Номер патента: 367572

Авторы: Берг, Красюк, Милашов, Старое

ZIP архив

Текст

ОПИСАН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 367572 Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства051 13,/О 637985,2 М. аявлено 09 111,1971 кис присоединением ПриоритетОпубликовано 23.1,1973. БюллетеньДата опубликования описания 16.111.1973 Комитет по делам изобретений и открыти при Совете Министров СССР. Красюк и С ф. Г. Старос, И. В. Бе лашов ПОСОБ КОНТРОЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЬ Е Изобретение относится к электронной технике, а именно к способам контроля интегральных схем для вычислительных машин.Известны способы контроля интегральных схем, основанные на применении электронно го пучка, по которым поток электронов направляют на поверхность исследуемой интегральной схемы, что дает возможность судить о ее структуре.Недостатками известного способа являются частичный выход из строя интегральной схемы в результате взаимодействия ее с интенсивным излучением и невозможность автоматизировать процесс измерения параметров интегральных схем.Цель изобретения - уменьшение воздеист 15 вия электронного пучка на элементы контролируемой схемы и повышение производительности.Это достигается тем, что электронный пучок аксиально-симметричнои или плоскопарал 20 лельной формы сканируют параллельно контролируемой поверхности интегральной схемы, на которую подано напряжение питания, фиксируют на люминесцентном экране или другом фотоприемнике отклонение электронов пучка, вызванное взаимодействием электронов с электрическими полями рассеивания интегральных схем. Сравнивая полученную картину с эталонной, судят о качестве изделия. 30 Предлагаемый способ осуществляется следующим образом,Исследуемую интегральную схему помещают в специальное устройство, позволяющее включать отдельные или все элементы схемы.Формируемый электронный поток проходит параллельно поверхности исследуемой схемы, и, взаимодействуя с электронными полями одного или нескольких включенных элементов, отклоняется ими. Отклонение электронов потока фиксируется на люмпнесцецтцом экране цли на фотоприемнике другого типа. Полученное изображение сравнивают с изображением эталонной интегральной схемы, что даст возможность провссти исследование и проверку данной схемы. При формировании электронного потока плоскопараллельной формы контролируют несколько или все включенные элементы схемы,При формировании электронного потока акспально-симметричной формы исследуют однц или несколько включенным элементов схемы при различных положениях интегральной схемы относительно скользящего вдоль ее поверхности электронного пучка.Исследование интегральной схемы производят и прц помощи муаровых картин, получаемых ца люмицесцецтцом экране цлц другом фотоприемнике, комбинируя включение плц367572 Предмет изобретения Составитель С, Вольнова Техред Т. Миронова Корректоры; Л, Царькова и В. ЖолудеваРедактор Г. Котельский Заказ 530/13 Изд. ЛЪ,1164 Тираж 755 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 выключение отдельных элементов интегральной схемы. Способ контроля интегральных схем с помощью сканирующего электронного пучка аксиально-симметричной или плоскопараллельной формы, отличающийся тем, что, с целью уменьшения воздействия электронного пучка на элементы контролируемой схемы и повышения производительности, электронный пучок направляют параллельно контролируемой поверхности интегральной схемы, на которую подано напряжение питания, и фиксируют отклонение электронов пучка, вызванное взаимодействием электронов с полями рассеивания интегральной схемы, с последующим сопоставлением данного отклонения электронного пучка с отклонением, вызванным его вза имодействием с эталонной интегральной схемой.

Смотреть

Заявка

1637985

Ф. Г. Старое, И. В. Берг, Б. А. Красюк, С. С. Милашов

МПК / Метки

МПК: H05K 13/00

Метки: «ш, воезоюзнаяпшш

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-367572-voezoyuznayapshsh-1-sh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Воезоюзнаяпшш; 1. „ш</a>

Похожие патенты