Интерферометр для контроля волновых аберраций элементов оптических систем

Г 1 Ая 1 йн иРЕТЕНИЯОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 30 Е Союэ Соеетски)оциалистически 1Респуалив ТОРСК Зависимое от а т. свидетельстваО ( 1393207/26-25) ено 15.1.19 Ь 9/О М. Кл заявкис прис пение Приорите Комитет по аслам изооретений и открыт при Совете Министра ССС 5Опубликовано 16.Х.1972, Бюллетень3 35 Л 11(088 ия описания 16,.Х 1.19 ятя оп лико Автортзобретения, Т. Пури сковское высшее техническое училище ауман Заявитсл КОНТРОЛЯ ВОЛНОВЫХ АБЕРРАЦИЙВ ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ ТЕРфЕРОМЕТРЭЛЕМ Изобретение относится к устройствам для контроля оптических систем, обладающих большими волновыми аберрациями (асферических элементов, конденсаторов для контроля асферических систем и т, д.).Известные интерферометры, содержащие в качестве эталона плоскость или сферу, НОЗВОл 5110 т конт 1)олировять с достято 1 нОЙ точность 10 малые Волновые аберрации. Г 1 римене ние в качестве эталона асферической поверхности связано со значительными материальными затратами. светодслителычсскос зеркало6, Центр кривкус контролируром диафрагмаон устаноВЛ(.кальной повсрдана требуемавинтом 8 илире 9,Идущий в рабочуо ветвь шТсрфсромстра сферический волновой фронт Р, в систсх(. 6 преобразуется в волновой фронт Р, сущ(ственно отличающийся от плосого или с(1)срического. Регулировкой винта 8 нли давления в камере 9 зеркальной поверхности пластины 7 п)идяетс 5) (1)орма, Олизя 51 к форме нсясенного волнового фронта Р 2. В результате выходящий из рабочей ветви ьолновой фронт Р, незначительно отличается от сферичссого и, интерфсрируя со сферическим волновым фронтом Р, из ветви сравнения, даст на эране 10 слабо искривленные ннтсрфсрснцнонныс полосы, смецсни 51 Оторых ъ(огу бьть,1 сг 0 измерены с высоой то Нось 10. Форма дсфор- анрованноЙ зе 1)алиОЙ иовсрхнос(и ятгсстуется с помощью колец 11 ьютона, которые образуются при введении в систему полупрозрачной пластины 11,тр отличается ользх ется зеркоторая под и пневматичер, близкую кенного испыому повышаетфероме она исп астины, ских ил ает фо та, иска даря эт нципиальная роля оптичеаберрациями 2 Иа фиг, 1 пр схема интсрферо ских систем со с конечного расс Свет от монох пример, лазера) руется на от ройдя черезедставлена п 1 метра для кон значительными О ЯИ 51,рома 1 ического 1 1 конденсорнсп верстие точечноторую, попада сточника (налинзой 2 фоой диафрагмы ет сначала на 3 кусид, п Предложенный инте тем, что в качестве этал кальная поверхность пл воздействием механиче ских нагрузок приним к форме волнового фрог туемой системой. Благо ся точность измерений,ыЙ кубик 4, а з:тем на сфсрид и 1 сонт 1)оли)усму 10 с 1 Стсо) зны сферического зеркала и фоемой системь( совпадают с центы . За контролируемой систс Я пластина /, внсннсЙ Верности которой можл быть нри (1)орма и)Гсм няГруксни 5 изменешсм давлсня в каме355488 Мм оставителв Б, Арлов Техрсд Т. Курилко сдакт ловска оррскторы: Е. Давыдкина и В. ПетроваЗаказ 3688/11ЦНИИПИ 1(огиитета и Изд.1483 Тираж 4 Релац изобретений и открытий при Москва, Я(-35, 1 заушская наб., 4/5Т 6 ПодписноеСовете Мнистров СССР ипография, пр. Сапунова, 2 На фиг. 2 представлена схема ицтерферометра для контроля оптических систем в паРаллелыом и чке лз чей, содеРжв вего источи 1 к 1 .10 цохроъят 1 чесеОГО светя, точспую диафрагму 3, сферическое зеркало 5, коптро лируемую систему б, деформирусму 1 о пластпцу 7, ввешцяя зеркальная повсрхцссть,которой служит поверхностью сравнения, камеру 9, полупрозрачную пластину 11, объектив коллиматора 12, полупрозрачную разделителы 1 у 1 о 10 пластину 13, линзу 14 для цаблюдсция интерферецциоццой картины. Задний фокус контролируемой системы 6 совмсщец с центром кривизны сферического зеркала 5,4 Предмет изобретенияИцтерферометр для контроля волновых аберраций элементов оптических систем со) держащий рабочую и эталоццую ветви, оглачаюиийс 1 тем, что, с целью расширения диапазона и повышеция точности измерений, в одцой из ветвей ицтерферометра установлены пластинка с внешней зеркальной поверхцостью, сцабжеццая устройством для механической либо пневматической деформации ес поверхности, и полупрозрачцяя пластица для аттестации профиля зеркальной деформироВЯцеОй гОвеРхпОстР,