способность анализатора в большом диапазоне начальных энергий частиц,Цель изобретения - повышение эффективности подавания вторичных электронов на выходе анализатора без использования дополнительной диафрагмы и дополнительных источников питания.Предлагаемый анализаторчто его выходная диафрагмобласти действия отклоняющдиспергирующего элемента,На чертеже показана конструк атора со схемой подачи напряже н тр оды.Тормозящее поле в области 1 перед диспер гирующим элементом и ускоряющее поле вобласти 2 за диспергирующим элементом образуются между двумя электродами 3 и 4. В качестве тормозящего и ускоряющего электростатических полей в областях 1 и 2 соот ветственно может быть использовано, например, однородное поле между двумя сетками или поле иммерсионной линзы между двумя диафрагмами с круглыми отверстиями, Диспергирующим элементом может служить, на пример, цилиндрический конденсатор, образованный пластинами 5 и 6 с центральным углом 180, как показано на чертеже. Выходная щелевая диафрагма 7 установлена внутри диспергирующего элемента в области минималь ной сферической аберрации и максимальнойдисперсии анализатора по энергии. Напряжение на пластины 5 и 6 подается от источника напряжения 8 с концов делителя напряжения, составленного из двух одинаковых резисторов 25 9, Средняя точка делителя, с которой соедине.ны электрически электрод 4, входная 10 и выходная 7 диафрагмы диспергирующего элемента, находится под напряжением относительно земли, равным разности напряжений 30 высоковольтного выпрямителя 11 и регулируе410348 4 10,7 б Составитель Л, Биллимктор Б, федотов Техред 3. Тараненко Корректор Н, Торкина357твенного комитет елам изобретений а, Ж, Раушска Заказ 1275/3ЦН Тираж 678Совета Министоткрытийнаб., д. 4/5 ПодписноССР ПИ Государ по Москипография, пр. Сапунова, 2 мого источника напряжения 12. С конца 13 высоковольтного выпрямителя 11 напряжение поддается на высоковольтную часть источника заряженных частиц. Электрод 3 находится под потенциалом земли. На чертеже полярность включения напряжений от источников 8, 11 и 12 указана для случая работы с отрицательными ионами или электронами.Подлежащие анализу или сепарации по энергии заряженные частицы в пучке 14 входят в тормозящее поле между электродами 3 и 4 в область 1. Вследствие торможения в поле энергия каждой частицы, достигающей диафрагмы 10, уменьшается на величину, которая соответствует разности потенциалов между электродами 3 и 4, Из заряженных частиц, прошедших через диафрагму 10, по центральной траектории между пластинами 5 и 6 проходят частицы с энергией, определяемой геометрией анализатора и разностью потенциалов между пластинами. В области 15 анализатора происходит дополнительный поворот до 180 частиц, прошедших через выходную диафрагму 10, благодаря чему подавляются выбитые из стенок и диафрагмы анализатора вторичные электроны, В области 2 ускоряющего поля прошедший через анализатор моно- энергетический пучок заряженных частиц ускоряется до первоначальной энергии и посту пает затем на коллектор 16, находящийся подпотенциалом земли. Ток в цепи коллектора может быть усилен усилительным устройством 17 и записан в функции от энергии самопишущим устройством 18 при синхронном измене нии напряжения от источника 12. Анализаторнастраивают на прохождение по центральной траектории анализируемых заряженных частиц с энергией, большей энергии вторичных электронов.15Предмет изобретенияАнализатор энергии заряженных частиц, содержащий систему из двух электродов, диспергирующий элемент и выходную диафрагму, 20 отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности подавления вторичных электронов на выходе анализатора, выходная диафрагма установлена внутри диспергирующего элемента, в области действия отклоняю щего поля.