Способ изготовления мококристаллическихпризм
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 290765
Авторы: Данковский, Доброхотов
Текст
290765 Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстгаМПК В ОЦ 17/00 Заявлено 04.1 т.1969 ( 132317722-1) рисоединением заявкииоритет номитет по делам еобретений и открытий при Соеете етиииотроэ 6 МРОпубликовано 061971. БюллетеньДК 669.054-172(088.8 та опубликования описания 24.П.1971 Авторытзобретення. А. Доброхотов и Ю. В, Данковский явитель СОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МО 140 КРИСТАЛЛИЧЕСКИХПРИЗМ Описываемый способ может быть использован преимущественно при изготовлении затравочных кристаллов для выращивания нз расплава монокрнсталлических слитков полупроводников.В известном способе изготовления монокристаллических призм слитки сначала подвергают поперечной резке на части, полученные части разрезают в продольном направлении на пластины, которье затем разрезают на призмы; пластины псред резкой склеивают одну с другой.Отличием описываемого способа является то, что продольную резку частей слитка производят на расстояние. меньшее длины разрезаемой части. Осуществление резки описываемым способом дает возможность сохранить жесткую связь между пластинами и призмами в процессе резин, в связи с чем повышается точность ориентации полученных призм; все полученн;.е нз одной части слитка моно- кристаллические призмы имеют одинаковую ориентацию.На чертеже изображена схема осуществления описываемого способа.Для резки слитков могут быть использованы станки, снабженные алмазным кругом с внутренней режущей кромкой.Заготовку 1 - часть слитка, подвергаемую резке, приклеивают торцом на поверхность затравкодеръателя 2, снабженного хвостовиком 3. Затравкодержатель крепится к планке 4 прн помощи гайки 5; планка имеет два гнезда б, осп которых взаимно перпендику лярнь:. Ориентированную в требуемом кристаллографическом направлении заготовку, например, кремния, наклеивают торцовой плоскостью на поверхность кристаллодержатсля н устанавливают планку так, чтобы ре ж.щая плоскость алмазного круга была па.раллельна требуемому направлению кристаллографической орнентации затравочных кристаллов. После этого часть 1 слитка разрезают на плоскопараллельные пластины задан ной толщины, причем расстояние, на котороеразрезают заготовку, меньше ее длины на 2 - 2,5 лтлт, благодаря чему пластины остаются жестко связанными одна с другой. Кристаллодержатель с разрезанной на пластины заго тонкой переставляют в том же гнезде планки,повернув на угол 90, производят резку пластнн на призмы, также на расстояние, мень.шее длинь заготовки. По окончании разрезания заготовкн на призмы их отрезают попе речной резкой, переставив затравкодержательв другое гнездо. Описываемым способом на станкахЖК-08 могут быть получены затравки се чением (1 Х 1) лтлтв - (ЗОХЗО) лтлтз при длине2907 С 5 Составитель Т. Г. ФирсоваТехред А, А. Камышникова Корректоры: В. Петрова и М. Коробова Редактор Е. Дайч Изд.150 Заказ 262/8 Тираж 473 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССРМосква, Ж, 1 аушская наб., д. 45 Типография, пр. Сапунова, 2 до 45 лм, ориентированные с точностью до20 - 1. Предмет изобретенияСпособ изготовления мопокристалличсскнх призм поперечной резкой монокристаллического слитка на части с последующей продольной резкой частей слитка в двух взаимно перпендикулярных направлениях, от,пиаюпрссгся тем, что, с целью получспия серий затравочных кристаллов с одинаковой ориентацией и 5 новы.пснпя точности ориентации, продольнхюрсзю частей слитка производят на расстоя.ние, мспьшсс длины разрезаемой части,
СмотретьЗаявка
1323177
Г. А. Доброхотов, Ю. В. Данковский
МПК / Метки
МПК: B28D 5/00
Метки: мококристаллическихпризм
Опубликовано: 01.01.1971
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-290765-sposob-izgotovleniya-mokokristallicheskikhprizm.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления мококристаллическихпризм</a>
Предыдущий патент: Способ получения катализатора для димеризации олефинов
Следующий патент: Устройство для одновременного помола и сушки влажных материалов
Случайный патент: Устройство для поддержания уровня воды в гидротехнических сооружениях