Компаунд для герметизации полупроводниковыхприборов

Номер патента: 272437

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИ Е 272437ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Совотокиз Социалистическиз РеопталивЗависимое от авт. свидетельства М Заявлено 14.1.1969 ( 1296992,26-25)с присоединением заявки МПриоритетОпубликовано ОЗ,Ч.1970. Бюллетець 5 Ъ 19 Кл, 21 д, 11 02 МПК Н О 1УДК 621,315.616.97(088.8) 11 омитет по делам изобретений и открытий прн Совете Министров СССРДата опубликования описания 1,1 Х,1970 Авторыизобретения О, Г. Мисуркин, М. П. Витол, И, Р, Шаипова и И, А. Матвеева -,"-,Заявитель КОМПАУНД ДЛЯ ГЕРМЕТИЗАЦИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВПри изготовлении, например, германиевых интегральных схем типа Р 12-5 для бескорпусной герметизации используется эпоксидный компаунд МФД, в состав которого входят (в вес. ч,): основа - смола эпоксидная ЭД100, пластификатор - смола эпоксидная ЭТФ15, отвердитель - метафенилдиамиц 12 - 15, красящий пигмент - черная сажа 3.Интегральные схемы, герметизированные этим компаундом, после двух - четырехсуточной выдержки в камере влаги, где температтра 40 С и относительная влажность 98%, необратимо теряют работоспособность.Известны и другие герметизирлощие компаунды полупроводниковых приборов, например ЭКМ, КЖ.Но эти компаунды для интегральных твердых схем непригодны, так как после термоццклирования появляются трещины, и приборы не выдерживают испытания в камере влаги.Целью изооретения является разработка влагозащитного покрытия для полупроводниковых приборов.Для этого в предлагаемом компаунде в качестве отвердителя использован оорцый ангидрид при следующем соотношении компонентов (в вес. %): смола эпоксидная ЭД100 отвердитель - борный ангидрид 5 - 10, наполпитель, например двуокись титана, свинцовый сурик или окись пиркония, 15 - 50, аэросил 1 - 5, цластцфцкаторы, модификаторы, напри.мер эпоксцдные смолы ЭТФ, полиэфиры, акрцлаты, 1 - 20, красящие пигменты, например черная сажа, 1- - 3.5 Компаунд с борным ангидридом хорошо воспроизводится, имеет незначительную токсичность, технология изготовления его несложна, жизнеспособность составляет 8 час.После заливки ц полимеризапцп цнтеграль ных схем описанным компамндом образуетсямаловлагопроцццаемый слой. Герметцзцв емые таким ооразом интегральные схемы сохрацяют работоспособность после десятцсуточной выдержки в камере влаги (температура40 С, 15 относительная влажность 98% ) . Для компаунда используется борный ангидрид с частипамц размером 50 лк, цаполнцтели с частицами (200 лк. После перемешивацця всех компонентов компаунд вакуумируется 30 - -б 0 лсин, 20 при давлении 10 1 лл рт. ст. Полцмерцзациюкомпаунда проводят при темгературе 80- 120 С в течение 24 - 9 б час.Основным критерием работоспособности интегральных схем Р 12-5 является величина 25 к цч.Приборы, гор метцзцровацшле компаундомЭКБ, практически це меняют значение 1 даже после десяти суток пребывания в КТБ, что свидетельствует о высоком влагозащцтном 30 свойстве компаунда, Приборы, герметцзцро272437 1005 - 10 15 - 50 1 - 3 Составитель М. . Сорокина Корректор С. М. Сигал Редактор Т. 3. Орловская Заказ 2385/13 Тираж 480 Подписнос ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 ванные компаундом МФД, увеличивают значение 1.н, после пребывания в КТВ через двое суток, а после четырех суток 95% приборов теряют работоспособность. Предмет изобретенияКомпаунд для герметизации полупроводниковых приборов на основе эпоксидной смолы, отличаощийся тем, что, с целью повышения влагозащитных свойств покрытия, в качестве отвердителя используют борный ангидрид нри следующем соотношении компонентов (в вес, ч) смола эпоксиднаяборный ангидриднаполнитель, например двуокисьтитана, свинцовый сурик илиокись цирконияаэросилпластификаторы, модификаторы,например эпоксидная смола,полиэфиры, акрилатыкрасящие пигменты, напримерчерная сажа

Смотреть

Заявка

1296992

МПК / Метки

МПК: H01L 21/56

Метки: герметизации, компаунд, полупроводниковыхприборов

Опубликовано: 01.01.1970

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-272437-kompaund-dlya-germetizacii-poluprovodnikovykhpriborov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Компаунд для герметизации полупроводниковыхприборов</a>

Похожие патенты