Способ измерения адгезии тонких пленок к подложке

А Н О П ИЗО Союз Советских Социалистических РЕТЕНИЯ спубли ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬ Зависимое от авт. свидетельства МЗаявлено 18.Х 1.1971 ( 1715598/26 с присоединением заявки .4Приоритет М. Кл, б 01 п 1 Государственный комитеСовета Министров СССРпо делам изооретенийи открытий УДК 620.179.4 (088.8 Опубликовано 28 Х 111,1973. Б 1 оллетень ХДата опубликования описания 15.1.1974 Авторы зобретения Мазур, М. Х. Шоршоров, В, Г. Алешечк 1 В. П. Алехин и Г. И. Маршалкин явитель НИЯ АДГЕЗИИ ТОНКИХ ПЛЕНК ПОДЛОЖКЕ ОСОБ ИЗ 2 Изобретение относится к области техполо,гии производства радиодеталей,и может быть использовано при иэготовлении полупроводниковых приборов и различных тонкопленочных устройств. 5Известен способ измерения адгезип тонких 1 пленок к подложке путем 1 повышения ам 1 плптуды возбужденных в системе подложка - пленка механических колебаний ультразву- ковоЙ частоты до момента отделения пленки 10 от подложки.,Предлагаемый способ позволяег уменьшить 1 погрешность измерения. Для этого горизонтальные механические колебания ультразвуковой частоты прикладывают к пленке через 15 ,прижатый металлический проводник.К подложке 1 (см, чертеж) с нанесенной на ее поверхность пленкой 2 под определенным усилием прижимают металлический проводни 1 к 3, проходящий через рабочий инстру мент 4, укрепленный в концентраторе 5 акустичеокой системы, С,помощью ультразвукового генератора и акустической системы в концентраторе,и рабочем инструменте возбуждаюгся механические колебания ультра. 25 звуковой частоты, При этом горизонтальные меха 1 нические 1 колебания ультразвуковой частоты прикладывают к пленке через прижатый металлический проводник 3, Первоначально провадник перемещается относитель- З 0 но поверхности пленки. Затем при увеличении амплитуды Возоуждснны колебаний ультразвуковоЙ частоты ПЛенка захватывает. ся металли 1 ссюм проВодником, в результате чего проводник и пленка перемещаются относительно поверхности подложки.Величина ус 1 лия, с которым проводник с пленкой перемещаются относительно,подложки, определяется величиной амплитуды колебаний рабочего инструмента, В случае плохой адгезии тонк 011 пленки и подложке при Опре деленной вел: чине амплитуды колебаний пленка отделяется от подложки, При этом ве личина амплитуды, регистрируемая в перво,начальный момент, и В дальнейшем практически не изменяется. В случае хорошей адгезии пленки к подложке В широсом диъпазоне Величин амили туды колебаний отделение пленки от подложки не происходит. При этом в первоначальный момент (до 0,03 сек) амплитуда резко возрастает до ма 1 оси,мального значения, определяемого условиями возбуждения колебаний в акустической системе, а затем уменьшается до минималь 1.Ого значе,ния с последующей стабилизацией, Причем установлено, что сущеспвует однозначное соответствие величины силы отрь:ва плевки от подложки величине амплитуды колебаний. Величина амплитуды колебаний может контролироваться, например, полупроводниковы395750 Составитель Е. КовалеваТскрсд А. Камышникова Гревцов дактор Т. Фадеева рскт Заказ 3523/3ЦНИИПИ Изд, 9ударственн по деламМосква, Ж 21 Тираж 755ого комитета Совета Министровизобретений и открытий-35, Раушская наб д, 4/5 ПодписноССР Типография, пр. Сапунова,ми тензодатчиками, наклеенными на концентратор, вблизи крепления рабочего инструмента.Например, производили определение адгезии алюминиевой пленки толщиной 1,5 лкл, используемой в качестве металлизации при создании омических контактов в производстве интегральных, схем. Иопользовали алюминпевую проволоку диаметром 0,1 лл. Предварительно величину адтезии,пленок опрсделяли известным способом. При величине адгезии 40 - 45 кгсл величина амллитуды колебаний, при которой происходило отделение плен 1 си от подложки, составляла 0,7 лскл, при величине адгезии 80 - 90 кг/сл величина амплитуды составляла 1,6 лкл, при величине140 - 150 кг/сл 2 - 2,5 лкл,Предмет пзобрстения Способ измерения адгезии тонких пленок,к подложке:путем повышения амплитуды возбужденных в системе подложечка - плевка механических колебаний ультразвуковой часто ты до момента отделения пленки от подлож,ки, от,гссчаюиийся тем, что, с целью уменьшения погрешности измерения, горизонтальные механические колебания ультразвуковой частоты прикладывают к пленке через лрижа тый металличеокий проводник,