Интерферометр для контроля параметров оптических криволинейных вогнутых поверхностей

(51) 4 С 01 В 9/О ГОСУДАРСТВЕННЫПО ИЗОБРЕТЕНИЯМПРИ ГКНТ СССР КОМИТЕТ ОткРытия ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ од ое форме контролируемой топриемник фиксирует несущее информацию о рого оптического элем пель-призмы, размещен тельном канале. Сигнал ника обрабатывается в ции перемещений. 1 ил оверхности. Фоветовое поле, еремещении втонта в виде трипого в измериотоприемлоке регистраисточник 1 ерферометр содержи оматического излуч льно расположенные я телескопическую Ин онохния, после по ходу из истему 2 и лучен- расширение обпутем обеспечетроля поверхностей нное в в 5, усканале, ный между и световыпол а, склеустановлкрообъект аналы, зеркало порном канале,ельном ановленный в изм расположен системой 2 тиной 3 и тавного тел светоделитель 6, телескопической делительной пла ненный в виде со а ч онт ри не К АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(71) Институт сверхтвердых материалов АН УССР(72) Н,Я.Переходько и И.Ф.Матяш (53) 531.7 17.86.082 (088.8) (56) Малакара Д. Оптический произв ственный контроль. - М.: Машиностр , ние, 1985, с. 109-110.(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПАРА МЕТРОВ ОПТИЧЕСКИХ КРИВОЛИНЕЙНКХ ВОГНУТЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ(57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля параметров оптических криволинейных вогнутых поверхностей. Целью,изобретения является расширение области использования путем обеспечения возможности контроля поверхностей сложной формы. Излучение источника монохро,матического излучения делится светоИзобретение относится к контрольно-измерительной технике, и может быть использовано для контроля параметров оптических криволинейных вогнутых поверхностей.Цель изобретенияласти использованияния возможности консложной формы. еже изображен интерферометрля параметров оптическихных вогнутых поверхностей., 1516768 А делителем и светоделительной пластиной на две пары параллельных лучей.Одна пара направляется в измерительный канал, другая - в опорный. В опорном канале лучи проходят оптическийэлемент в виде триппель-призмы и зеркало, в измерительном - второй оптический элемент в виде триппель-призмы и микрообъектив, попадают на контролируемую поверхность и возвращаются обратно на светоделительную пластину, где интерферируют. Интерференционная картина фиксируется датчикоминтерференционных полос и регистрируется блоком регистрации перемещений. Эта картина несет информацию о тоделительную пластину 3, делящуюлучение на измерительный и опорный10 15 20 30 35 25 40 45 50 55 енного из прямоугольной призмы иромба так, что большая грань призмыприлегает к одной из граней ромба,одна и граничащих с ними граней ромба лежит в одной плоскости с однойиз малых граней призмы, грань ромба,прилегающая к большой грани призмы,выполнена с полупрозрачным зеркальным покрытием, а параллельная ейгрань ромба - с зеркальным покрытием,модуль 7, два оптических элемента 8и 9, выполненые в виде триппель-призмс прозрачными полированными фаскамина вершинах, один элемент 8 распо"ложен в опорном канале между светоделительной пластиной 3 и зеркалом 4,вершиной к последнему, а второй элемент 9 расположен в измерительномканале между светоделительной пластиной 3 и микрообъективом 5, вершиной к нему и жестко связан с ним посредством модуля 7, выполненного свозможностью перемещения вдоль оптической оси измерительного канала,датчик 10 интерференционных полоси блок 11 регистрации интерференционных полос, размещенные в измерительном .канале, фотоприемник 12 иблок 13 регистрации перемещений, размещенные в опорном канале, электрические выходы датчика 10 интерференционных полос и фотоприемника 12 связаны с входами соответственно бло- .ка 11 регистрации полос и блока 13регистрации перемещений.