410272

Союз Советских Социалистических Республик/18-1 Л. Кл. б 011 27/00 ем заявкиприсоедине ПриоритетОпубликовано 05,1,1974. Бюллетень1 Государственный комитет Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий.Ч.1974 Авторизобретен В, Кузык явител ТРОЙСТВО ДЛЯ ДИНАМИЧЕСКОЙ ГРАДУИРОВКИ МАНОМЕТРОВ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ Заявлено 16.Л,1972 ( 1797 Известны устройства для динамической градуировки манометров низкого давления абсолютным методом, содержащие образцовый манометр, рабочий диапазон которого находится в области более высоких давлений, камеру образцового манометра, гравировочную камеру, насос и камеру, примыкающую к нему.Известные устройства характеризуются недостаточной точностью при высоком и сверх высоком вакууме и ограниченным диапазоном измерений давлений.Цель изобретения - расширение диапазона градуировки в сторону низких давлений и повышение точности градуировки.15Предлагаемое устройство отличается тем, что оно снабжено дополнительной камерой известного объема, дополнительным насосом и двумя клапанами, через которые камера известного объема соединена с камерой образцо вого манометра и дополнительным насосом,На чертеже изображена вакуумная система предлагаемого устройства.Система состоит из ряда последовательно соединенных камер, откачиваемьх насосом 1, 25 примыкающим к одной из них. В этой камере - 2 - устанавливается самое низкое давление Р, Следующая за ней камера 3 - градуировочная - отделена от предыдущей диафрагмой 4 с отверстием, размеры и форма 30 которого таковы, что позволяют рассчитать его проводимость 0 по известной формуле. К градуировочной камере 3, в которой устанавливается давление Р, значительно более высокое по сравнению с Р, с другой стороны через диафрагму 5 известной малой проводимости присоединена последняя из трех камер - 6 (известного объема о). Исходное давление Ро в ней (значительно более высокое по сравнению с Р) измеряют образцовым абсолютным манометром 7. Градуируемые рабочие манометры (или манометрические преобразователи) 8 присоединяют к градуировочной камере 3. Камера 6 соединена с дополнительной камерой 10 (известного объема Ь) через клапан 9. Камера 10 откачивается до давлений, пренебрежимо малых по сравнению с Ро, через клапан 11 насосом 12.После предварительной откачки системы в камере 6 устанавливают давление Рю, измеряемое образцовым абсолютным манометром 7, При этом клапан 9 закрыт, клапан 11 открыт. Затем закрывают клапан 11 и открывают клапан 9. Давление Рою, устанавливающееся в общем объеме Ро+У камер 6 и 10, рассчитыва ют по формулеюРо =Рово+ причем Ро,Ро и уже не может быть измер410272 рыл) о а р р) ( и )" рУо+ 1 Составитель С. Непомня актор Б. федотов Техред 3, Тараненко Корректор Т. Хворов п дМосква, Ж.35, Раушская наб., д. 4/5 Заказ 103710 Изд. Ма 362 Тираж 760 Подпнс ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР. о елам изобретений и открытийТипография, пр. Сапунова,но непосредственно образцовым манометром 7). Тогда давление Р в градуировочной камере 3 рассчитывают по формулеР= Ро =Р,.О -После этого вновь закрывают клапан 9 и открывают клапан 11, сопоставляют расчетное значение давления Р с сигналами градуируемых манометров 8.Повторив описанные операции а раз, можно воспроизвести в камерах 3 и 6 достаточно низкие давления: Измерив первоначально сравнительно высокое давление Р можно при определенном числе и описанных циклов расширения воспроизвести и рассчитать весьма низкие давления. Например, при К=РР)=2 - "Р и при п=7 давления в камерах будут более чем в 5 100 раз ниже первоначальных. Предмет изобретенияУстройство для динамической градуировкиманометров низкого давления, содержащее об разцовый манометр, рабочий диапазон которого находится в области более высоких давлений, камеру образцового манометра, градуировочную камеру, насос и камеру примыкающую к нему, отличающееся тем, что, с целью расширения диапазона градуировки в сторону низких давлений и повышения точности градуировки, оно снабжено дополнительной камерой известного объема, дополнительным насосом и двумя клапанами, через кото рые камера известного объема соединена с камерой образцового манометра и с дополнительным насосом.