378996
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОП И А-Н-И Е ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Соеетскик Социалистических Республик(6) Зависимое от авт. свидетельства -5) М. Кл. Н 01) 3 1450/26-2 22) Заявлено 12.07,71 (21 соединением заявки дарственный комитет(32) Приоритет та Министров СССРделам изобретений(088.8) нь2 ликовано 15,06.7 юлл крытии 0.06,7 ата опуоликовани исани 2) Авторы язобретения(7) Заявите ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВОБРАБОТКИ УСТРОЙСТВ лпя, и объектив, в фокусе которого расположен шаблон.На чертеже схематически представленопредлагаемое устройство.5 Устройство содержит электронную пушку 1, магнитную линзу 2, отклоняющую систему 3, генератор 4 разверток, зеркало 5, изделие 6, объектив 7, шаблон 8, фоточувствительный элемент 9, модулятор 10.10 Устройство работает следующим образом.Изделие сканируют электронным пучкомпо закону линейной построчной развертки.Развертку пучка осуществляют при помощи отклоняющей системы и генератора развертки. Если электронный пучок находится на участке изделия, не подлежащем обработке, то ток пучка достаточен лишь для того, чтобы обеспечить свечение материала, не вызывая его структурных превращений.20 Светово участком, руется объ посредстве точувствит ток прохо лона, фото вает сигца действует его интен з- ая Изобретение относится к электроннолучевой обработке материалов, в частности к обработке материалов, обладающих свойством светиться под воздействием электронной бомбардировки.Известное устройство для электроннолучевой обработки материалов, обладающих свойством светиться под воздействием электронной бомбардировки, содержащее систему формирования электронного пучка, блок управления интенсивностью пучка, рабочую камеру, столик с изделием, сканирующую систему, шаблон, причем сканирующая система состоит из электроннолучевой просвечивающей трубки (ЭЛТ), характеризуется геометрическими искажениями, вносимыми отклоняющей системой трубки, нестабильностью питающих напряжений и разъюстировкой электроннооптической системы в процессе работы.Предлагаемое устроиство позволяет повысить точность обработки благодаря исключению ЭЛТ, которая является дополнительным источником ошибок воспроизведения шаблона, для чего в нем сканирующая система выполнена в виде узла, содержащего изделие, подлежащее обработке, и последовательно расположенные над изделием вдоль оси, параллельной его поверхности, зеркало, установленное под углом 45 к говерхности издей поток, создаваемый облучаемым отражается от зеркала и фокусиективом в плоскости шаблона. Ненно за шаблоном установлен фоельный элемент. Если световой подит через прозрачные участки шабчувствительный элемент вырабатыл, который через модулятор во на электронный пучок, увеличив ивность до величины, достаточной378996 Предмет изобретения Составитель И. Еремина Техред Л. Акимова Корректор И. Симкина 1 едактор С. Батыгин Заказ 369/751 Изд, Ме 1719 Тираж 760 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Тип, Харьк. фил. пред. Патент для обработки изделия. Если световое пятновыходит на непрозрачный участок шаблона,ток пучка автоматически уменьшают до исходной величины. Устройство для электроннолучевой обработки материалов, обладающих свойством светиться под действием электронного луча, содержащее систему формирования электронного пучка, блок управления интенсивностью пучка, рабочую камеру, столик с изделием, сканирующую систему и шаблон, отличаюи 4 ееся тем, что, с целью повышения точности 5 обработки, сканирующая система выполненав виде узла, содержащего изделие, подлежащее обработке, и последовательно расположенные над изделием вдоль оси, параллельной его поверхности, зеркало, установленное 10 под углом 45 к поверхности изделия, и объектив, в фокусе которого расположен шаблон.
СмотретьЗаявка
1681450
А. Н. Кабанов, А. А. Кафафоз, М. П. Голубков
МПК / Метки
МПК: H01J 37/02
Метки: 378996
Опубликовано: 15.06.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-378996-378996.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">378996</a>