Прибор для измерения прочиости и адгезии резисториых пленок

ОПИСАНИЕ 275221ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик. 21 е, 29 влено аявкцс присо Приори МПК 6 01 г 27/02УДК 621.317.332 (088,8 омитвт по деламий и аткрыти те МинистровСССР изобретен при Сове Опубликовано 03.711,1970, Бюл етеньДата опубликования описания 97 вторызобретения Н,ецко, А, И. Матвеев, В, Е, Глазко Н. Щербаков витель ПРИБОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПРОЧНОСТИ И АДГЕЗИ РЕЗИСТОРНЫХ ПЛЕНОКПредлагаемый прибор для измерения прочности и адгезии химически инертных резисторных пленок с изолирующей подложкой может найти применение в радиотехнической промышленности при производстве резисторов, в частности для испытания резисторных электродов электрохимических управляемых сопротивлений.В настоящее время для определения качества пленки резисторов применяют различные механические устройства и приборы, например образец, подвергающийся воздействию зпакопеременных изгибающих нагрузок, закрепляют на валу, которому сообщают возвратно-поступательное движение (см., например, авт, св.122327).Предлагаемый прибор содержит электролцтическую ванну, в которую помещают образец, причем образец соединен в параллель с реле максимального напряжения и источником переменного тока. Знакопеременные нагрузки создаются за счет внутренний напряжений осадка в процессе нанесения его на образец или снятия с образца. Это позволяет автоматизировать процесс проверки и повысить точность контроля. Прибор не имеет движущихся механических деталей, проще по конструкции и более надежен в работе,Прибор состоит из электролитической ванны 1 с металлическим электродом 2 и плецочцым резцсторцым образцом 3, псточшн 1 а питания 4, узла реверспрованця 5 тока, реле 6 минимального тока, реле 7 максимального тока,источника 8 переменного тока.Мехгншческое нагруженце пленки резисторапроизводится в электролитцческой ванне поочередным осаждением ц снятием металла свысоким внутренним напряжением, Процессосаждения - снятия осуществляется реверси 10 роваццем тока переноса. Прц этом время нанесения меньше, чем время снятия,Контроль пленки ведется по уменьшению тока переноса (цапрцмер, в 1,2 раза) в циклнанесения цлц по увеличению перельеьнього на 15 пряженпя на резистор ном электроде (например, в 1,4 раза). При изменении тока переносаилц напряжения в заданное число раз процессиспытания автоматически прекращается - качество пленки резистора определяется коли 20 чеством циклов реверсцрования тока до изменения свойств пленки.Источник питания 4 цепи переноса работаетВ рсжцме генепатора напряжения. Через узелреверсировацпя 6 ц реле 6 минимального то 25 ка он соединен с металлическим электродом(анодом) 2 ц резцсторцым образцом (катодом) 3, Катод соединен также с реле 7 максимального цапряжецця и источником 8 переменного тока, который работает в режиме гене 30 ратора тока, Узел реверсцрованця (например,275221 Щ 1 3 Составитель В. П. ПятницкийРедактор Т. 3. Орловская Текрсд А, А, Камышникова Коррек 1 ор Л. В. Юшина Заказ 308619 Тираж 480 Подписное ЦНИИПИ Комигета по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 4,5Типография, пр, Сапунова, 2 электромагнитное реле, питаемое от рслс времени) б изменяет направление прокождспня тока переноса через электролитпчсскую ванну и производит отсчет количества циклов реверсирования (например, с помощью счетчика числа циклов).При включении прибора в работу величина падения напряжения на резисторном образце 3 недостаточна для срабатывания реле 7, а величина тока переноса велика для срабатывания реле б. С износом пленки образца 3 (выкрашиванне, отслаивание, появление микротрещин) ее омическое сопротивление возрастает, что приводит к уменьшению величины тока переноса и увеличению падения напряжения на катоде. При достижении одним из параметров (током, напряжением) заданной величины процесс испытаний прекращается, Счетчик числа циклов дает количественную оценку прочности пленки.Процесс пспыгаппй и измерений максимально приближен к условиям работы резнсторнойпленки.5 Прибор имеет небольшие габариты и удобен в работе,Предмет изобретенияПрибор для измерения прочности и адгезии 10 резисторных пленок с изолирующей подложкой, содержащий электролитическую ванну, узел реверсирования тока со счетчиком числа циклов реверсирования, источники постоянного н переменного тока и реле минимального 15 тока, отличающийся тем, что, с целью автоматизации процесса испытаний и повышения точности результатов, испытуемый образец соединен в параллель с реле максимального напряжения и источником переменного тока.