ZIP архив

Текст

Союз Советски Социалистических РеспубликОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 306595 Зависимое от авт. свидетельства1367301/26 аявлено 13.Х. МПК Н 051 с 3 исоединением заявкиКомитет по делам зобретений и открыти при Совете Министров СССРиоритет убликован 1.1971, Бюллетень Л К 539.231.002,5 (088.8) та опубликовашгя описания 19 Х 11.197 Авторыизобретени ас и В. Б. Толути ас, А. А. Рибик А. А. Алексе нститут физ полупроводников АН Литовской СС аявите ОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СЛОЖНЫХ МИКРОСХЕМ Известен способ получения сложных микросхем с применением проволочной сетки и набора масок.Цель изобретения - расширение диап на структур сложной конфигурации.Для этого, согласно предложенному способу, на проволочную сетку накладывают дополнительную сетку, смещенную под углом к первой, и осуществляют процесс осаждения.На чертеже изображено устройство для осу ществления предложенного способа.Устройство содержит сетки 1, 2, состоящие из пучков натянутых, строго параллельных, лежащих в одной плоскости проволочек, и маску т. Сетка 2 наложена на сетку 1 под 15 углом а.Осажденный слой имеет вид ромбико соединенных полосками 5 в группы-площ б сложной конфигурации. Между площад имеется зазор - пилообразная линия 7,на которой равна а - угол между пересекающимися сетка.ми.При постоянной длине площадок в зависимости от угла пересечения сеток длина пило образной линии может превышать длину пло щадок на порядок и больше, что соответствует уменьшению сопротивления между площадками на порядок и больше.Предлагаемый способ получения сложных микросхем позволяет в строгом геометрическом порядке покрывать большие площади. Пилообразная линия зазора по сравнению с прямой линией зазора между площадками намного увеличивает рабочую длину зазора, что позволяет уменьшать длину площадок, т. е. занимаемую ими площадь. азо 5 в 4, алки ками дли Способнованныйлочную сеттем чтоструктур слочную сесетку, смеществляют Ф8 и "/,межд- длина пилообразной лиг площадками; 1 - длина площадок;Предмет изобретен олучепия сложных микросхем, оспа осаждении пленок через провоку и набор масок, отличхющийся с целью расширения диапазона ложной конфигурации, на провогку накладывают дополнительную щепную под углом к первой, и осупроцесс осаждения.аказ 1966/3 Изд. Хз 846 Тираж 473 Подпнсно НИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 45 ппография, пр. Сапунов

Смотреть

Заявка

1367301

МПК / Метки

МПК: H05K 3/14

Метки: 306595

Опубликовано: 01.01.1971

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-306595-306595.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">306595</a>

Похожие патенты