ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК ПАТЕНТУ 290533 Союз Советских Социалистических Республикриоритет 15 Комитет ло делам изобретений и открытий лри Совете Ыинистров СССРОпубликовано К 546.2826.07 (688;8)- - -:,ата опубликования описания 9.11.19 Авторы зобретения Иностранцыфрансискус Книппенберг и Геррит Верспу (Нидерланды) Вильгел Заявитель Иностранная фирмалипс Глуйлампенфабрикен(Нидерланды) Н, В ПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРИСТАЛЛОВ КАРБ РЕМНИЯ 2 Зависимый от патентаИзобретение относится к способам получения кристаллов карбида кремния,Известен способ получения кристаллов карбида кремния путем взаимодействия кремния и углерода при повышенной температуре в атмосфере водорода.Основным недостатком известного способа является невозможность получения различных структур и форм кристаллов карбида кремния. По предлагаемому способу для получения особых структур и форм кристаллов карбида кремния процесс ведут в присутствии элементов 111 В группы периодической системы элементов, в частности лантана. При этом для получения удлиненных кристаллов карбида кремния процесс проводят при температуре, превышающей 2000 С, предпочтительно при температуре 2200 - 2600 С; для получения лентооб разных кристаллов карбида кремния процесс осуществляют в присутствии лантана и алюминия; для получения иглообразных кристаллов - в присутствии лантана и азота,На чертеже представлена установка для осуществления предложенного способа.Установка состоит из вертикально закрепленной трубы 1 из кварцевого стекла, в которой может создаваться атмосфера желаемого состава, графитового тигля 2, установленного на подставке 3. В центре основания тигля имеется участок 4. В тигель 2 помещен цилиндр б из карбида кремния. Тигель покрыт крышкой б из графита, которая неплотно прилегает к тиглю и позволяет газу диффундировать между пространством, ограниченным трубой 1, и полостью, ограниченной цилиндром б. Труба 1 окружена высокочастотной обмоткой 7 на уровне цилиндра б.Пример. 3 г пылевидной или гранулированной окиси лантана загружают в нижний участок тигля 2. В процессе сборки тигель устанавливают в соответствии с высокочастотной обмоткой 7 так, что нижний участок тигля находится ниже этой обмотки, Цилиндр 5 состоит из чистого карбида кремния, полученного пиролизом метилтрихлорсилана в атмосфере водорода при температуре 1600 С. После сборки сначала замещают воздух аргоном при атмосферном давлении, затем тигель нагревают путем подачи питания на высокочастотную обмотку 7; при этом цилиндр б нагревается до температуры 2590 С. Через 4 час установку охлаждают и извлекают тигель 2.Получают удлиненные бесцветные кристаллы карбида кремния, имеющие длину порядка 1 си и диаметр 10 - 100 ик.В присутствии алюминия образуются широкие лентообразные кристаллы, а в присутствии азота - узкие иглообразные кристаллы карбида кремния. Предмет изобретения1. Способ получения кристаллов карбида кремния путем взаимодействия кремния и углерода при повышенной температуре в атмосфере водорода, отличающийся тем, что, с целью получения особых структур и форм кристаллов карбида кремния, процесс ведут в присутствии элементов 111 В группы периоди. ческой системы элементов, в частности лаптана.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью получения удлиненных кристаллов карбида кремния, процесс ведут при температуре, превышающей 2000 С, предпочтительно при температуре 2200 - 2600 С.3, Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью получения лентообразных кристаллов карбида кремния, процесс ведут в присутствии лантана и алюминия.4, Способ по п, 1, отличающийся тем, что, с целью получения иглообразных кристаллов карбида кремния, процесс ведут в присутствии лантана и азота,Составитель Т. Н. Кузьмина Редактор Н. Л, Корченко Техред Т. П. Курилко Корректоры Н. Л. Бронская и Т. А, Джаманкулова Изд,98 Заказ 167/1 Тираж 480 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб д, 45Типография, пр. Сапунова, 2

Смотреть

Заявка

1185757

Иностранцы Вильгельмус Франсискус Книппенберг, Геррит Верспуи, Иностранна фирма Н. В. Филипс Глуйлампенфабрикен

МПК / Метки

МПК: C01B 31/36

Метки: 290533

Опубликовано: 01.01.1971

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-290533-290533.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">290533</a>

Похожие патенты