Автомат герметизации полупроводниковых приборов

,) 1( 3 гсЯ Т У оИзобретение отнои я к специальоборудованиюпроводниковыхиспользованоэлектронной ческои ройств ционно ормыо дис приводзагруную кдержизадавли жение ме аллоемк ергоемко и,кцииние и, упро е габар ние ко уменьшен роизводитражен авт ост в повьпп На фиг. зации пол мат гермеприборов; из ную щел армату издели щены д ее при грузов упроводниковобойма, разр герметизации основания 1,на г. втомат чатого оймами остоит изголовка 24 автомати устроис ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ИСАНИЕ ИЗОБ А 8 ТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬ(71) Специальное проектно-консторское и технологическое бюролупроводниковой техники(56) Авторское свидетельство СУ 1083901, кл. В 29 С 43/08, 1(54) АВТОМАТ ГЕРМЕТИЗАЦИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ(57) Изобретение относится к специальному технологическому оборудованию для производства полупроводниковых приборов. Изобретение можетбыть использовано в электротехнической и электронной промышленности.Цель изобретения - снижение металлоемкости, энергоемкости, упрощение ному технологическому для производства пол иборов и может бытьэлектротехническойсмышленности.Цель изобретения конструкции, уменьшение габаритов,повьпдение производительности трудаАвтомат герметизации полупроводниковых приборов роторного типа содержит исполнительные органы в видеустройств для загрузки арматуры,смыкания пакетов пресс-форм, загрузки пресс-материала и выгрузки готовьж изделий. В автомате на роторев радиальном направлении расположены обоймы, в которых установленыподвижные пакеты пресс-Форм с автоматическим зажимом и задавливаниемпресс-материала. Исполнительные органы в аппарате связаны одним приводом посредством копиров, блоковшестерен и грузовых винтовПакетыпресс-Форм расположены в горизонтальной плоскости. Автомат снабжен технологическими кассетами. 2 з,п,ф-лы, 2 ил. загрузки пресс-формы, уст 5 для автоматической вибрадозированной загрузки прессресс-материалом, неподвижно- а 6 для размещения копировблока 7 шестерен, воронки 8 и пресс-материала в загрузочеру, Кроме того, автомат со(фиг,2) плунжер (трансфер) 9 вания пресс-материала, приемь 10 для укладки кассеты с ой, щель 11 загрузки готовыхкорпус 12 обоймы, где разме тали и узлы пресс-формы и ода, неподвижную гайку 13, й винт 14 привода половинок1. Автомат герметизации полупроводниковых приборов роторного типа, содержащий исполнительные органы в виде устройств для загрузки арматуры, смыкания пакетов пресс-форм, загрузки пресс-материала и выгрузки готовых изделий, закрытые матрицы и соосные пуансоны для задавливания пресс-материала, расположенные на периферии обойм ротора, о т л и ч а - ю щ и й с я тем, что, с целью снижения металлоемкости, энергоемкости, упрощения конструкции, уменьшения габаритов и повьппения производительности, на роторе в радиальном направлении расположены обоймы, в которых установлены подвижные пакеты прессформ с автоматическим зажимом и задавливанием пресс-материала, причем исполнительные органы связаны одним приводом посредством копиров, блоков шестерен и грузовых винтов.2, Автомат по п,1, о т л ь ч а - ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения процессов загрузки арматуры и выгрузки готовых изделий, пакеты пресс"форм расположены в горизонтальной плоскости.3. Автомат по п,2, о т л и ч а - ю щ и й с я тем, что он снабжен технологическими кассетами. 3 150758пресс-формы, оканчивающийся поршнем,винт 15 привода плунжера задавливания пресс-материала (трансфера),подвижную половинку 16 пресс-формы,неподвижную половинку 17 пресс-формы, зубчатое колесо 18 привода грузового винта подвижной половинкипресс в фор, упорное кольцо 19 опорного шарикоподшипника, копир 20 1 Опривода прямого вращения грузовоговинта, копир 21 привода обратноговращения грузового винта, копир 22привода вращения винта плунжера задавливания пресс-материала, копир 23привода обратного вращения винтаплунжера задавливания пресс-материала, перепускной клапан 24 .Предлагаемый автомат герметизации полупроводниковых приборов работает следующим образом.Арматура полупроводниковых приборов в кассетах или на ленте закладывается в приемную щель 10 автомата.Затем производится смыкание половинок пресс-Формы эа счет перемещенияподвижной половины 16 к неподвижной17. Поступательное перемещение поддвижная плита 16 пресс-формы получает от грузового винта 14 через блок7 шестерен,Вращение блок 7 шестерен получает в момент набегания на нижний копир привода прямого вращения грузового винта 20, Обратное вращениевинт 14,а следовательно, и обратное поступательное движение подвижная плита пресс-Формы получают принабегании блока шестерен на верхнийкопир 21.40После загрузки через воронку 8пресс-материала приводится в прямолинейное движение плунжер 9 задавливания пресс-материала посредствомвинта 15 и неподвижной гайки 13.45Прямое вращение винт 15 получаетот блока 7 шестерен в момент набегания на нижний копир 22. Обратноевращение блок шестерен получает принабегании на верхний копир 23. Винты 14 и 15 имеют квадратные хвостовики, которые свободно перемещаются в квадратныхотверстиях приводных шестерен 18После выдержкипресс-материала под давлением производится размыкание половин прессформы путем отвода подвижной паповины 16 за счет обратного вращения 14грузового винта 14. Далее производится выталкивание готовых изделий через выгрузную щель и возврат плунжера 9 посредством винта 15 в исходное положение. Все перечисленные движения исполнительных органов автомата производятся автоматически от общего привода крестовины через копиры 20-23 и блоки 7 шестерен,Копиры 20, 22, 23 располагаются на неподвижном диске 6 на своем радиусе каждый. Их положение по ходу движения крестовины определяется согласно рабочей циклограмме.Для создания необходимого усилия на грузовом винте 14 предусмотрен перепускной клапан 24, который срабатывает при достижении определенного удельного давления в камере перед поршнем грузового винта 14, входящим в гидрокамеру подвижной половины пресс-формы 16. Формула изобретения1507581 УайиРаюиерегс.чал 1 ариама агрба ест-моюерива аатоа Юй Фа Составитель С.ШоркМаковская Техред М.Ходанич акт ректор М.Васил оизводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина Заказ 5500/19НИИПИ Государственн1130 у% Тираж 535 Подписноекомитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5