Контактный интерферометр для измерения линейного перемещения объекта

ОП ИСАЙИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 370454 Союз Советских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 01.17,1971 ( 1641533/25-28)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 15.11,1973. Бюллетень11Дата опубликования описания 5.17.1973 М. Кл. б 01 Ь 9/02 Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРУДК 531.715.1(088,8) Авторыизобретения Г. Б. Кайнер и А. В. Ляховский Заявитель Бюро взаимозаменяемости в металлообрабатывающей промышленности КОНТАКТНЫЙ ИНТЕРфЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНОГО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ОБЪЕКТАИзобретение относится к области контрольно-измерительной техники, в частности к области измерения линейных размеров в машиностроении,Известен контактный интерферометр для измерения линейного перемещения объекта, содержащий источник света с конденсором, блок, разделяющий световой пучок на два пучка, неподвижное зеркало, установленное на пути одного пучка, подвижное зеркало, связанное с измерительным наконечником и установленное на пути другого пучка, окуляр, фотоэлектрический преобразователь и счетчик интерференционных полос. Счет интерференционных полос может быть осуществлен визуально или фотоэлектрическими устройствами с электронными счетчиками.Однако известный интерферометр имеет погрешность измерения не менее единицы счета, т. е. не менее одной интерференционной полосы.С целью, повышения точности измерения предлагаемый интерферометр снабжен дополнительным неподвижным зеркалом, установленным относительно подвижного зеркала так, что в поле зрения интерферометра наблюдается интерференционная картина в виде систем интерференционных полос, и монохроматором, расположенным между источником света и светоделительным блоком и обеспечивающим образование интерференционной картины вразличных длинах волн,Такое, выполнение позволяет измерять перемещение ло счету интерференционных полосс помощью счетчика, исключая при этом ошибки счета полос по взаимному положению вразличных длинах волн, и тем самым повышаягочность измерения контактного интерферометра.д 0 Предлагаемый интерферометр может осуществлять одновременно измерение как путемсчета полос, так и абсолютным методом.На фиг, 1 показана принципиальная схемапредлагаемого интерферометра; на фиг, 2 -1 поле зрения интерферометра.Интерферометр содержит источник 1 света сконденсором, монохроматор 2, блок, разделяющий световой пучок на два пуска, в виде светоделительной пластины т, неподвижное зер 20 кало 4, измерительный наконечник 5 с подвижным зеркалом 6, дополнительное неподвижное зеркало 7, окуляр 8, фотоэлектрический преобразователь 9 и счетчик 10.Работает предлагаемый интерферометр сле 25 дующим образом,При измерении измерительный наконечник5 с зеркалом б перемещается, При этом в поле зрения окуляра 8 проходит соответствующее число полос интерференции, которые преЗО образуются фотоэлектрическим преобразова370464 Предмет изобретения ЧЬг 1 Фиг. 2 Составитель Л, Лобзо Техред Л. Гра едактор Д. Михельзончева Корректор Е. Денисов Изд.219 Тираж 755 делам изобретений и открытий при С Москва, Ж-З 5, Раушская наб д. 4/5 Заказ 670/7ЦНИИПИ Комитета Подписноете Министров ССС ипография, пр. Сапунова, 2 3телем У в электрические импульсы, считаемые счетчиком 10.Затем соответствующей установкой монохроматора 2 меняют длины волны авета и соответственно определяют дробные доли полос интерференции, образуемых зеркалами б и 7 в различных длинах волн, и определяют абсолютный размер птеремещения измерительного наконечника, равный перемещению объекта.Изображение интерференционных полос, наблюдаемое,в окуляре, иллюстрируется фиг. 2. В верхней части поля зрения находится интерференционная картина, образуемая от подвижного, связанного с наконечником, зеркала. Нижняя часть поля - картина, образуемая дополнительным неподвижным зеркалом. При смене длин волн полосы интерференции смещаются овносительно друг друга. По этому смещению определяют раостояние между подвижным и дополнительным неподвижным зеркалами. Контактный интерферометр для измерениялинейного перемещения объекта, содержащий 5 источник света с конденсором, блок, разделяющий световой пучок на два пучка, неподвижное зеркало, установленное на пути одного пучка, подвижное зеркало, связанное с измерительным наконечником и установленное на 10 пути другого пучка, окуляр, фотоэлектрический преобразователь и счетчик интерференционных полос, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, он снабжен дополнительным неподвижным зеркалом, 15 установленным относительно подвижното зеркала так, что в поле зрения интерферометра наблюдается интерференционная картина в виде двух систем интерференционных полос, и монохроматором, расположенным между ис точником света и светоделительным блоком иобеспечивающим образование интерференционной картины в различных длинах волн,