Способ изготовления пленочных магнитныхматриц

Саюэ Советских Социалистических Республинвисимое от авт. свидетел тва-Кл. 21 д, 31/02 21 а 1 37/04 Ч.1968 ( 1230118/18-24) 3 аявле с присоединением заявки-Приоритет Комитет по делам эобретений и открытий при Совете Министров СССРХ.1969. Б пуоликовано члете та опубликования описания 10.11,1970 Авторь изобре ия В. А, Теряев, И, Б. Шестаков, Г. Н. Переплетчиков, В. Н. МарковскиГ. П. Ивашкин и М. М, Марьяновскийь явител НИЯ ПЛЕНОЧНЫХ МАГНИТНЫХ МАТРИЦ СПОСОБ ИЗГОТ Способ п чено: 1 - по слой, 3 - ма водящий сл Сущностьоясняетсядложка,гнитныйой.способа чертежом, где обозна - диэлектрический подлой (0,05 лы) и 4 - проаключаегся в следуюи,Предложенный способ может быть применен при изготовлении пленочных магнитных матриц (ПММ) для быстродействующих запоминающих устройств.Известны способы изготовления ПММ, заключающиеся,в том, что,на подложку (основание) осаждается магнитный материал в виде отдельных элементов, на которые наносится система управляющих шин (обмоток), Причем управляющие шины (обмотки) могут быть выполнены либо на гибком фольгированном диэлектрике, либо наносятся непосредственно на матрицу методом вакуумного напыления с последующим фотолитографическим растравливанием проводникового слоя или иным методом (электронным лучом, лучом лазера, электроэрозионным методом).Однако при наложении управляющих шин (обмоток) на гибком фольгированном диэлектрике на матрицу необходимо точно совмещать их с магнитными элементами, но при малых размерах магнитных элементов такая операция трудоемка, а точность совмещения недостаточна.При нанесении управляющих шин (обмоток) непосредственно на магнитные элементы можно получить только одну систему управляющих шин (например, шин считывания). Получить всю систему управляющих шин (обмоток) считывания, записи и съема вакуумными методам и невозможно. Это обусловлено тем, что для получения малого омического сопротивления управляющих шин (обмоток),необходимо получить проводники шин (обмоток) достаточно большой толщины (до 10-;15 лкм), В результате провод,ники образуют перепад по толщине высотой в 10 - :15 мклт.Г 1 ри вакуумном осаждении последующих изоляционных слоев получить надежное сцепление последних с нижележащими на подложке невозможно из-за,напряжений в местах перепадов по высоте.Согласно предложенному способу, проводящие слои получают путем приклеивания фольги с помощью органических лаков (клеев) при нагревании матриц и в присутствии магнитного поля в плоскости подложки,Это позволяет отказаться от накладного шлейфа на гибком диэлектрическом основании, обеспечивает точность совмещения шин (обмоток) с магнитными элементами и получение всех управляющих шин (обмоток) с малым омическим сопротивлением и высокоомным изоляционным слоем (не менее 50 мголт).- Р+05 мм Составитель В. СтраховТехред 3. Н. Тараненко Корректор А, С, Колабн А. Утехина РедакторЗаказ 121ЦНИИП 1 480открытий при Совекая наб д. 4/5 Тирао делам изобретенийМосква Ж, Рау Подписное Министров СССРмитет ипография пр. Сапунова, 2 На подложку (основание) с магнитными элементами, полученными тем или иным методомнапример фотолитопрафическим травлением или осаждением,в вакууме через трафарет (маску), наносится слой органического лака или,клея 1 напримерклея БФ), На слой лака (клея) накладывается заготовка из медной фольги. Подложка с наложенной фольгой помещается под пресс, где под давлением при температуре, необходимой для полимеризации, происходит склеивание в магнитном поле. Применение магнитного поля, приложенного в плоскости подложки при склеивании под давлением, позволяет сохранить магнитные параметры пленок при нагреве в момент полимеризации. При этом величина напряженности магнитного поля может изменяться от нуля до нескольких десятков эрстед,в зависимости от температуры нагрева. Затем методом фотолитографии (или электронным лучом, лучом лазера и др.) фольга растравливается на шины (обмотки) той или иной конфигурации. Точность совмещения управляющих шин (обмоток) с магнитными элементами обеспечивает специальное приспособление.Аналогично могут быть получены все управляющие шины (обмотки) любой конфигурации, необходимые для работы ППМ и модулей накопителя в ЗУ.Предложенный способ обеспечивает получение многослойных матриц с шинами (обмот.ками) толщиной порядка 10 мкм.10Предмет изобретенияСпособ изготовления пленочных магнитныхматриц с управляющими шинами путем последовательного получения на подложке магнит ных, диэлектрических и проводящих слоев итравления проводящих слоев на управляющие шины, отличающийся тем, что, с целью умень.щения омического сопротивления управляющих,шин и сохранения магнитных свойств 20 матриц, проводящие слои получают путем приклеивания фольги с помощью органических лаков 1 клеев) при нагревании матриц и,в присутствии магнитного поля в плоскости подложки.