Патенты с меткой «резисториых»
Прибор для измерения прочиости и адгезии резисториых пленок
Номер патента: 275221
Опубликовано: 01.01.1970
Авторы: Глазков, Лидоренко, Матвеев, Щербаков
МПК: G01R 27/02
Метки: адгезии, пленок, прибор, прочиости, резисториых
...внутренним напряжением, Процессосаждения - снятия осуществляется реверси 10 роваццем тока переноса. Прц этом время нанесения меньше, чем время снятия,Контроль пленки ведется по уменьшению тока переноса (цапрцмер, в 1,2 раза) в циклнанесения цлц по увеличению перельеьнього на 15 пряженпя на резистор ном электроде (например, в 1,4 раза). При изменении тока переносаилц напряжения в заданное число раз процессиспытания автоматически прекращается - качество пленки резистора определяется коли 20 чеством циклов реверсцрования тока до изменения свойств пленки.Источник питания 4 цепи переноса работаетВ рсжцме генепатора напряжения. Через узелреверсировацпя 6 ц реле 6 минимального то 25 ка он соединен с металлическим электродом(анодом) 2 ц...