Способ съемки рентгеновских топограмм

- Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 15.Х 1,1971 ( 1723533/26-2с присоединением заявкииоритетубликовано 21.И.1973. Бюллетень2 осударстеенный комитетСовета Министров СССРпо делам иэооретений ДК Ы 1.386.ССЯ.8 открыт Дата опубликования описания 1.Х.1973 вторзобретени. Хацерно явитель ЕМКИ РЕНТГЕНОВСКИХ ТОПОГРАММ СПОС Я которое позволяло бы получать разве изображения дефектов по толщине образц одной топограмме при съемке на рентге ских камерах для проекционных топогр 5 При топографическом исследовании к таллов по методу Ланга или методу огр ченных топограмм весь дифрагированный чок рентгеновских лучей или часть его о ничиваются вертикальными щелями, кра 0 торых параллельны краям щели коллимат Для получения развертки изображения фектов по глубине образца предлагается о ничивать дифрагированный пучок накло щелью. 5 На чертеже представлена схема, иллюс рующая предлагаемый способ.на м пу- грая коора.де- граной триПервичныи пучок проходит в кр 20 АА,Р,Р, со всей по ются дифрагирова дифрагированного п щель 5 е, то разны будут пропускать 25 раженные от слоев ны. В приведенной сх ней и нижней част средней части - на 30 тате на высоте Ь, д, ограниченныиисталле поверхности которнные лучи. Есучка поместитье участки щелидифрагированныкристалла с ра щелью 5 плоскости ой отражаи на пути наклонную по высотее лучи, отной глубчИзобретение относится к рентгенографическому анализу кристаллов, в частности к исследованию реальной структуры кристаллов методами трансмиссионой рентгеновской топографии.Метод рентгеновских проекционных топо- грамм, известный как метод Ланга, предназначен для получения полной картины дефектов решетки в объеме кристалла, Изображение, зарегистрированное на топограмме, является проекцией всего объема кристалла в направлении дифрагированного пучка. В результате того, что изображения дефектов с разных глубин образца накладываются на топограмме, возможность разрешения отдельных дефектов с увеличением толщины образца уменьшается. Кроме того, невозможно судить о глубине залегания различных дефектов.Известен также способ съемки - так называемый метод ограниченных топограмм, который позволяет получать на одной топограмме изображение слоя только с одной глубины образца.Цель изобретения - разработка такого способа съемки топограмм, который позволил бы на одной топограмме получать раздельное изображение всех слоев образца, т, е, развертку изображения по толщине образца.В основу предлагаемого способа положена задача создания такого щелевого устройства,еме щель 5 е имеет в верхи вертикальные края, а в клонный участок. В резульифрагированного луча буЗаказ 2572/16 Изд.713 Тираж 755 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр, Сапунова, 2 11дет формироваться изображение со всей толщины кристалла путем отражения от поверхности АА,В,В. Аналогично на высоте Ьз изображение всего объема формируется путем отражения от поверхности СС,РВ. Наклонный участок Ь. щели 5 в при сканировании создает на топограмме развертку изображения дефектов по глубине. Так, уровням Р 1 и Р, на топограмме будут соответствовать слои Р" и//1 Р 2 в образце, удаленные от поверхности выхода на глубину 1 и 1 з соответственно,В результате съемки со сканированием при использовании такой щели возможно на одной топограмме провести анализ распределения дефектов по глубинке и сопоставить изображе 4ние дефектов со всего объема образца с по.слойной,разверткой изображения. Предмет изобретения 5 Способ съемки рентгеновских топограмм,основанный,на сканировании образца и выделении дифрагированного луча ограничительной щелью, отличающийся тем, что, с целью повышенияточности выявления дефектов кри сталлической решетки на топограммаХ, в качестве ограничительной щели используют щель, края которой,не параллельны краям щели коллиматора и просвет которой пересекает дифрагированный пучок по всей его шири не.