Номер патента: 1812579

Авторы: Гудков, Кошель

ZIP архив

Текст

(51)5 Н 0.1 1 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВедОмстВО сясР.)ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Изобретейие относится к электроизме-вого материала, оСуществляют равномер- рительной технике и может быть использо- ное прижатие и надежный электрический вано для измерения электрических контакт, Приэтомпреимуществомзаявлен- .параметров полупроводниковых материа-ного технического решения является то, чтолов, - .:" твердый сплав обеспечивает изйосостойЦель изобретения - повышениейзносо-кость, долговечность зонда, а благородный стойкости при снижении переходного со-.: металл обеспечивает снижение переходнопротивления..:го сопротивления. Г 1 ри необходимости велиНа чертеже схематично изображена чина твердого сплава, напримерВК, и конструкция зондового устройства.".величина слбя благородного металла, наЗондовое устройство содержит диэлек-пример серебра, могут быть изменены в затрический корпус: 1, электропроводящий висимости от функциональных требований зонд 2. их может быть два и более, с рабочей измеряемых параметров полупроводников, заостренной контактирующей зоной острия Предлагаемое зондовое устройство 3. Основной металл зонда 2 - сталь, которая . может бьть использовано не только для издиффузионно переходит е твердый сплав 4, мерения электрических параметров полуазатемтвердыйсплав 4 диффузионнопере- ." проводниковых материалов, но и для ходит в благородный металл 5.,определенйя параметров интегральныхЗондовое устройство работает следую- схем микрообъектов, поскольку благородщим образом. При измерениях зондовое ус-:нцй металл 5 обеспечивает "мягкость" электройство с несколькими зондами опускают : тропроводящего зонда и стойкость кна контактную площадку полупроводнйко-коррозионным изменениям. 1 .,;,: 2(21) 4859174/21 содержащеедйэлектрический корпус, элек- (22) 13.08.90 .: - ; : . :-:, тропроводящие зонды срабочей заострен- (46) 30.04.93, Бюл, М 16 . ; нойконтактирующей зоной. Цель (71) Научно-исследовательский. институт.ав-изобретения - повцшенйе износостойкости томатики и приборостроения .:. ,- . при снижениипереходного сопротивления. (72) А.В,Гудков, Д.А.Кошель, ; Рабочая и заостренная контйктйрующая зо-(56) Патент СШАМ 361 023, кл,324-72;5,1971, .;на зондового устройства выполнена по конАвторскоесвидетельство СССР ; туру поверхности зонда из композитов Йг 780083, кл. н 01121/66, 1976,.основного металла зонда, состоящего йзстали С диффузионным переходом стали в (54) ЗОНДОВОЕ УСТРОЙСТВО :,".слои твердого сплава, а затем от твердого (57) Сущность йзобретения: зондовое уст- . сплава к слою благородного металла, вцхоройство для измерения электрических йара-: дящему на внешнюю поверхность зондово-метров полупроводниковых материалов, "го контакта, 1 ил,4 1812579 Формула изобретения рЗондовое устройство для измерения п . электрических параметров полуправодни- т ковых материалов, содержащее дизлектри с ческий корпус, злектропроводящие зойды с с рабочей заостренной контактирующей зо- с ной, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью д повышения износостойкости при снижении" г оставитель А. 1 удко ехред М,Моргентал Редактор ФКорректор М. Петрова 77 . Тираж Подписное ПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 твенно-и Заказ 16 ВНИИ Произпереходного сопротивления, рабочая заостенная контактирующая зона выполнена о контуру поверхности зонда из композиов осйовного металла зонда, состоящего из тали с диффузионным переходом стали в лои твердого сплава, а затем от твердого плава к слою благородного металла, выхоящему на .внешнюю поверхность зондовоо контакта. тельский комбинат "Патент", г. Ужгород; ул.Гагарина, 10

Смотреть

Заявка

4859174, 13.08.1990

НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ АВТОМАТИКИ И ПРИБОРОСТРОЕНИЯ

ГУДКОВ АЛЕКСЕЙ ВАСИЛЬЕВИЧ, КОШЕЛЬ ВИКТОР АНДРЕЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01L 21/66

Метки: зондовое

Опубликовано: 30.04.1993

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1812579-zondovoe-ustrojjstvo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Зондовое устройство</a>

Похожие патенты