Интерферометр для контроля качества вогнутых цилиндрических поверхностей

Союз Саветскит Сациалистическиз РеспталиьК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕ,ПЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельства М 011) 9( Заявлено 29.7.1970 ( 445255(26-25 рисоедипенпем заявки1 риорнтет Новитет па аелаи зааретеиий и открытипри Совете МинистраССС 5 ЪДК 5 З 5 ч 540 Опубликовано 1 С.Х,1972. ЬоллетенДятя опубликования описания 16.Х 1.1972 Авторыизобретени Духопел и Т. В. Симоненко явитсл ТЕРФЕРОт 1 ЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ВОГНУТЫХ ЦИЛ И НДРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ Изобретение относится к оптическим контролыо-издерительным приборам н может быть использовано для контроля качества вогнутых цилиндрических поверхностей оптических деталей на предприятиях оптической промышленности,Известные интерферометры для контроля ц 51 линдричсских понсрхносгей поз 150 л 51 ют проводить измерения в нсбол)нпом диаязоне радиусов кривизны проверяемых поверхностей. Для их работы требуется образца)я 51 цилиндрическая поверхность.Особенностью предложенного пптсрфсромстра является ограничение разделе)ных зрачков интерферометра с помощью узки.; (дифракционных 1 щелей, которые снижают влияние аберраций интерференционной системы. В результате становится возможным использовать в качестве образцовой поверхности плоскость неысого ка 1 еста и контролировать 1 а одном приборе цилиндрические поверхности любых радиусов кривизны.Предло)кенный пнтерферометр показан на чертеже.Интерферометр содержит газовый лазер 1, конденсор 2, дия 1)рагау,3, зеркало 4, Обьектнв коллпматора 5, цилиндр 1111 ескуО линзу ), кубик 7 с полупрозрачной диагональной гранью, цилиндрическу)о линзу 8, плоскую зеркяльноотражающую поверхность 9, проверяемую деталь 10, цилиндрическую линзу 11, объектив коллиматора 12,Взходяции пз ОбъектВа коллимятора;)параллельный пучок направляется па цилиндрическую линзу б, с помощью которой ня гряп 5 гх а и б кубика 7 собирается в прямыс ли нии, параллельные образующим цилиндрических поверхностей линзы 8 и проверяемой детали 10 и расположенныс, соответственно, в фокальной плоскости линзы 8 и пл)Скост 51 центров кривизны проверяемой поверхности.10 1.1 я гранях а н б нанесены зсркальныс по,1)ски, в середине которых прорезаны узкие прозрачныс цели (св. внд по стрелке Л), Щель па граш 6 совмещена с фокальной линией лпнзь 1 б и пропускает к поверхности проверяс мОЙ детали гольку ту часть пучка, котора 51дифрагировала на щели. После отражения от детали 10 пучок направляется в пнтерферов 1 етр мимо зеркальной полоски, 1 кой х),1 пучка обеспечивается соответствующиз Сме щением детали 10 в плоскости чертежа. Рсферентный пучок проходит к линзе 8 мимо зеркалыОЙ полоски, нанесенноЙ на рань Б обратном направлении он пропускается через щель, 1 то достигается соответству)ощн м 25 наклоном поверхности 9. Р место деталей 8и 9 может быть установлено вопутое цнлндрнеское зеркало, аИИП 51 центр)в крив 1 знь которого расположена в плоскости грани, а отраженные от поверхности 9 и детали 10 30 пучки соединяются на светодслительной граникубика и 5 н) ерфернруют между собой. Перемещениями и наклонами детали 1 О добивают ся получения полос, параллельных или перпецдикулярцых образующей цилицдрической поверхности. По их цепрямолцейости судят качсствс проверяемой дсгалц. Ка ество большиства деталей схемы, в том цслс и поверхности 9, не оказывают заметного влияния ца точцость коеТроля.Предмет изобр е те яИнтерферометр для контроля качества вогцутых цилиндрических поверхостей оптичсских деталей, содержащий оптические узлы для формирования рабочей и реферетцсц волн цилиндрической формы и аблгодсния интерференционной картццы, отличаю.йс 1 тем, О, с цельО обссгСчецц: абсолООго мс тода контрол качества цлццдрцчсскцх поверхостей ц расшцрецця диапазона измерений, в фокальной плоскости цилиндрической лицзы осветительного узла и за светодслительным устройством устаовлецы две дифрак ццоццые щели, причем щель в рабочем пучкеустановлена па пути прямого хода, а в реферсцтцом - на пути обратгого хода лучей.Составитель Б. Арлов Редактор Т. Орловская Тсхред Т. Курилко Корректоры: Е, Давыдкина и В. Петрова Заказ 3688/15 Изд го 483 Тирак 406 ПодписносЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж.35, Рауьоская наб., 4/5Типография, пр. Сапунова, 2