Способ термодинамического контроля
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 370463
Текст
Союз Советских Социалистическик РеспубликО П И С А Н И Е 370463ИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт, свидетельства-Заявлено 21,1 Ч.1971 ( 1647887/25-28)с присоединением заявки-Приоритет -Опубликовано 15,11.1973. Бюллетень Лв 1Дата опубликования описания 12 Х.1973 1. Кл. 6 01 Ь 150 Комитет по делам аобретеиий и открытий при Совете Мииистрое СССРДК 531.717.5(088.8 Авторизобретени А. Биршерт Заявитель СПОСОБ ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОГО КОНТРОЛ мого материала 3 и 4 - термодатчики посредине и два других - по краям (на чертеже не показаны) подложки.Квантованный обтюратором или заслонкой потак напыляемого материала воздействует на подложку, которая одновременно нагреваегся потоком тепла от испарителя и от осаждаемого материала. В установившемся термодинамическам процессе градиент температур между серединой и юраями подложки определяется толщиной напыляемой пленки. По этому градиенту, регистрируемому посредством термодатчиков, судят о толщине покрытия,в процессе напыления. Эффективность способа возрастает с увеличением отношения толщины пленки и подложки. редмет изобретения вляется повышение ттия в процессе наО Способ термодинамического контролящины покрытия, заключающийся в том,покрытие нагревают и регистрируют парары термодиффузии, от,гичаюигийся тем,с целью повышения точности контролякрыгия в процессе напыления на подлорегистрируют градиент температур междурединой и краями подложки посредстваммодатчиков и по нему судят о толщине нляемого покрытия. енному способу реператур между секи посредством терят о толщине напысхема реализации е приняты следуюржатели подложки т поток напыляеИзооретение относится к неразрушающему контролю толщины слоистых материалов и может быть использовано для контроля толщины пленок в процессе напыления на подложки. 5Известен способ термодинамического контроля толщины покрытия, заключающийся в том, что покрытие нагревают и регисгрируют параметры термодиффузии. Причем, применяют напреватель, контактирующий в 10 определенной зоне паирытия, и термодатчики, расположенные в этой зоне.Однако известный способ непригоден изза недостаточной точности для контроля толщины напыляемого погсрытия, например, при 15 термова куумном напылении пленок. Целью изобретения яточности контроля покрьпыления на подложку.Для этого по предложгистрируют градиент темрединой и краями подложмодатчиков и по нему судляемого покрытия,На чертеже показанапредложенного способа, гдщие обозначения: 1 - д2, на которую воздейсгву толчто метчто, пожку,се- тер- апыЗаказ 194/676 Изд.233 Тираж 755 ПодписноеЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5Тип. Харьк, фнл. пред. Патент
СмотретьЗаявка
1647887
МПК / Метки
МПК: G01B 15/02
Метки: термодинамического
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-370463-sposob-termodinamicheskogo-kontrolya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ термодинамического контроля</a>
Предыдущий патент: Устройство для контроля отклонения от прямолинейности поверхности объекта
Следующий патент: Измерительная головка гидростатическогоbblcotoalepa
Случайный патент: Устройство для разделения круглогопроката