Устройство для перемещения зеркала интерферометра

/02, 1979. 54) УСТРОЙСКАЛА ИНТЕРФЕ 57) Иэобрет ВО ЛЛЯ ПЕРОИЕТРА ЕНИЯ ЗЕРоптиче назнач ого елью изние чувствлемента см радиальретенельно вл ск тся повыше нирующего сокращен меннь ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ ПИСАНИЕ ИЗОБРЕ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(56) Авторское свидет535453, кл. С 01 ВАвторское свидетелУ 823847, кл. С 01 В ие относится к областириборостроения и пред- использования в скаирующих интер еромет ных либо осевых габаритов. На основании 1 установлено неподвижное зеркало 2 и подвижное звено 3 с подвижным зеркалом 4. Подвижное звено 3подвешено на упругой подвеске, выполненной в виде наклонных стержней 5.В движение зеркало приводится управляемым электродвигателем 6 череззубчатую пару 7 - 8 и сильАонную муфту 10. Крутильные перемещения промежуточного кольца 11, связанного ссильфонной му 1 то, уменьшаются упр гим делителем перемещений, состоящим из упругих стержней 12 и стержней 5 упругой подвески подвижногозвена. Благодаря наклонному расположению стержней этой подвески крутильные перемещения подвижного звена обретают осевую составляющую.2 з.п. А-ль, 3 ил.1 133Изобретение относится к оптическому приборостроению и препцазцаче но для использования в сканирующих цитеруерометрах.Целью изобретения является повышение чувствительности скацирующего элемента с одновременным сокращением радиальных, либо осевых габаритов.На фиг.1 показано устройство (модификация 1), продольный разрез; на фиг.2 - то же (модификация 2), продольный разрез; на фиг.3 - разрез А-А на фиг.2 (вид на упругий элемент 1Устройство для перемещения зеркала интерферометра содержит основание 1 с неподвижным зеркалом 2, подвижное звено 3 с подвижным зеркалом 4, подвеску подвижного звена, выполненную в виде семейства наклонно расположенных упругих стержней 5, и привод принудительного перемещения подвижного звена, выполненный в виде управляемого электродвигателя 6, ведущей шестерни 7, ведомой шестерни 8, связаццой с основанием шариковым подшипником 9, сильфоццй муфты 10, один конец которой скреплен с ведомой шестерней, промежуточного кольца 11, скрепленного с вторым концом сильфонцой муфты, и упругого злемента, установленного между промежуточным кольцом и подвижным звеном, Упругий элемент может быть выполцен либо в виде семейства стержней 12, размещенных вдоль образующих воображаемого цилиндра, расположенного Внутри сильфонной муфты (фиг.1) либо в виде семейства радиально располокецных стержней 13 (фиг.2 и 3), Радиально расположенные стержни выполцены изогнутыми в плоскости ихразмещения.Устройство работает следующим образом,Для обеспечения сканирующего движения приводному электродвигателю 6 задают периодическое движение заданной частоты и амплитуды. От электродвигателя движение передается через зубчатую пару 7-8 в сильфонную муфту 10 на промежуточное кольцо 11. Далее на подвижное звено 3 движение передается через упругий делитель перемещений, образованный стержнями 12 (13) и 5, Крутильные перемещения подвижного звена 3 будут во столько паз меньше крутильных перемеще 7651 2ций промежуточного кольца 11, восколько раз жесткость стержней 12(13) меньше суммы жесткостей стержней 5 и 12 (3) 1+Г ф угловое (крутильное) перемещение подвижного звена;угловое (крутильное) перемещение промежуточногокольца;1 - жесткость стержней упругой подвески подвижногозвена;жесткость упругого элемента, размещенного междуподвижным звеном и промежуточным кольцом,Благодаря наклонному расположению упругих стержней 5 подвески подвижного звена 3 крутильные перемещения этого звена приобретают осевую составляющую, равную: 15 Н = К рСрН,Формула изобретения 1. Устройство для перемещения зеркала интерферометра, содержащее основание с неподвижным зеркалом, подвижное звено с подвижным зеркалом, подвеску подвижного звена, выполненную в виде наклонно расположенгде В - радиус размещения упругихстержней подвески подвижного звена;угол наклона этих стержней.35 Наличие упругого делителя перемещений позволяет управлять движениями электродвигателя при значительно большей амплитуде, что повышаетчувствительность устройства. Крометого, через упругие стержни не передаются на подвижное звено вибрацииэлектродвигателя и зубчатой пары,что повышает плавность работы устройства.45 Размещение упругих стержней внутри сильфонной муфты вдоль образующихцилиндра позволяет сократить радиальные габариты устройства, а радиальное размещение этих стержней - осе вые габариты.з133 ных упругих стержней, и привод принудительного перемещения подвижного звена, выполненный в виде кинематической передачи и сильфонной муфты, один конец которой связан с ведомым звеном кинематической передачи, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения чувствительности,оно снабжено промежуточным кольцом, скрепленным с вторым кольцом сильфонной муфты, и упругим элементом, установленным между промежуточным кольцом и подвижным звеном. 76512. Устройство по п.1, о т л ичающе е с я тем, что, с цельюсокращения радиальных габаритов,упругий элемент выполнен в виде5стержней, размещенных внутри сильфонной муфты вдоль образующих воображаемого цилиндра,3. Устройство по п.1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с цельюсокращения осевых габаритов, упругий элемент выполнен в виде радиально расположенных стержней, изогнутых в плоскости их размещения.тииаб д.4 ственно-полиграфическое предприятие, г,ужгород, ул,Проектная,4 Про Тираж Государс елам изоб Москва, Ж