Интерферометр работает следующимобразом,Излучение источника 1 монохроматического излучения поступает в телескопическую систему 2, состоящуюиз линзы 14, объектива 15 и диафрагмы 16, расположенной одновременно вфокусе линзы 14 и в фокусе объектива 15. Эти элементы преобразуют неразведенный пучок излучения в коллимированный, который попадает на светоделитель 6. Светоделитель 6 делитизлучение на два параллельных лучаа и Ь, имеющих примерно равную интенсивностьЛуч Ь идет на центральнуючастьсветоделительной пластины 3,где делится на два луча Ьи Ь .Луч Ь проходит оптический элемент 8,выполненный в виде триппель-призмыс прозрачной полированной Фаской навершине, расположенный в опорном канале между светоделительной пластиной 3 и зеркалом 4, вершиной к последнему и, отразившись от зеркала 4, возвращается на светоделительную пластину 3. Сюда же приходит и луч Ь после прохождения оптического элемента 9, выполненного в виде триппель-призмы с прозрачной полированной фаской на вершике, расположенного в измерительном канале между светоделительной пластиной 3 и микрообьективом 5, вершиной к последнему, микрообъектива 5 к исследуемой поверхности 17 и обратно по тому же пути через микрообъектив 5 и оптический элемент 9. После смещения лучей Ьи Ъ на светоделитейьной пластине 3 образуется интерференционная картина, несущая информацию о форме исследуемой поверхности 17Интерференционная картина воспринимается датчиком 10 интерференционных полос, сигнал с которого поступает в блок 11 регистрации интерференционных полос. Луч а делится светоделительной пластиной 3 на лучи а и а". Луч а , отразившись от граней оптического элемента 8, возвращается на светоделительную пластину 3, а луч а" после отражения от граней оптического элемента 9 тоже попадает на светоделительную пластину 3, где лучи а и а" смешиваются и образуют интерференционное световое поле на апертуре фотоприемника 12, которое несет информацию о перемещении модуля 7; изменение порядка интерференционной полосы, регистрируемое фотоприемником 12 при перемещении модуля 7, Фиксируется блоком 13 регистрации перемещения.Формула изобретенияИнтерферометр для контроля параметров оптических криволинейных вогнутых поверхностей, содержащий источник монохроматического излучения,последовательно расположенные по ходу излучения телескопическую систему и светоделительную пластину, делящую излучение на измерительный и опорный каналы, зеркало, установленное в опорном канале, и микрообъектив, установленный в измерительном канале, о т - л и ч а ю щ и й с я тем, что,. с целью расширения области использования путем обеспечения возможности контроля поверхностей сложной Формы, он снабжен светоделителем, расположенным между телескопической системой и све151 Составитель Н.ЗахаренкоРедактор Е.Папп Техред И,Верес Корректор А.Обручар Заказ 6372/38 Тираж 683 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,10 тоделительной пластиной и выполненным в виде составного тела, склеенного иэ прямоугольной призмы и ромбатак, что большая грань призмы прилегает к одной из граней ромба, одна изграничащих с ними граней ромба лежитв одной плоскости с одной из малыхграней призмы, грань ромба, прилегающая к большой грани призмы, выполнена с полупрозрачным зеркальным покрытием, а параллельная ей грань ромба -с зеркальным покрытием, модулем, двумя оптическими элементами, выполненными в виде триппель-призм с прозрачными полированными фасками на вершинах, один оптический элемент расположен в опорном канале между светоделительной пластинойи зеркалом, вершиной 6768 6к последнему, а второй оптический элемент расположен в измерительном канале между светоделительнойпластиной имикрообъективом, вершиной к нему, и жест, ко связан с ним посредством модуля,выполненного с возможностью перемещения вдоль оптической оси измерительного канала, датчиком интерференционыых полос и блоком регистрации интерференционных полос, размещенными виэмерительном канале, фотоприемником и блоком регистрации перемещений, размещенными в опорном канале, электри ческие выходы датчика интерференционных полос и фотоприемника связаны с выходами соответственно блока регистрации полос и блоками регистрации перемещения.