Способ контроля процесса испарения материалав вакууме
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 204484
Авторы: Ивановский, Кузьмин, Мах, Назаров, Тибоков
Текст
Союз СоветскихСоцивлистически Республик ОБРЕТЕН К АВТОРСКОМ ЕЛЬ СТВУ ависимое от авт. свидетельствааявлено 05,Х 1.1964 ( 928044/26-25)присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 20,Х.1967, Бюллетень22Дата опубликования описания 26,Х 11,1967 Комитет оо делам обретений и открытий ри Совете Министров СССР. Пятибок витель Я МАТЕРИАЛА А ПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОЦЕССАВ ВАКУУМ обратную связь с пастввоздействующих арителя. В качестве тлизацил режима пидовательно, скорости электронной эмиссии простых схем стабиточную чувствительИзавсгные способы контроля скорости иопа. рения - метод ионизационного манометра, кварцевого резонатора и др. - мало пригодны для использования в геттерно-ионных насосах. Обычно,в таких напылительньвх устройствах испарение с прямонакальных и подогревных испарителей контролируют, регулируют и стабилизируют по одному из параметров накала (току, напряжению или удельной мощности). Однако такой способ не обеспечивает удовлетворительной точности регулирования и стабилизации процесса испарения, так как поверхность испарителя и его сопротивлечие меняются с течением времени не по линейному закону.Предлагаемый способ отличается от известных тем, что измеряют термоэлектроиный ток с испарителя при вго рабочей температуре, по величине которого судят о скорости испа. рения.Для регистрации тока эмиссии вблизи иапарителя располагают дополнительный электрод (анод), имеющий положительный потенциал относительно испарителя. Испари. тель будет служить источником электронов (катодом). Контроль тока эмиссии, начиная от нескольких микроампер и более, достаточно просг. Регулирование или автоматическое поддержание постоянной скорости испарения может быть осуществлено либо прямым регулированием, либо через мощью несложных сред на режим питания исп обратной связи для стаб тания испарителя и, сле испарения по току термо может служить одна из лизации, имеющая доста ность,Возможность контроля скорости испаренияпо току термоэлекгронной эмиссии основывается на известном факте, что механизм испускания электронов накаленным катодом 15 аналогичен испарению атомов из твсрдоготела. Измеренная для титана зависимость тока электронной эмиссии от скорости испарения при изменении температуры показывает, что ток эмиссии изменяется пропорцио нально скорости исиарсиия. Проведенная проверка на прямоиакальных титано-молибденовых испаритслях геттерио-ионных насосов показала, что скорость испарения титана при постоянном токе термоэлектронной эмиссии 25 в вакууме 10 в 6 в О лл рт, ст. сохраняетсяс течением времени постоянной в пределах 4 - 8%. Это доказывает достаточную надежность способа для технических применений з условиях изменяющегося в процсссс испаре ния состояния поверхности испарителя,204484 Предмет изобретения Составитель Г. А, Жукова Техред Л, Я. Бриккер Корректоры: В. В. Крылова и Л, В, ЧернякРедактор Н, С, Коган Заказ 4192/15 Тираж 535 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 Типография, пр, Сапунова, 2 Способ контроля процесса испарения материала в вакууме с металлических прямонакальных или подогревных испарителей, Бапример в геттерно-ионных насосах, отличаюиийся тем, что, с целью повышения точности контроля, измеряют термоэлектронный ток с иопарителя при его рабочей температуре, по величине которого судят о скорости испа р ения.
СмотретьЗаявка
928044
А. С. Назаров, Г. Ф. Ивановский, Э. А. Мах, Л. К. тибоков, А. А. Кузьмин
МПК / Метки
МПК: F04B 37/06, H01J 19/70
Метки: вакууме, испарения, материалав, процесса
Опубликовано: 01.01.1967
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-204484-sposob-kontrolya-processa-ispareniya-materialav-vakuume.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля процесса испарения материалав вакууме</a>
Способ контроля плотности пара в процессе вакуумного нанесения покрытий при нагреве испарителя электрическим током
Номер патента: 1151592
Опубликовано: 23.04.1985
Авторы: Белов, Коваленко, Майборода, Плышевский, Устименко
МПК: C23C 14/52
Метки: вакуумного, испарителя, нагреве, нанесения, пара, плотности, покрытий, процессе, током, электрическим
...выделением переменной составляющей не позволяет избавиться от помех,поскольку последняя также имеетпеременный компонент.Целью изобретения является повышение достоверности контроля путемустранения влияния собственногосвечения пара,Поставленная цель достигаетсятем, что согласно способу контроляплотности пара в процессе вакуумногонанесения покрытий при нагреве испарителя электрическим током, основанном на облучении потока пара электромагнитным излучением видимого илиультрафиолетового диапазона, измерении интенсивности прошедшего черезпар излучения и сравнении измеренного значения с эталонным, в процессеоблучения потока пара электрическийток, нагревающий испаритель импульсномодулируют, а интенсивность прошедшего излучения измеряют в...
