290332

Номер патента: 1626115

Опубликовано: 07.02.1991

Авторы: Барташевич, Васьковский, Лепаловский

МПК: G01N 1/28

Метки: изготовлении, металлической, микроскопии, образцов, отделения, пленки, подложки, электронной

...в электронном микроско(е1 мере увеличпия давления и времени выдержки происходит все более полное глезнипленки. При Р, =О" Па и 1=-ЗО миц пленки отделяюгся целиком. Такимбрззм, большие значения указанных пзрдмсрн использовать нецелесообразно.В;(р ьи р вз и не тем пер дтуры водорода показ ы (;с (, (г при Т(Тл 50 в иэе;(ванных ,изп;(.(цх Р,=2 10 О Га и 1=5 60 мин .,(р,к;ерныдх придикнгтелеция илеск це бцдр жи(;стя(1 из рЧстдсх( ныоксчт тцо( о исц сспы.(е(:и 51 цз (оцокристз,(,(ичсских з 0 .рс хи ,(х (,.(т(жкзх получены пленки .рм;(,(,( .,Ь 1 мература подложек и( ции (.(еок сотзвляет 200 или 1,О (.и(дном (т 5(ниц ос(ждец( ,( .(с к,(;( (с(к( вькоЙ .(; сй Г) по(;(ет(яктся т ц длкск дажс при при.+, (:( значительного мехдцицс(,огс цз(ржци (1 (О"...

Номер патента: 1019965

Опубликовано: 30.05.1991

Авторы: Кухта, Ормонт

МПК: H01L 21/263

Метки: адгезии, металлических, пленок, подложкам, тонких, увеличения

...золота толщиной 40 нм напыляют на кремний (материал наиболее широко применяеьвй втвердотельной электронике) маркиКЭФ 0,3, а затем различные ее участ-ки размером 200 х 200 мкмжд облучаотсяпучком электронов с энергией .25 кэВдо различных доз в диапазоне от10 до ОК/см . Диаметр элект 20 ронного пучка равен 2 мкм. Облучениеучастков размером 200 х 200 мкм ведется в режиме строчного сканирования, Ток пучка равен 210 А. Разогрев кремниевой подложки в месте25 падения пучка по расчету не превышает 1 К. Изменение адгезии, связанноес электронным облучением, измеряется широко известным методом царапания иглой. В измерениях применяетсяЗО стальная игла с радиусом острия30 мкм.Результаты измерений показывают,что резкое повышение адгезиив- 800 раз...

Номер патента: 448370

Опубликовано: 30.10.1974

Авторы: Воронов, Доничиев, Кубецкий, Лихтман, Стримбан

МПК: G01N 19/04

Метки: адгезии, исследования, иструмент, методом, пленки, подложке, царапания

...расположенного на державке с возможностью установленного поворота относительно своей оси и имеющего соотношение радиусов тора, равное или большее 20.Такое выполнение обесйечивает увеличение долговечности инструмента.На фиг. 1 изображен предлагаемый инструмент, общий виа; на фиг. 2 -нндентер с тороидальной рабочей поверхностью в поперечном сечении. 1 технике опре-ой связи пленя по рхность торапленки, чем иовеч ности,тени з о цме вания ацгезии царапания, о нный с ней ин йс я тем, о долговечнос исследо методом и связа ющи ения е и,(72) Авторы А, Е, Лихтман изобретения Инструмент содержит цержавку 1 иустановленный на оси 2 индентер 3, имеющий тороидальную рабочую поверхность 4.Соотношение радиусов тора КС должно быть равно или...

Номер патента: 654154

Опубликовано: 25.03.1979

Авторы: Кай, Ян

МПК: B29C 27/04

Метки: пластмассовой, пленки, подложкой

...гранями и имеетв сечении форму трапеции,оЭлектрод 5 имеет наклон около 45 по отношению к пере мешаюшемуся покры тию 6(пластмассовой пленки), Электрод 4 представляет собой алюминиевчю трубу с заземлением. Подложка обозначена поз.7 и 8,Работа устройства заключается в К электроду 5 подвод м напряжением. Поско аземлен, то между ним создается поле высоко оздаюшее разряд. Вслед алок 4 вращается, электсопровождает валок приблизительно на половину его оборота, вследствие чего покрытие 6 получает окисленный поверхностный слой, облегчающий склеивание покрытия 6 с подложкой 7.При получении покрытия с окисленными слоями с обеих сторон электроды 4 и 5 должны располагаться с каждой стороны покрытия 6. Это желательно в том случае, если...

Номер патента: 355114

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Замотайлов, Лаврентьев, Лебедев

МПК: C03C 17/02, C03C 17/27

Метки: пленки, подложке, стеклянной

...пленок на подложке, заключающийся в смешении 5 с органическим растворителем стеклообразующих окислов, нанесении на подложку с последующим нагревом до температуры размягчения.С целью повышения качества покрытий 10 стеклообразующие компоненты используют в виде чистых элементов, которые перед напылением на подложку переводят в окислы в кислородной плазме.На чертеже показана схема нанесения по крытий.В корпусе 1 размещены по сфере к8, 4, в центре сферы находится подл Катоды выполнены из чистых элементов, например, РЬ, Я, окислы которых входят в состав стекла. При помощи ионизаторов 6 кислород ионизируется. Ионы кислорода бомбардируют катоды 2, 3, 4, взаимодействуют с распыляемыми с катодов атомами, образуя на подложке 5 стекло.Предмет...