Способ термодинамического контроля

Номер патента: 1228062

Опубликовано: 30.04.1986

Авторы: Зайцев, Котов, Лупарев, Селимханов

МПК: G03G 5/08

Метки: напыления, подложку, покрытия, преимущественно, процессе, селена, толщины, цилиндрическую

...материала на подложку, например селена, теплопроводность которого очень мала (0,123 Вт/м град), замедляется теплопередача через систему: слой селена - подложка, что при стабильной температуре напылителя приводит к понижению скорости нагрева подложки. Так как толщина подложки остается постоянной величиной в про цессе напыления, а температура напыли-, теля, также стабильна, то понижение скорости нагрева может быть вызвано лишь увеличением толщины слоя селена.Тогда толщина слоя фотополупроводникового материала определяется по зависимости: Ь=й(Ъо - Г ),где Й - коэффициент, определяемый конструкцией установки;Ро - скорость нагрева подложки без слояфотополупроводникового материала35Р. - текущее значение скорости нагреваподложки.Причем...

Номер патента: 1487619

Опубликовано: 10.06.2001

Авторы: Милешко, Никитенко, Сорокин

МПК: G01B 7/04

Метки: диэлектрических, осаждения, подложках, покрытий, процессе, толщины

Способ измерения толщины диэлектрических покрытий на подложках в процессе осаждения, заключающийся в том, что строят анодную поляризационную кривую контролируемой структуры в электролите при заданной скорости увеличения потенциала подложки, находят пороговое напряжение, соответствующее началу линейного участка на указанной кривой, по которому определяют толщину слоя, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, построение анодной поляризационной кривой проводят при скорости увеличения потенциала подложки от 0,2 до 12 В/с в электролите с электропроводностью от 50 до 400 мкСм/см.

Номер патента: 1435670

Опубликовано: 07.11.1988

Авторы: Мачюлайтис, Мачюлис, Пяланис, Фишельсон

МПК: C25D 21/12

Метки: гальванического, нанесения, покрытия, процессе, средней, толщины

...других соотношениях до 103,. отличающихся от предлагаемых, защищенность также хороша, однако наблюдается 3-4 Х брака,При применении других компонентовв других соотношениях применять покрытия нецелесообразно по следующимпричинам: снижение количества эпоксидной смрлы или ортофосфорной кислоты приводит к липкости покрытия;повьппение количества эпоксидной иортофосфорной кислоты снижает хемостойкостьпокрытия; количество аэросила, который повьппает хемостойкостьи одновременно является наполнителем,определяется технологичностью покрытия, так как при применении предлагаемых,интервалов получается оптимальная вязкость.В основе расчета толщины гальванопокрытия, определяемого резистивным датчиком, лежит модель параллель"ного соединения двух...

Номер патента: 606897

Опубликовано: 15.05.1978

Авторы: Бадолин, Евдокимов, Самойлюкевич, Шестеркин

МПК: C23C 1/14

Метки: горячего, покрытия, процессе, толщины, цинкования

...датчика 1 давлениявоздуха, воздушных ножей 2, трубопроводов 3,датчика 4 скорости, блока 5 суммирования, усилителя 6, двигателя 7, клапана 8, датчика 9 темпе.ратуры расплава, схемы 10 сравнения н блока 11задания температуры.Стальная полоса 12, выходящая из печи 13отхига, проходп через ванну 14 С расплавом цин.ка и затем, двигаясь вертикально вверх, проходитмежу воздушными ножами 2, Далее полоса оги бает тянущий ролик 15 и уходит на холодильщпс.С помощью трубопроводов 3 к воздушным ножам2 подключен датчик 1, измеряющий давление воз.духа в воздушных ножах. Датчик дзвления под.ключен к одному из входов блока 5 суммирова.нкя.Второй вход блока суммирования соединенс датчиком 4 скорости полосы 12, кннематическисвязанным с тянущим роликом 15....

Номер патента: 910832

Опубликовано: 07.03.1982

Авторы: Грушко, Давыдов, Космынина, Попов, Турубинер

МПК: C23C 1/14

Метки: горячего, покрытия, процессе, толщины, цинкования

...и 16, кинемати чески связанные с клапанами 5 и 6, регулирующими подачу воздуха: к воздушным ножам 1 и 2.Устройство работает следующим образом. 1 ОДопустим, что температура расплава цинка в ванне равна заданной и расстояние от воздушного, ножа до полосы равно заданному. В этом случае сигналы на выходе схем сравнения 22, 27 и 15 28 равны нулю.При изменении скорости движения полосы 34 изменяется величина сигнала выдаваемого датчиком скорости 19. в блоки суммирования 11 и 12. На вы ходе последних появляются сигналы рассогласования, которые усиливаются усилителями 13 и 14 и поступают на двигатели 15 и 16 клапанов 5 и 6. Заслонки клапанов 5 и 6 поворачиваются 25 до тех пор, пока давление воздуха в воздушных ножах 1 и 2, измеренное датчиками...