Способ определения скорости испарения
Номер патента: 1013822
Опубликовано: 23.04.1983
Авторы: Головский, Комарницкий, Скаморина, Цымарный
МПК: G01N 5/04
...1 для исследуемого вещества например, жидкости, которая помещена в замкнутый объем 2 и подвешена к коромыслу аналитических весов 3, капилляра 4, предназначенного для пополнения испарившейся жидкости, дифференциальной термопары 5, измеряющей разность температур между испарякщей жидкостью и газовой средой в объеме с помощью автокомпенсационного микровольтнаноамперметра Р 325, ртутного термометра б, для измерения температуры газовой среды, а также вспомогательной части, включающей компрессор 7, создающий поток газовой среды через замкнутый объем 2, баллон 8, содержащий регистрируемый компонент двуокись углерода, реометры 9 и 10, которые служат для контроля состава газоной смеси,. образующейся в камере 11 смешения,и посту-пающей на вход...
Устройство ограничения тока переходного процесса
Номер патента: 1274068
Опубликовано: 30.11.1986
МПК: H02H 9/00
Метки: ограничения, переходного, процесса
...резисторы 10-12, а выходная цепь включена последовательно с выходными зажимами 13 и 14 устройства. Конденсатор 15 шунтирует входные цепи ключа 1, 2. Тбкозадающий элемент выполнен по схеме стабилизатора тока на резисторе 16, транзисторе 17, резисторах 18 и 19, стабилитроне 20, резисторе 21, конденсаторе 22 и резисторе 23. Замыкающие контакты реле 24 включены последовательно с цепочкой иэ дросселя 25 и диода 26 и шунтируют транзисторный ключ 1,- 2.,Устройство работает следующим образом. При подаче питания на входные выводы 8 и 9 начинается процесс заряда конденсаторов 7, 15 и 22. Конден-. сатор 15 заряжается стабилизированным током от стабилизатора, выполненного на транзисторе 17, стабилитроне 20 и резисторах 16, 18, 19 и 21. Управляющий...
Способ контроля процесса ионной обработки
Номер патента: 1657946
Опубликовано: 23.06.1991
МПК: G01B 11/06, G02B 27/60
...обработки остается плоским.,Лругая поверхность 7 свидетеля 5 подверга 5 ется обработке одновременно с поверхностью детали, при этом часть поверхности 7 экранируют неконтактной пластиной 9, которую располагают на расстоянии 0,5-5,0 мм от поверхности 7 свидетеля 5 так, что кромка пластины 9 ориентирована параллельно ребру .клина свидетеля 5.В исходном состоянии афронт волны, отравленной от поверхности 7, тоже плоский, В процессе обработки на поверхности 7 Формируется ступенька, величина которой отражается на Форме волнового фронта и соответственно на наблюдаемой интерференционной картине. В поле зрения окуляра 8 происходит искривление полос равной толщины на величину И, пропорциональную глубине травления неэкрани ронанной части...
Устройство для измерения скоростей испарения
Номер патента: 63170
Опубликовано: 01.01.1944
Автор: Колясев
МПК: G01W 1/00
...7. соединнный металлической или резиновой) трубкой 1 с иснаритецтьт-ьтжтт баком 2. По закону сообщаютцнхся сосудов уровень воды в баке 2 и сосуде 7 "всегда одинаков. На внутренней стенке сосуда 7 имеется отверстие 4. соеди няющее отверстие бюреткп с наружным воздухом.Поворотом бюретки внутри сосуда 7 можно или отключить бюретиу от испарнтестьного бака (при наполнении бюретки жидкостью), или соед-Ътгтить отверсше бюретки с за подгнет-тттотт водой системой.Принцип действия устройства за ключается в. следующем. При пони м; 63170ЖЕНИХ урОВПЯ В испарительн П баке 2 одновременно понижаете уровень водыт в пусковом сосуде" освобождая отверстие бюретки, ку: да через ттр-орезднемедцтент-тло пробульткиватебч Епузьтртк, воздуха; вытеспяя определнное...
Предыдущий патент: Съемное устройство для регулирования давления во всасывающей полости компрессора
Следующий патент: 204485
Случайный патент: Автоматический шламоотборник